全内反射棱镜单元、全内反射棱镜组件和用于形成线光束的设备制造技术

技术编号:21182149 阅读:36 留言:0更新日期:2019-05-22 14:01
提供了一种全内反射棱镜单元、全内反射棱镜组件和用于形成线光束的设备。所述全内反射棱镜单元可包括第一棱镜和第二棱镜。所述第一棱镜可包括第一全反射表面和第二全反射表面,所述第一全反射表面使在第一水平方向上入射的光沿着与所述第一水平方向基本垂直的第二水平方向全反射,所述第二全反射表面使从所述第一全反射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第一光束。所述第二棱镜可包括第三全反射表面和第四全反射表面,所述第三全反射表面使所述光沿着与所述第一水平方向基本垂直的第三水平方向全反射,所述第四全反射表面使从所述第三全反射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第二光束。所述第二光束可沿着所述第三水平方向与所述第一光束是不连续的。

Total Internal Reflection Prism Unit, Total Internal Reflection Prism Component and Equipment for Forming Line Beams

A total internal reflection prism unit, a total internal reflection prism assembly and a device for forming a line beam are provided. The total internal reflection prism unit may include a first prism and a second prism. The first prism may include a first total reflection surface and a second total reflection surface, the first total reflection surface totally reflects light incident in the first horizontal direction along the second horizontal direction substantially perpendicular to the first horizontal direction, and the second total reflection surface totally reflects light totally reflected from the first total reflection surface along the first horizontal direction to form the first horizontal direction. A beam of light. The second prism may comprise a third total reflection surface and a fourth total reflection surface, which totally reflects the light along a third horizontal direction substantially perpendicular to the first horizontal direction, and the fourth total reflection surface which totally reflects the light totally reflected from the third total reflection surface along the first horizontal direction to form a second beam. The second beam can be discontinuous with the first beam along the third horizontal direction.

【技术实现步骤摘要】
全内反射棱镜单元、全内反射棱镜组件和用于形成线光束的设备相关申请的交叉引用于2017年11月13日提交到韩国知识产权局(KIOP)的标题为“TotalInternalReflectionPrismUnit,TotalInternalReflectionPrismAssemblyIncludingtheSameandApparatusforFormingaLineBeamIncludingtheSame”(全内反射棱镜单元、包括其的全内反射棱镜组件和包括其的形成线光束的设备)的第10-2017-0150751号韩国专利申请的全部内容以引用方式并入本文中。
