一种制备柔性可延展多级结构互连线的设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种制备柔性可延展多级结构互连线的设备，包括机架，机架上设有承载平台；喷印模块，喷印模块通过水平横梁设置在承载平台上方，且其设有用于喷印的喷印机构，用于将喷印溶液喷印到基板上形成喷印图案；喷印平台，其可X向以及Y向运动设置在承载平台上；拉伸平台，设置在所述喷印平台上，其包括呈矩形分布的四个滑轨，在滑轨内设置若干与滑轨构成滑移配合的气缸，四个滑轨中心设置可延展性柔性基板，每个拉杆采用独立气缸进行控制，利用拉杆伸缩以及气缸滑移来实现对可延展性柔性基板不同形状的变形并进行固定，从而实现在可延展性柔性基板上制备柔性电子的可延展性多级结构互连线。

A device for fabricating flexible extensible multilevel interconnects

The utility model discloses a device for preparing flexible and extendable multi-level structure interconnects, including a rack and a bearing platform on the rack; a spray printing module and a spray printing module are arranged above the bearing platform through a horizontal beam, and a spray printing mechanism for spray printing is provided for spraying the spray printing solution onto the substrate to form a spray printing pattern; a spray printing platform can move in X direction and Y direction. The stretching platform is set on the bearing platform; the stretching platform is set on the spray printing platform, which consists of four sliding rails with rectangular distribution, several cylinders with sliding rail to form sliding matching, four sliding rail centers with extensible flexible substrates, each tie rod is controlled by an independent cylinder, and the extensible flexible substrates are realized by using the stretching rod and cylinder sliding. Different shapes are deformed and fixed to realize the fabrication of flexible electronic multilevel interconnects on flexible substrates.

