集成型光模块的光轴调整方法、制造方法以及光轴调整装置制造方法及图纸

集成型光模块的光轴调整方法包括：使导入到封装内的入射光的波长变化，通过第1及第2受光元件分别检测由第1及第2滤波器分波的光来测定输出电流的测定工序；根据相对于入射光的波长变化的输出电流的变化来检测第1及第2光的中心波长的检测工序；将第1及第2光的中心波长和第1及第2滤波器的设计透过波长进行比较，将各自的差值设为第1及第2波长偏移的工序；以及调整光分波器的位置以使第1及第2波长偏移的总和变小的调整工序。

Optical Axis Adjustment Method, Manufacturing Method and Optical Axis Adjustment Device of Integrated Optical Module

The optical axis adjustment method of the integrated optical module includes: changing the wavelength of the incident light imported into the package, measuring the output current by detecting the light divided by the first and second filters by the first and second light-receiving elements respectively; detecting the central wavelength of the first and second light according to the change of the output current relative to the wavelength of the incident light; and detecting the central wavelength of the first and second light according to the change of the output current relative to the wavelength of the incident light; Comparing the central wavelength of light with the designed transmission wavelength of the first and second filters, setting the difference between them as the first and second wavelength offset, and adjusting the position of the optical splitter to reduce the sum of the first and second wavelength offset.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】集成型光模块的光轴调整方法、制造方法以及光轴调整装置
本专利技术涉及集成型光模块的光轴调整方法、制造方法以及光轴调整装置，特别是涉及用于将入射光分波为波长不同的多个光的光分波器的光轴调整方法、具备该光分波器的集成型光模块的制造方法以及光轴调整装置。
技术介绍
近年来，光通信的通信速度增大，要求具有高通信速度、更小型且功耗低的光通信模块。因此，正在开发如下的小型且具有高通信速度的集成型光通信模块(以下，称为“集成型光模块”。)：在一个光通信模块内安装多个受光元件，为了使这些受光元件受光，将从一个光纤输出的波分复用的光分波为不同波长的多个光，通过各受光元件将光信号转换为电信号。在以往的光通信模块中，相对于一个光通信模块，受光元件也是一个，相对于该一个受光元件进行来自光纤的输出光的光轴调整，在由受光元件从光信号转换得到的电信号的电流值达到最佳的位置固定光通信模块和光纤。与此相对，在集成型光模块中，在一个集成型光模块内安装多个受光元件，需要进行用于使从光纤输出的波分复用光分波为波长不同的多个光而使各受光元件受光的光轴调整。因此，需要进行与安装在集成型光模块内的受光元件的数量相应的次数的光轴调整。与此相对，在专利文献1所记载的方法中，准备光分波器，该光分波器具备多个波长滤波器并将入射的光信号分波为不同波长的多个信号光，以与光轴调整用的外部光源的光轴垂直的角度为基准，按照基准角度与设计角度的差值决定了光分波器的位置之后，测定各受光元件的受光信号，对光分波器的位置进行微调。