示例实施例涉及全内反射棱镜单元、包括其的全内反射棱镜组件和包括其的形成线光束的设备。更具体地,示例实施例涉及重新分布光以形成均匀线光束的全内反射棱镜单元、包括该全内反射棱镜单元的全内反射棱镜组件和包括该全内反射棱镜单元的形成线光束的设备。
技术介绍
可使用线光束来制造或测试半导体器件。可通过使光穿过非球面透镜或鲍威尔棱镜(Powelllens)来形成线光束。根据相关技术,可根据非球面透镜或鲍威尔棱镜的形状确定线光束的均匀性。因此,为了形成均匀的线光束,需要根据所设计的形状来制成非球面透镜或鲍威尔棱镜。然而,当非球面透镜或鲍威尔棱镜例如由于工艺失败而偏离所设计的形状时,可能没有适当地形成均匀的线光束。此外,由于非球面透镜或鲍威尔棱镜的组装失败,导致线光束可能不均匀。
技术实现思路
根据示例实施例,可提供一种全内反射棱镜单元。所述全内反射棱镜单元可包括第一棱镜和第二棱镜。所述第一棱镜可包括第一全反射表面和第二全反射表面。所述第一全反射表面可使在第一水平方向上入射的光沿着与所述第一水平方向基本垂直的第二水平方向全反射。所述第二全反射表面可使从所述第一全反射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第一光束。所述第二棱镜可包括第三全反射表面和第四全反射表面。所述第三全反射表面可使所述光沿着与所述第一水平方向基本垂直的第三水平方向全反射。所述第四全反射表面可使从所述第三全反射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第二光束。所述第二光束可沿着所述第三水平方向与所述第一光束是不连续的。根据示例实施例,可提供一种全内反射棱镜组件。所述全内反射棱镜组件可包括全反射入射棱镜单元和全反射出射棱镜单元。所述全反射入射棱镜单元可包括第一入射棱镜和第二入射棱镜。所述第一入射棱镜可包括第一全反射入射表面和第二全反射入射表面。所述第一全反射入射表面可使在第一水平方向上入射的光沿着与所述第一水平方向基本垂直的第二水平方向全反射。所述第二全反射入射表面可使从所述第一全反射入射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第一入射光束。所述第二入射棱镜可包括第三全反射入射表面和第四全反射入射表面。所述第三全反射入射表面可使所述光沿着与所述第一水平方向基本垂直的第三水平方向全反射。所述第四全反射表面可使从所述第三全反射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第二入射光束。所述第二入射光束可沿着所述第三水平方向与所述第一入射光束是不连续的。所述全反射出射棱镜单元可包括第一出射棱镜和第二出射棱镜。所述第一出射棱镜可包括第一全反射出射表面和第二全反射出射表面。所述第一全反射出射表面可使所述第一入射光束沿着第一垂直方向全反射。所述第二全反射出射表面可使从所述第一全反射入射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第一出射光束。所述第二出射棱镜可包括第三全反射出射表面和第四全反射出射表面。所述第三全反射出射表面可使所述第二入射光束沿着第二垂直方向全反射。所述第四全反射出射表面可使从所述第三全反射出射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第二出射光束。所述第二出射光束可沿着所述第三水平方向与所述第一出射光束是不连续的。根据示例实施例,可提供一种用于形成线光束的设备。所述设备可包括全反射入射棱镜单元、全反射出射棱镜单元和聚光透镜单元。所述全反射入射棱镜单元可包括第一入射棱镜和第二入射棱镜。所述第一入射棱镜可包括第一全反射入射表面和第二全反射入射表面。所述第一全反射入射表面可使在第一水平方向上入射的光沿着与所述第一水平方向基本垂直的第二水平方向全反射。所述第二全反射入射表面可使从所述第一全反射入射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第一入射光束。所述第二入射棱镜可包括第三全反射入射表面和第四全反射入射表面。所述第三全反射入射表面可使所述光沿着与所述第一水平方向基本垂直的第三水平方向全反射。所述第四全反射入射表面可使从所述第三全反射入射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第二入射光束。所述第二入射光束可沿着所述第三水平方向与所述第一入射光束是不连续的。所述全反射出射棱镜单元可包括第一出射棱镜和第二出射棱镜。所述第一出射棱镜可包括第一全反射出射表面和第二全反射出射表面。所述第一全反射出射表面可使所述第一入射光束沿着第一垂直方向全反射。所述第二全反射出射表面可使从所述第一全反射入射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第一出射光束。所述第二出射棱镜可包括第三全反射出射表面和第四全反射出射表面。所述第三全反射出射表面可使所述第二入射光束沿着第二垂直方向全反射。所述第四全反射出射表面可使从所述第三全反射出射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第二出射光束。