【技术实现步骤摘要】
一种用于SECCM的微环境控制平台及其扫描方法
本专利技术涉及扫描探针显微镜领域，具体为一种用于SECCM的微环境控制平台及其扫描方法。
技术介绍
扫描电化学池显微镜(ScanningElectrochemicalCellMicroscopy，SECCM)是在扫描电化学显微镜和扫描离子电导显微镜基础上发展而来的一种新型扫描探针显微镜技术。扫描电化学池显微镜能够同时实现样本被研究表面局部形貌和电化学信息获取，扫描探针与样本通过半月型微液滴接触，对样本形貌无损伤，无需脱水、固化、金属喷涂等复杂的预处理。还可以通过移液管向材料表面进行定量物质传送，因此SECCM在纳米材料沉积、电化学微传感器和电催化等方面有广泛的应用前景。当前，单管SECCM的基本原理是由控制系统驱动电机及压电陶瓷执行器带动探针往下运动，探针中装有电解液和参比电极，由于重力及液体表面张力的作用在探针尖端会存在半月板型的微小液滴，当液滴接触样本时双电极回路导通，电路中的离子电流经过放大器放大后由控制系统采样，电流信号作为反馈驱动压电陶瓷的停止和回提。在液滴接触样本表面时，由控制系统施加线性变换的偏置电压可...
【技术保护点】
1.一种用于SECCM的微环境控制平台，其特征在于，包括形成密封空间的外部壳体，以及设置在壳体中的内岛；所述的壳体顶部设置有用于探针(28)伸入壳体的通孔，通孔上方覆盖有柔性的密封膜(31)；壳体的侧边分别设置有液体进入和流出通道，气体进入和流出通道，以及出线孔(27)；壳体的内侧设置有温湿度传感器(10)；所述的内岛和壳体内侧之间形成环绕内岛的液体流道；内岛用于加持承载样本(12)的载物盒(9)，载物盒(9)下方设置有固定在内岛底部的电热片；内岛上旋转设置有压电片(26)，压电片(26)的一端用于接触样本(12)上表面，另一端连接导线；电热片和温湿度传感器(10)的连接线...
【技术特征摘要】
1.一种用于SECCM的微环境控制平台，其特征在于，包括形成密封空间的外部壳体，以及设置在壳体中的内岛；所述的壳体顶部设置有用于探针(28)伸入壳体的通孔，通孔上方覆盖有柔性的密封膜(31)；壳体的侧边分别设置有液体进入和流出通道，气体进入和流出通道，以及出线孔(27)；壳体的内侧设置有温湿度传感器(10)；所述的内岛和壳体内侧之间形成环绕内岛的液体流道；内岛用于加持承载样本(12)的载物盒(9)，载物盒(9)下方设置有固定在内岛底部的电热片；内岛上旋转设置有压电片(26)，压电片(26)的一端用于接触样本(12)上表面，另一端连接导线；电热片和温湿度传感器(10)的连接线以及压电片(26)的导线经出线孔(27)引出并密封。2.根据权利要求1一种用于SECCM的微环境控制平台，其特征在于，所述的壳体包括底板(8)，合围设置在底板(8)上部的左面板、前面板(22)、右面板(6)和后面板(11)，以及密闭扣合在四个面板顶部的顶盖(29)。3.根据权利要求2一种用于SECCM的微环境控制平台，其特征在于，气体的进入和流出通道分别对称设置在左面板和右面板(6)上。4.根据权利要求2一种用于SECCM的微环境控制平台，其特征在于，液体的进入和流出通道分别对称设置在左面板和右面板(6)上；内岛背靠后面板(11)设置，液体流道呈U型从内岛左侧绕经前方后朝向右侧环绕设置；液体的进入和流出通道分别设置在液体流道的两端。5.根据权利要求1一种用于SECCM的微环境控制平台，其特征在于，所述的内岛包括合围形成内岛内部空间的左滑动导轨(13)、前挡板(17)、右滑动导轨(14)和后挡板(15)；电热片设置在内岛内部空间的底部；载物盒(9)放置于左滑动导轨(13)和右滑动导轨(14)上方，与后挡板(15)接触布置；后挡板(15)背靠后面板(11)设置，上方旋转设置压电片(26)。6.根据权利要求5一种用于SECCM的微环境控...
【专利技术属性】
技术研发人员：庄健，高丙立，王志武，程磊，焦阳博翰，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西,61
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