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016-18016号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，根据光分波器的波长滤波器的安装精度等，有时即使对准通过一个波长滤波器的光的光轴，通过其他波长滤波器的光的光轴也会偏移，需要与受光元件的个数相应地反复进行光轴调整来使光分波器的位置最优化，存在光轴调整的次数增加、光学元件的装配时间变长的问题。因此，本专利技术的目的在于提供一种能够以较少的次数高精度地进行光轴调整的集成型光模块的光轴调整方法、制造方法以及光轴调整装置。用于解决课题的手段本专利技术是一种集成型光模块的光轴调整方法，该集成型光模块在封装内具备光分波器和第1及第2受光元件，该光分波器将入射光分波为适合于第1受光元件的受光波长波段的第1光和适合于第2受光元件的受光波长波段的第2光，该第1及第2受光元件分别接收第1及第2光，其特征在于，该光轴调整方法包括：准备具有第1及第2受光元件的封装的工序；检测出第1滤波器与入射光垂直的位置，以其角度为基准以设计角度将具备第1及第2滤波器的光分波器配置在封装内的工序；使导入到封装内的入射光的波长变化，通过第1及第2受光元件分别检测由第1及第2滤波器分波后的光来测定输出电流的测定工序；根据相对于入射光的波长变化的输出电流的变化来检测第1及第2光的中心波长的检测工序；将第1及第2光的中心波长与第1及第2滤波器的设计透过波长进行比较，将各自的差值设为第1及第2波长偏移的工序；以及调整光分波器的位置以使第1及第2波长偏移的总和变小的调整工序。在此对第1、第2受光元件进行了记载，但由于对第3以后的受光元件也能够应用光轴调整方法，因此受光元件的数量并不限定于此。光轴调整不限于受光元件的数量，能够通过将一组光的中心波长与滤波器的设计透过波长进行比较并使波长偏移变小来进行调整。另外，本专利技术也是一种集成型光模块的制造方法，其特征在于，包括在光轴调整后在进行了光轴调整的位置将光分波器粘接于封装的粘接工序。另外，本专利技术也是一种集成型光模块的光轴调整装置，该集成型光模块在封装内具备将入射光分波为波长不同的第1及第2光的光分波器和分别接收第1光及第2光的第1及第2受光元件，其特征在于，包括：工作台，其载置并固定安装有第1及第2受光元件的封装；把持机构，其在封装内把持具备第1及第2滤波器的光分波器；光源，其供给入射光；反射返回光测定机，其检测入射光从第1滤波器反射的光；电流测量设备，其通过第1及第2受光元件检测第1及第2光，根据检测出的光得到输出电流；以及PC单元，其根据入射光的波长和输出电流来检测第1及第2光的中心波长，将第1及第2光的中心波长与第1及第2滤波器的设计透过波长进行比较，将各自的差值设为第1及第2波长偏移，计算使第1及第2波长偏移的总和变小的光分波器的位置，基于PC单元的计算结果，把持机构使光分波器移动。在此对第1、第2受光元件进行了记载，但由于对第3以后的受光元件也能够应用光轴调整方法，因此受光元件的数量并不限定于此。也能够进行仅使第1波长偏移变小的光轴调整或使也包含第3以后的波长偏移在内的总和变小的光轴调整。专利技术效果在本专利技术的集成型光模块的光轴调整方法中，能够进行测定受光元件的输出电流值并使其组合达到最佳的光轴调整。因此，能够削减光轴调整的次数并且进行高精度的光轴调整。附图说明图1是本专利技术的实施方式1的光轴调整装置的立体图。图2是表示本专利技术的实施方式1的光轴调整装置的结构的框图。图3是表示本专利技术的实施方式1的集成型光模块的光轴调整方法的流程图。图4是在本专利技术的实施方式1中进行光轴调整的集成型光模块的俯视图。图5是表示在本专利技术的实施方式1的受光元件中使光的波长变化时的输出电流的变化的图表。图6是表示本专利技术的实施方式1的受光元件的输出电流的调芯前曲线和基准曲线的图表。图7是表示本专利技术的实施方式1的从光分波器透过的波长的设计值的偏移和光轴角度的偏移的关系的图表。图8是表示本专利技术的实施方式1的受光元件的输出电流的调芯后曲线和基准曲线的图表。图9是表示本专利技术的实施方式1的两个受光元件的输出电流的调芯前曲线和基准曲线的图表。图10是表示本专利技术的实施方式1的两个受光元件的输出电流的调芯后曲线和基准曲线的图表。图11是本专利技术的实施方式2的光轴调整装置的立体图。