所述第二出射光束可沿着所述第三水平方向与所述第一出射光束是不连续的。所述聚光透镜单元可将来自所述全反射出射棱镜单元的所述第一出射光束和所述第二出射光束沿着所述第二水平方向和所述第三水平方向会聚,以形成所述线光束。附图说明通过参照附图详细描述示例性实施例,对于本领域的技术人员而言,特征将变得清楚,其中:图1示出了根据示例实施例的从入射方向观察的全内反射棱镜单元的分解透视图;图2示出了从入射方向观察的图1中的全内反射棱镜单元的透视图;图3示出了从出射方向观察的图2中的全内反射棱镜单元的透视图;图4示出了图2中的全内反射棱镜单元的俯视图;图5示出了根据示例实施例的全内反射棱镜单元的透视图;图6示出了根据示例实施例的全内反射棱镜单元的透视图;图7示出了根据示例实施例的全内反射棱镜单元的透视图;图8示出了根据示例实施例的从入射方向观察的全内反射棱镜单元的透视图;图9示出了从出射方向观察的图8中的全内反射棱镜单元的透视图;图10示出了图8中的全内反射棱镜单元的俯视图;图11示出了根据示例实施例的全内反射棱镜单元的透视图;图12示出了包括图9中的全内反射棱镜单元的全内反射棱镜组件的分解透视图;图13示出了图12中的全内反射组件的透视图;图14示出了根据示例实施例的全内反射棱镜组件的分解透视图;图15示出了包括图13中的全内反射棱镜组件的用于形成线光束的设备的透视图;图16示出了图15中的设备的正视图;图17示出了图15中的设备的俯视图;图18示出了图15中的设备的扩束器的透视图;图19示出了图18中的扩束器的正视图;图20示出了图18中的扩束器的俯视图;图21示出了根据示例实施例的扩束器的正视图;图22示出了图21中的扩束器的俯视图;图23示出了图15中的设备的聚光透镜的正视图;图2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种全内反射棱镜单元,所述全内反射棱镜单元包括:第一棱镜,所述第一棱镜具有第一全反射表面和第二全反射表面,所述第一全反射表面用于使在第一水平方向上入射的光沿着与所述第一水平方向基本垂直的第二水平方向全反射,所述第二全反射表面用于使从所述第一全反射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第一光束;以及第二棱镜,所述第二棱镜具有第三全反射表面和第四全反射表面,所述第三全反射表面用于使在所述第一水平方向上入射的光沿着与所述第一水平方向基本垂直的第三水平方向全反射,所述第四全反射表面用于使从所述第三全反射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成沿着所述第三水平方向与所述第一光束不连续的第二光束。

【技术特征摘要】
2017.11.13 KR 10-2017-01507511.一种全内反射棱镜单元,所述全内反射棱镜单元包括:第一棱镜,所述第一棱镜具有第一全反射表面和第二全反射表面,所述第一全反射表面用于使在第一水平方向上入射的光沿着与所述第一水平方向基本垂直的第二水平方向全反射,所述第二全反射表面用于使从所述第一全反射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第一光束;以及第二棱镜,所述第二棱镜具有第三全反射表面和第四全反射表面,所述第三全反射表面用于使在所述第一水平方向上入射的光沿着与所述第一水平方向基本垂直的第三水平方向全反射,所述第四全反射表面用于使从所述第三全反射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成沿着所述第三水平方向与所述第一光束不连续的第二光束。2.根据权利要求1所述的全内反射棱镜单元,其中,所述第二水平方向与所述第三水平方向相反。3.根据权利要求2所述的全内反射棱镜单元,其中,所述第一棱镜为平行六面体形状,所述第一全反射表面和所述第二全反射表面对应于所述第一棱镜的相对的两个侧表面,所述第一全反射表面和所述第二全反射表面相对于所述第一水平方向以使得光相对于所述第一水平方向被全反射的临界角倾斜,其中,所述第二棱镜为平行六面体形状,所述第三全反射表面和所述第四全反射表面对应于所述第二棱镜的相对的两个侧表面,所述第三全反射表面和所述第四全反射表面相对于所述第一水平方向以使得所述光相对于所述第一水平方向被全反射的临界角倾斜。4.根据权利要求3所述的全内反射棱镜单元,其中,所述第一棱镜的厚度与所述第二棱镜的厚度基本相同。5.根据权利要求2所述的全内反射棱镜单元,所述全内反射棱镜单元还包括:布置在所述第一棱镜上方的第三棱镜,所述第三棱镜包括第五全反射表面和第六全反射表面,所述第五全反射表面与所述第一全反射表面基本上平行地布置,以使在所述第一水平方向上入射的光沿着所述第二水平方向全反射,所述第六全反射表面与所述第二全反射表面基本上平行地布置,以使从所述第五全反射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,从而形成沿着所述第二水平方向与所述第一光束不连续的第三光束;以及布置在所述第二棱镜下方的第四棱镜,所述第四棱镜包括第七全反射表面和第八全反射表面,所述第七全反射表面与所述第三全反射表面基本上平行地布置,以使在所述第一水平方向上入射的光沿着所述第三水平方向全反射,所述第八全反射表面与所述第四全反射表面基本上平行地布置,以使从所述第七全反射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,从而形成沿着所述第三水平方向与所述第二光束不连续的第四光束。6.根据权利要求5所述的全内反射棱镜单元,其中,所述第三棱镜为尺寸比所述第一棱镜的尺寸大的平行六面体形状,所述第五全反射表面和所述第六全反射表面对应于所述第三棱镜的相对的两个侧表面,所述第五全反射表面和所述第六全反射表面相对于所述第一水平方向以使得所述光相对于所述第一水平方向被全反射的临界角倾斜,所述第三棱镜的尺寸是所述第一棱镜的尺寸的两倍,所述第四棱镜为尺寸比所述第二棱镜的尺寸大的平行六面体形状,所述第七全反射表面和所述第八全反射表面对应于所述第四棱镜的相对的两个侧表面,所述第七全反射表面和所述第八全反射表面相对于所述第一水平方向以使得所述光相对于所述第一水平方向被全反射的临界角倾斜,所述第四棱镜的尺寸是所述第二棱镜的尺寸的两倍。7.根据权利要求5所述的全内反射棱镜单元,其中,所述第三棱镜为尺寸比所述第一棱镜的尺寸小的平行六面体形状,所述第五全反射表面和所述第六全反射表面对应于所述第三棱镜的相对的两个侧表面,所述第五全反射表面和所述第六全反射表面相对于所述第一水平方向以使得所述光相对于所述第一水平方向被全反射的临界角倾斜,所述第三棱镜的尺寸是所述第一棱镜的尺寸的一半,所述第四棱镜为尺寸比所述第二棱镜的尺寸小的平行六面体形状,所述第七全反射表面和所述第八全反射表面对应于所述第四棱镜的相对的两个侧表面,所述第七全反射表面和所述第八全反射表面相对于所述第一水平方向以使得所述光相对于所述第一水平方向被全反射的临界角倾斜,所述第四棱镜的尺寸是所述第二棱镜的尺寸的一半。8.根据权利要求5所述的全内反射棱镜单元,其中,所述第一棱镜、所述第二棱镜、所述第三棱镜和所述第四棱镜具有基本相同的厚度。9.根据权利要求1所述的全内反射棱镜单元,其中,所述第二水平方向和所述第三水平方向是同一方向。10.根据权利要求9所述的全内反射棱镜单元,其中,所述第一棱镜为平行六面体形状,所述第一全反射表面和所述第二全反射表面对应于所述第一棱镜的相对的两个侧表面,所述第一全反射表面和所述第二全反射表面相对于所述第一水平方向以使得所述光相对于所述第一水平方向被全反射的临界角倾斜,其中,所述第二棱镜为尺寸与所述第一棱镜的尺寸不同的平行六面体形状,所述第四全反射表面与所述第二全反射表面是不连续的,所述第三全反射表面和所述第四全反射表面相对于所述第一水平方向以所述临界角倾斜。11.根据权利要求10所述的全内反射棱镜单元,其中,所述第一棱镜的尺寸是所述第二棱镜的尺寸的两倍。12.根据权利要求10所述的全内反射棱镜单元,其中,所述第一棱镜的尺寸是所述第二棱镜的尺寸的一半。13.根据权利要求10所述的全内反射棱镜单元,其中,所述第一棱镜的厚度与所述第二棱镜的厚度基本相同。14.根据权利要求10所述的全内反射棱镜单元,其中,所述第一棱镜和所述第二棱镜具有与所述第一水平方向基本垂直的入射表面和出射表面。15.根据权利要求1所述的全内反射棱镜单元,其中,所述光包括相干光。16.一种全内反射棱镜组件,所述全内反射棱镜组件包括全反射入射棱镜单元和全反射出射棱镜单元,所述全反射入射棱镜单元包括第一入射棱镜和第二入射棱镜,所述第一入射棱镜包括第一全反射入射表面和第二全反射入射表面,所述第一全反射入射表面用于使在第一水平方向上入射的光沿着与所述第一水平方向基本垂直的第二水平方向全反射,所述第二全反射入射表面用于使从所述第一全反射入射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第一入射光束,所述第二入射棱镜包括第三全反射入射表面和第四全反射入射表面,所述第三全反射入射表面用于使在所述第一水平方向上入射的光沿着与所述第一水平方向基本垂直的第三水平方向全反射,所述第四全反射入射表面用于使从所述第三全反射入射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成沿着所述第三水平方向与所述第一入射光束不连续的第二入射光束,所述全反射出射棱镜单元包括第一出射棱镜和第二出射棱镜,所述第一出射棱镜包括第一全反射出射表面和第二全反射出射表面,所述第一全反射出射表面用于使所述第一入射光束沿着第一垂直方向全反射,所述第二全反射出射表面用于使从所述第一全反射出射表面全反射的光沿着所述第一水平方向全反射,以形成第一出射光束,所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员:李贞彻
申请(专利权)人:三星电子株式会社
类型:发明
国别省市:韩国,KR

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