一种高性能声表面波谐振器及其制备方法技术

本发明专利技术一种高性能声表面波谐振器及其制备方法，涉及声表面波谐振器技术领域。谐振器由电极层(1)、压电基底层(2)依次叠加构成。所述电极层材料为金(Au)，铝(Al)或铜(Cu)。所述电极层标准化厚度为0.5％λ≤he≤20％λ，λ是声表面波波长。所述压电基底层材料为掺杂钛酸钡的钛酸铋钠系铁电晶体(NBT‑xBT)。所述压电基底层材料标准化厚度为hNBBT≥4λ，欧拉角为0°≤θ≤180°。本发明专利技术，通过合理优化本发明专利技术提出的谐振器结构能取得高的主模机电耦合系数，高达18％，在优化结构参数能够很好的抑制杂波，获得纯净的极大机电耦合系数的主模，对于设计宽带声表面波器件起到关键作用。

【技术实现步骤摘要】
一种高性能声表面波谐振器及其制备方法
本专利技术涉及声表面波
，具体指一种高性能声表面波谐振器及其制备方法。
技术介绍
声表面波(SurfaceAcousticWave，SAW)是一种沿物体表面传播的弹性波。声表面波器件由于其结构简单、性能出色、成本低等众多优点而受到了广泛关注，并且在互联网、数字电视、汽车乃在军事等各个领域中具有巨大的需求。而决定声表面波器件带宽宽度的主要因素之一为声表面波谐振器中的机电耦合系数。因此，高机电耦合系数的谐振器是设计宽带声表面波器件的关键所在。压电基底材料作为声表面波谐振器的核心元件，其对谐振器性能至关重要。常用的谐振器压电基底材料为石英、钽酸锂等，典型切型和传播方向有X切Y传播，Y切Z传播，Z切X传播，128°旋转Y切X传播等，但是它们的机电耦合系数都比较低。如38°Y-X石英的机电耦合系数为0.12％，Y-X石英的机电耦合系数为0.23％；而对于钽酸锂而言，Y-Z切型的机电耦合系数为0.6％，而42°Y-X的机电耦合系数高达7.6％。故此表明，由于压电材料的各向异性，材料的不同切型会对其性能产生很大的影响。目前，已有文献报道基于铌镁酸铅系铁电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高性能声表面波谐振器，其特征在于，由电极层(1)、压电基底层(2)依次叠加构成；其中，所述电极层(1)材料为金(Au)，铝(Al)或铜(Cu)；电极层(1)标准化厚度为：0.5％λ≤he≤20％λ，λ为声表面波波长；所述压电基底层(2)材料为掺杂钛酸钡的钛酸铋钠系铁电晶体，Na0.5Bi0.5TiO3‑xBaTiO3，简称NBT‑xBT，其中，BaTiO3的掺杂范围x为：0.1％～10％；压电基底层(2)材料标准化厚度为hNBBT≥4λ，欧拉角为0°≤θ≤180°。

【技术特征摘要】
1.一种高性能声表面波谐振器，其特征在于，由电极层(1)、压电基底层(2)依次叠加构成；其中，所述电极层(1)材料为金(Au)，铝(Al)或铜(Cu)；电极层(1)标准化厚度为：0.5％λ≤he≤20％λ，λ为声表面波波长；所述压电基底层(2)材料为掺杂钛酸钡的钛酸铋钠系铁电晶体，Na0.5Bi0.5TiO3-xBaTiO3，简称NBT-xBT，其中，BaTiO3的掺杂范围x为：0.1％～10％；压电基底层(2)材料标准化厚度为hNBBT≥4λ，欧拉角为0°≤θ≤180°。2.如权利要求1所述的一种高性能声表面波谐振器，其特征在于，所述晶体NBT-xBT的切型选自下列任一种：a.X切(90°，90°，0°～180°)；或者b.Y切(...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵祥永，谢青秀，唐艳学，王飞飞，王涛，
申请(专利权)人：上海师范大学，
类型：发明
国别省市：上海,31