图12是表示本专利技术的实施方式2的光轴调整装置的结构的框图。图13是表示本专利技术的实施方式2的集成型光模块的制造工序的流程图。图14是本专利技术的实施方式3的光轴调整装置的立体图。图15是表示本专利技术的实施方式3的光轴调整装置的结构的框图。图16是表示本专利技术的实施方式3的集成型光模块的制造工序的流程图。图17是表示在本专利技术的实施方式3的光分波器中从光纤出射的光最发生反射的情况下的光分波器的设置角度的俯视图。图18是表示本专利技术的实施方式3的光分波器的角度和从光纤出射的光被光分波器的滤波器反射的光损失的图表。具体实施方式实施方式1图1是整体用100表示的本专利技术的实施方式1的光轴调整装置的立体图。另外，图2是表示光轴调整装置100的结构的框图。在图1、2中，相同附图标记表示相同或相当的部位。如图1所示，光轴调整装置100具有工作台20和位置及角度的调整机构5、10。工作台20例如由上表面为水平的金属板构成，在其上方载置并固定成为光轴调整的对象的集成型光模块4。调整机构5具有把持机构12，通过该把持机构12把持搭载于集成型光模块4的内部的光分波器40。调整机构5能够进行相互正交的X轴、Y轴以及Z轴方向的动作、以及绕X轴、Y轴以及Z轴的旋转，由此，调整由把持机构12把持的光分波器40的位置及角度。调整机构10具有把持机构11，通过该把持机构11把持准直器3。调整机构10也能够进行相互正交的X轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光轴调整方法，是在封装内具备光分波器和至少第1受光元件及第2受光元件的集成型光模块的光轴调整方法，所述光分波器将入射光分波为波长不同的至少第1光和第2光，所述第1光适合于第1受光元件的受光波长波段，所述第2光适合于第2受光元件的受光波长波段，所述第1受光元件及第2受光元件分别接收第1光及第2光，其特征在于，所述光轴调整方法包括：使导入到封装内的入射光的波长变化，通过第1受光元件及第2受光元件分别检测由第1滤波器及第2滤波器分波的光来测定输出电流的测定工序；根据相对于入射光的波长变化的输出电流的变化来检测第1光及第2光的中心波长的检测工序；将第1光及第2光的中心波长和第1滤波器及第2滤波器的设计透过波长进行比较，将各自的差值设为第1波长偏移及第2波长偏移的工序；以及调整光分波器的位置以使第1波长偏移及第2波长偏移的总和变小的调整工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.11.10 JP 2016-2198821.一种光轴调整方法，是在封装内具备光分波器和至少第1受光元件及第2受光元件的集成型光模块的光轴调整方法，所述光分波器将入射光分波为波长不同的至少第1光和第2光，所述第1光适合于第1受光元件的受光波长波段，所述第2光适合于第2受光元件的受光波长波段，所述第1受光元件及第2受光元件分别接收第1光及第2光，其特征在于，所述光轴调整方法包括：使导入到封装内的入射光的波长变化，通过第1受光元件及第2受光元件分别检测由第1滤波器及第2滤波器分波的光来测定输出电流的测定工序；根据相对于入射光的波长变化的输出电流的变化来检测第1光及第2光的中心波长的检测工序；将第1光及第2光的中心波长和第1滤波器及第2滤波器的设计透过波长进行比较，将各自的差值设为第1波长偏移及第2波长偏移的工序；以及调整光分波器的位置以使第1波长偏移及第2波长偏移的总和变小的调整工序。2.根据权利要求1所述的光轴调整方法，其特征在于，所述入射光由能够使波长变化的单一波长的光构成，所述测定工序是在包含第1波长及第2波长的波长区域中使入射光的波长变化的工序。3.根据权利要求1所述的光轴调整方法，其特征在于，所述入射光包含第1波长及第2波长的光，所述测定工序是在包含第1波长的波长区域和包含第2波长的波长区域中分别使入射光的波长变化的工序。4.根据权利要求1至3中任一项所述的光轴调整方法，其特征在于，所述入射光由能够使波长变化到第1波长波段以外的波长波段的光构成，所述测定工序是检测从光分波器的第1滤波器反射的光、并以与入射光垂直的角度为基准将光分波器调整到设计角度的工序。5.根据权利要求3所述的光轴调整方法，其特征在于，使所述第1波长的光在包含第1波长的波长区域中变化的工序和使所述第2波长的光在包含第2...

【专利技术属性】
技术研发人员：神山大知，小寺秀和，佐藤义也，畑端佳，下野真也，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP