一种蒸镀机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种蒸镀机，包括至少一个蒸镀腔室，在蒸镀腔室内设置有用于放置待蒸镀基板的基座，还包括蒸镀源轨道，在蒸镀源轨道上设置有多种蒸镀材料源，该蒸镀材料源在蒸镀源轨道上运行，使得蒸镀材料源能够对基座上放置的待蒸镀基板进行蒸镀。在蒸镀机内设置蒸镀源轨道，不同的蒸镀材料源在该蒸镀源轨道上运行，当一种蒸镀材料源运行到对准待蒸镀基板时，对基板进行蒸镀，蒸镀完成后该蒸镀材料源继续沿着蒸镀源轨道运行，另一种蒸镀材料源对准蒸镀基板进行蒸镀，以此完成对基板的整个蒸镀过程。解决了现有技术中一块待蒸镀基板需要多次在不同对位机构上进行对位，导致蒸镀周期长，且多次进行对位会使玻璃基板破片几率成倍增长的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀机
本技术涉及设备领域，具体涉及一种蒸镀机。
技术介绍
在OLED光电行业蒸镀制程中，通常利用蒸镀设备将多层薄膜相继沉积在玻璃基板上而形成。OLED蒸镀技术为利用一蒸发源，内部填充OLED材料，在真空环境下蒸发源加热使材料升华或气化，透过金属掩膜，蒸镀于基板上。在蒸镀过程中，同一型号产品的通用掩膜板都是基本相同的。现有的蒸镀机玻璃在进入每一个腔室都需要再进行单独对位，就算是使用相同的通用掩膜板也要分别进行对位，并且蒸发源与腔室都是一体的，并没有互相独立的空间。目前有采用双腔室进行蒸镀同一种材料，这种方法虽然可以节约部分对位时间，但是这种方法还是没有解决一块玻璃需要在多个对位机构上对位的问题。现有技术中的蒸镀设备在使用时一块蒸镀玻璃需要多次在不同对位机构上进行对位，导致蒸镀周期长，且多次进行对位会使玻璃基板破片几率成倍增长。
技术实现思路
有鉴于此，本技术实施例提供了一种蒸镀机，以解决一块待蒸镀基板需要多次在不同对位机构上进行对位，导致蒸镀周期长，且多次进行对位会使玻璃基板破片几率成倍增长的问题。为此，本技术实施例提供了如下技术方案：本技术实施例提供了一种蒸镀机，包括至少一个蒸镀腔室，在所述蒸镀腔室内设置有用于放置待蒸镀基板的基座，还包括蒸镀源轨道，在所述蒸镀源轨道上设置有多种蒸镀材料源，所述蒸镀材料源在所述蒸镀源轨道上运行，使得所述蒸镀材料源能够对所述基座上放置的待蒸镀基板进行蒸镀。可选地，所述蒸镀腔室包括多个。可选地，所述蒸镀机还包括对位机构，所述对位机构用于调整放置在所述基座上的待蒸镀基板的位置。可选地，所述蒸镀腔室内还设置有闸板阀，当所述闸板阀关闭时，将所述基座与所述待蒸镀材料源分割在不同的两个空间；当所述闸板阀开启时，所述蒸镀材料源能够对所述待蒸镀基板进行蒸镀。可选地，当所述基板出现损坏时，所述闸板阀闭合。可选地，所述蒸镀机还包括：基板装载腔室和基板卸载腔室。可选地，所述基板装载腔室、所述蒸镀腔室和所述基板卸载腔室依次设置，围绕成的形状为环形。可选地，所述蒸镀源轨道为环形。可选地，所述蒸镀机还包括机械手，用于将所述待蒸镀基板放置在所述蒸镀腔室中，以及将蒸镀完成后的基板放置在所述基板卸载腔室中。本技术实施例技术方案，具有如下优点：本技术实施例提供了一种蒸镀机，包括至少一个蒸镀腔室，在蒸镀腔室内设置有用于放置待蒸镀基板的基座，还包括蒸镀源轨道，在蒸镀源轨道上设置有多种蒸镀材料源，该蒸镀材料源在蒸镀源轨道上运行，使得蒸镀材料源能够对基座上放置的待蒸镀基板进行蒸镀。在对基板进行蒸镀过程中，通常需要对待蒸镀基板用几种不同的材料进行蒸镀，将待蒸镀基板放置在蒸镀腔室的基座上，通过对位机构调整基板位置，在蒸镀机内设置蒸镀源轨道，不同的蒸镀材料源在该蒸镀源轨道上运行，当一种蒸镀材料源运行到对准待蒸镀基板时，对基板进行蒸镀，蒸镀完成后该蒸镀材料源继续沿着蒸镀源轨道运行，另一种蒸镀材料源对准蒸镀基板进行蒸镀，以此完成对基板的整个蒸镀过程。通过此技术方案，使待蒸镀基板不需要多次在不同的对位机构上进行对位，只需要一次对位即可完成整个蒸镀过程，减小了蒸镀周期，同时也减少了基板在对位过程中破碎的风险。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是根据本技术实施例的蒸镀机的一个装置示意图；图2是根据本技术实施例的蒸镀机的蒸镀腔室的示意图；图3是根据本技术实施例的蒸镀机的对位机构的示意图；图4是根据本技术实施例的蒸镀机的另一个实施例的装置示意图。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。实施例1在本实施例中提供了一种蒸镀机，图1是根据本技术实施例的蒸镀机的一个装置示意图，图1为俯视图，如图1所示，该蒸镀机包括一个蒸镀腔室11，在蒸镀腔室11内设置有用于放置待蒸镀基板的基座，该蒸镀机还包括蒸镀源轨道12，在蒸镀源轨道12上设置有第一蒸镀材料源13和第二蒸镀材料源14，第一蒸镀材料源13和第二蒸镀材料源14在蒸镀源轨道12上运行，使得第一蒸镀材料源13和第二蒸镀材料源14能够对准基座上放置的待蒸镀基板，对待蒸镀基板进行蒸镀。例如蒸镀玻璃基板时，将玻璃基板放置在蒸镀腔室11的基座上，第一蒸镀材料源13对准玻璃基板后，对其进行蒸镀，在第一步蒸镀完成之后，第二蒸镀材料源14随着蒸镀源轨道12运行到对准蒸镀腔室11上放置的玻璃基板后，对其进行蒸镀，完成整个蒸镀过程，玻璃基板只需要在一个蒸镀腔室11内进行一次对位即可完成蒸镀，缩短蒸镀周期，减少了多次对位导致的基板破碎几率。在另一个可选实施方式中，蒸镀腔室11可以设置多个，蒸镀材料源可根据实际情况设置多种，例如设置两个蒸镀腔室11，则可以同时蒸镀两块基板，在一种蒸镀材料源对一块基板蒸镀完成之后，则随着蒸镀源轨道12运行到另一个蒸镀腔室蒸镀另一块基板，节约蒸镀时间。图2是根据本技术实施例的蒸镀机的蒸镀腔室的示意图，图2为蒸镀腔室11的主视图，如图2所示，为了更准确地对待蒸镀基板进行蒸镀，该蒸镀机还包括对位机构21，如图2所示，用于调整放置在上述基座上的待蒸镀基板的位置。具体地，当待蒸镀基板放进蒸镀腔室11的基座上时，如果其放置位置不准确，则会导致第一蒸镀材料源13不能准确地对准蒸镀基板，使蒸镀效果不好，蒸镀面积不满足要求等，因此使用对位机构21对放置在基座上的待蒸镀基板的位置进行调整，保证蒸镀效果。具体地，如图3所示，本技术实施例中的对位机构21具体包括：掩膜板平台211、背板212、夹爪213及掩膜板214，当机械手送待蒸镀基板，即玻璃基板23至待蒸镀腔室11时，对位机构21的夹爪213夹取玻璃基板23本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀机，包括至少一个蒸镀腔室，在所述蒸镀腔室内设置有用于放置待蒸镀基板的基座，其特征在于，还包括：蒸镀源轨道，在所述蒸镀源轨道上设置有多种蒸镀材料源，所述蒸镀材料源在所述蒸镀源轨道上运行，使得所述蒸镀材料源能够对所述基座上放置的待蒸镀基板进行蒸镀。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀机，包括至少一个蒸镀腔室，在所述蒸镀腔室内设置有用于放置待蒸镀基板的基座，其特征在于，还包括：蒸镀源轨道，在所述蒸镀源轨道上设置有多种蒸镀材料源，所述蒸镀材料源在所述蒸镀源轨道上运行，使得所述蒸镀材料源能够对所述基座上放置的待蒸镀基板进行蒸镀。2.根据权利要求1所述的蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀腔室包括多个。3.根据权利要求1所述的蒸镀机，其特征在于，还包括：对位机构，所述对位机构用于调整放置在所述基座上的待蒸镀基板的位置。4.根据权利要求1所述的蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀腔室内还设置有闸板阀，当所述闸板阀关闭时，所述基座与所述蒸镀材料源分割在不同的两个空间；当...

【专利技术属性】
技术研发人员：张珅骏，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32