一种抑制高次谐波的5G高性能LTCC带通滤波器制造技术

本发明专利技术公开一种LTCC带通滤波器，包括基体、输入端电极、输出端电极、接地端电极以及内部电路；所述内部电路包括三个并联谐振，三个耦合电感，两个连接电容以及一个源‑负载耦合电容，还包括三块接地极板，其中一块接地极板采用缺陷地结构；实现这些电感、电容元件的导体印刷在LTCC生瓷表面，并通过打孔、填孔、网印、层压和烧结工艺制成滤波器；内部电路采用LTCC垂直互连结构，电感采用双层层叠结构，电容采用MIM式电容，电感与电容间通过垂直通孔连接。该带通滤波器体积小，生产成本低，可批量生产，通带达1GHz且带内插损小，引入三个传输零点，带外抑制高且低阻带边带陡峭，采用镜像对称结构，性能可靠性高。

A 5G High Performance LTCC Bandpass Filter for Suppressing High-order Harmonics

The invention discloses an LTCC bandpass filter, which comprises a substrate, an input terminal electrode, an output terminal electrode, a ground terminal electrode and an internal circuit. The internal circuit comprises three parallel resonances, three coupling inductances, two connecting capacitors and one source load coupling capacitor, and three ground electrode plates, one of which adopts a defective ground structure to realize these inductances. The conductor of capacitor element is printed on LTCC raw porcelain surface, and filters are made by punching, filling, screen printing, laminating and sintering technology. The internal circuit adopts LTCC vertical interconnection structure, inductance adopts double-layer stacking structure, capacitance adopts MIM type capacitance, and the inductance and capacitance are connected through vertical through-hole. The bandpass filter is small in size, low in production cost, and can be produced in batches. The bandpass reaches 1GHz and the band interpolation loss is small. Three transmission zeros are introduced. The bandpass filter has high out-of-band suppression and steep side band with low stopband. It adopts mirror symmetry structure and has high performance reliability.

【技术实现步骤摘要】
一种抑制高次谐波的5G高性能LTCC带通滤波器
本专利技术涉及的是滤波器
，具体涉及一种抑制高次谐波的5G高性能LTCC带通滤波器。
技术介绍
微波带通滤波器是微波射频系统的一个关键部件，随着近年来微波电路设计仿真技术和工艺的发展，对射频系统的小型化需求也越来越高，而滤波器的小型化更是首当其冲，如何在保证一定的性能指标下尽可能地减小滤波器的体积成为了小型化射频系统需要解决的一个重要问题。同时，无线通信系统的快速发展，频率资源日益紧张，为了抑制外部信号以及混频器、振荡器等器件产生的高次谐波，提高整机的电性能，要求滤波器具有良好的带外抑制能力。低温共烧陶瓷是一种电子封装技术，采用多层陶瓷工艺，能将无源器件置于陶瓷介质内部。LTCC(低温共烧陶瓷)技术是近年发展起来的多层陶瓷工艺技术，利用该技术可以实现传统陶瓷基板工艺无法实现的三维结构。使用LTCC技术设计微波无源器件具有非常大的灵活性。如何充分利用LTCC工艺的优势，通过合理布局，确定滤波器的结构，并且使得设计具有一定的稳定性，在必要的加工误差范围内仍能保持产品的成功率是LTCC滤波器设计的一个关键问题。然而，传统滤波器的频率响应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抑制高次谐波的5G高性能LTCC带通滤波器，包括基体、输入端电极、输出端电极、接地端电极以及内部电路；所述的基体内部包括多层LTCC陶瓷基板，其中，所述输入端电极和输出端电极分别设于所述滤波器长度方向上的相对两端，所述接地端电极设于滤波器长度方向上的中部外侧；所述的内部电路包括并联连接的构成第一谐振的第一电感L1和第一电容C1、并联连接的构成第二谐振的第二电感L2和第二电容C2、并联连接的构成第三谐振的第三电感L3和第三电容C3，谐振间通过电容连接，还包括源‑负载耦合电容C，三块接地极板，其中一块采用缺陷地结构，实现这些电感、电容元件的导体印刷在LTCC生瓷表面，并通过打孔、填孔、网印...

【技术特征摘要】
1.一种抑制高次谐波的5G高性能LTCC带通滤波器，包括基体、输入端电极、输出端电极、接地端电极以及内部电路；所述的基体内部包括多层LTCC陶瓷基板，其中，所述输入端电极和输出端电极分别设于所述滤波器长度方向上的相对两端，所述接地端电极设于滤波器长度方向上的中部外侧；所述的内部电路包括并联连接的构成第一谐振的第一电感L1和第一电容C1、并联连接的构成第二谐振的第二电感L2和第二电容C2、并联连接的构成第三谐振的第三电感L3和第三电容C3，谐振间通过电容连接，还包括源-负载耦合电容C，三块接地极板，其中一块采用缺陷地结构，实现这些电感、电容元件的导体印刷在LTCC生瓷表面，并通过打孔、填孔、网印、层压和烧结工艺制成滤波器；滤波器整体采用LTCC特有的垂直互连结构；第一、第二、第三电感L1、L2、L3采用多层陶瓷介质上的层叠电感实现，不同陶瓷介质层上的金属导体通过通孔连接，通过调节层叠电感线每层的线长，线宽来调节电感值；第一、第二、第三、第四、第五以及源-负载耦合电容C1、C2、C3、C4、C5、C通过多层陶瓷介质层的平面电容极板实现，不同陶瓷介质层之间的电容极板通过极板间的相互耦合以及通孔实现互连，通过调整极板的尺寸来调节电容值；所述带通滤波器内部电路部分共有11层，第1层、第11层以及第3层为整片接地层，其中第3层接地层为缺陷地结构，三层接地层均与基体两侧的接地端电极相连；所述带通滤波器第一谐振位于内部电路结构左侧，第一电容C1位于电路第4层，一端通过通孔与第6层第四电容C4的下级极板相连，第一电感L1位于电路第8，第9层，其中电感L1一端与所述的接地端电极相连，另一端通过通孔与电容C4下极板相连；第三谐振位于内部电路结构右侧，第三电容C3位于电路第4层，一端通过通孔与第6...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶强，华嘉源，
申请(专利权)人：中国计量大学上虞高等研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33