【技术实现步骤摘要】
一种制备柔性可延展多级结构互连线的设备
本技术涉及柔性电子制造
，尤其涉及一种制备柔性可延展多级结构互连线的设备。
技术介绍
柔性电子器件克服了传统电子脆硬的缺点，具有可弯曲性和可延展性，既能可延展性柔性电子够承受伸缩、弯曲、扭转等复杂变形，能够满足各种复杂曲面的使用要求的同时，又能保持其良好的电学性能，可延展柔性电子器件可用于可折叠器件、柔性显示、人工肌肉、皮肤电子和可穿戴设备等方面，因此在信息、生物、医疗、能源等领域具有广泛的应用前景。为了实现柔性电子器件的可延展性，功能器件之间需要用可延展柔性互连结构进行连接，实现隔离的功能器件之间的相互连接，并传递信号。为了实现柔性电子器件的可延展与可弯曲的特性，可延展柔性互连结构通常做成形状弯曲的结构，互连结构可以分为波纹形、马蹄形、Z字型和蛇形等结构，为了提高柔性电子的可延展性，设计一种多级结构的互连曲线。目前对于柔性电子的互连结构制备而言，先将所柔性电子互连结构制造出来，然后将可延展柔性互连结构粘接在弹性基板上，通过胶黏层与弹性基板固定。这种方法存在的问题是：一是制造工艺复杂，增加制造成本；二是可延展柔性互连结构与胶黏层和基底的不相容性会影响互连结构的拉伸性能，并且在拉伸过程中，互连结构的拉伸能力因受到胶黏层束缚而得不到充分的应用。
技术实现思路
本技术的目的在于，针对现有制备柔性电子的互连结构中存在的缺点，提供制备柔性可延展多级结构互连线的设备。为实现上述目的，本技术提供制备柔性可延展多级结构互连线的设备，其包括机架，所述机架上设有承载平台；喷印模块，所述喷印模块通过水平横梁设置在承载平台上方，且其设有用于喷印的喷印机构，用于将喷印溶液喷印到可延展性柔性基板上形成喷印图案；喷印平台，所述喷印平台可X向以及Y向运动设置在承载平台上；拉伸平台，设置在所述喷印平台上，其包括呈矩形分布的四个滑轨，在所述滑轨内设置若干与滑轨构成滑移配合的气缸，四个滑轨中心设置可延展性柔性基板，所述可延展性柔性基板通过若干拉杆与各个气缸联动配合。所述喷印模块包括固定底座以及沿垂直方向设置的喷印机构，所述喷印机构包括固定座、设置在固定座上可拆卸的注射器，在所述固定座的上端设置可沿垂直方向滑移的操作机构，所述注射器的柱塞部件与所述操作机构联动配合。所述注射器通过软导管与所述喷印平台上方的喷头连接。所述拉杆的一端设有用于夹持可延展性柔性基板的夹持部，另一端则与气缸联动配合。所述拉杆一端可滑移设置在气缸壳内，且气缸壳上设有限位机构。所述限位机构包括设置在电机壳上的电机以及与电机联动配合的丝杆。所述喷印溶液以可延展性的导电材料为喷印溶液，包括PEDOT:PSS溶液、PEDOT:PSS/CNTs混合溶液、PEDOT:PSS/Nafion混合溶液以及PEDOT:PSS与其他混合的具有可延展性的导电溶液。本技术的有益效果：每个拉杆采用独立的气缸进行控制，利用拉杆的伸缩以及气缸的滑移来实现对可延展性柔性基板的不同形状的变形并进行固定，通过喷印平台机构在X向以及Y向运动，通过喷印模块将喷印溶液喷印到产生不同形状的变形可延展性柔性基板上形成喷印图案，当释放变形的可延展性柔性基板的预拉伸力后，喷印图案在可延展性柔性基板上形成柔性电子的可延展性多级结构互连线，不但简化了柔性电子的可延展性互连结构制造工艺，降低制造成本，并且还提高了柔性电子器件的延展率。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为本技术的喷印模块的结构示意图。图3为本技术的喷印模块平面示意图。图4为本技术的拉伸平台的结构示意图。图5为本技术的拉伸平台的局部放大示意图。具体实施方式下面针对附图对本技术的实施例作进一步说明：如图所示，本技术公开了一种制备柔性可延展多级结构互连线的设备，其包括机架1，所述机架1上设有承载平台；喷印模块4，所述喷印模块通过水平横梁设置在承载平台上方，且其设有用于喷印的喷印机构，用于将喷印溶液喷印到可延展性柔性基板上形成喷印图案，所述喷印模块可Z向滑移设置在水平横梁上，从而可对喷印机构的高度进行调节；喷印平台2，所述喷印平台可X向以及Y向运动设置在承载平台上，而拉伸平台设置在该喷印平台上，使得拉伸平台可以X向或Y向移动；拉伸平台3，设置在所述喷印平台上，其包括呈矩形分布的四个滑轨31，在所述滑轨内设置若干与滑轨构成滑移配合的气缸32，四个滑轨中心设置可延展性柔性基板34，所述可延展性柔性基板通过若干拉杆33与各个气缸联动配合，通过气缸沿滑轨移动，并且调整拉杆的距离，从而实现对可延展性柔性基板的不同形状的变形并进行固定，能够使可延展性柔性基板产生各种椭圆形、圆形或其他形状的不同形状的变形。所述喷印模块包括固定底座41以及沿垂直方向设置的喷印机构，所述喷印机构包括固定座42、设置在固定座上可拆卸的注射器44，在所述固定座的上端设置可沿垂直方向滑移的操作机构43，所述注射器的柱塞部件与所述操作机构联动配合，所述操作机构采用卡槽结构，且所述操作机构可滑移设置在固定底座上，柱塞部件嵌设在该卡槽结构内，并被操作机构带动Z向运动。所述注射器44通过软导管45与所述喷印平台机构上方的喷头46连接。在喷印机构的两侧分别设置光源与工业相机。所述拉杆的一端设有用于夹持可延展性柔性基板34的夹持部，另一端则与气缸32联动配合。所述拉杆33一端可滑移设置在气缸壳321内，且气缸壳上设有限位机构。所述限位机构包括设置在电机壳上的电机322以及与电机联动配合的丝杆323。进一步的可以在可延展性柔性基板下端设置底板，起到对可延展性柔性基板的支撑。实施例不应视为对本技术的限制，但任何基于本技术的精神所作的改进，都应在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制备柔性可延展多级结构互连线的设备，其特征在于：其包括机架，所述机架上设有承载平台；喷印模块，所述喷印模块通过水平横梁设置在承载平台上方，且其设有用于喷印的喷印机构，用于将喷印溶液喷印到可延展性柔性基板上形成喷印图案；喷印平台，所述喷印平台可X向以及Y向运动设置在承载平台上；拉伸平台，设置在所述喷印平台上，其包括呈矩形分布的四个滑轨，在所述滑轨内设置若干与滑轨构成滑移配合的气缸，四个滑轨中心设置可延展性柔性基板，所述可延展性柔性基板通过若干拉杆与各个气缸联动配合。

【技术特征摘要】
1.一种制备柔性可延展多级结构互连线的设备，其特征在于：其包括机架，所述机架上设有承载平台；喷印模块，所述喷印模块通过水平横梁设置在承载平台上方，且其设有用于喷印的喷印机构，用于将喷印溶液喷印到可延展性柔性基板上形成喷印图案；喷印平台，所述喷印平台可X向以及Y向运动设置在承载平台上；拉伸平台，设置在所述喷印平台上，其包括呈矩形分布的四个滑轨，在所述滑轨内设置若干与滑轨构成滑移配合的气缸，四个滑轨中心设置可延展性柔性基板，所述可延展性柔性基板通过若干拉杆与各个气缸联动配合。2.根据权利要求1所述的一种制备柔性可延展多级结构互连线的设备，其特征在于：所述喷印模块包括固定底座以及沿垂直方向设置的喷印机构，所述喷印机构包括固定座、设置在固定座上可拆卸的注射器，在所述固定座的上端设置可沿垂直方向滑移的操作机构，所述注射器的柱塞部件与所述操作机构联动配合。3.根据权利要求2所述的一种制备柔性可延...

【专利技术属性】
技术研发人员：李鹏，吴婷，张礼兵，陈建洲，冯孝为，张震舟，
申请(专利权)人：嘉兴学院，
类型：新型
国别省市：浙江,33