The invention discloses a nano metal planar tip optical detector, comprising a semiconductor optical detector and a nano array mask, which limits a plurality of polygonal holes connected to the optical detector, in which the semiconductor optical detector detects near-field light focused by the nano array mask.
【技术实现步骤摘要】
纳米金属平面尖光学探测器
本公开涉及一种光学探测器，特别涉及一种纳米金属平面尖(nano-metallic-planar-apex)超材料红外探测器。
技术介绍
由于红外入射光子的能量小于导致电子从价带激发到导带的能量，因此目前基于硅的红外探测器效率不高，目前用于红外区域的探测器建立在具有较低能带隙的铟镓砷(InGaAs)或锗(Ga)衬底上。但铟镓砷和锗红外光学探测器可能难以制造且可能价格昂贵。多年来已经证明了几种用以探测硅中红外光的方法，例如，用于使用硫化铅胶体纳米晶体作为敏化剂进行红外-可见光上转换(infrared-to-visibleup-conversion)的固态薄膜，金字塔形等离子体聚光器肖特基探测器，以及非线性过程，例如双光子吸收。我们所寻求的是能够有效地探测光学光谱区域及近红外光谱区域中的光子的装置。利用纳米阵列的装置可以提供利用硅衬底有效地探测红外光子的解决方案。
技术实现思路
在一个实施例中，一种纳米金属平面尖光学探测器，包括半导体光学探测器和纳米阵列掩模，所述纳米阵列掩模限定连接到所述光学探测器的多个多边形孔，其中半导体光学探测器探测由纳米阵列...
【技术保护点】
1.一种纳米金属平面尖光学探测器，包括：半导体光学探测器；和纳米阵列掩模，所述纳米阵列掩模限定连接到所述光学探测器的多个多边形孔，其中所述半导体光学探测器探测由所述纳米阵列掩模聚焦的近场光。
【技术特征摘要】
2017.11.14 US 62/586,011;2018.03.20 US 15/926,7481.一种纳米金属平面尖光学探测器，包括：半导体光学探测器；和纳米阵列掩模，所述纳米阵列掩模限定连接到所述光学探测器的多个多边形孔，其中所述半导体光学探测器探测由所述纳米阵列掩模聚焦的近场光。2.根据权利要求1所述的纳米金属平面尖光学探测器，其特征在于，所述纳米阵列掩模限定至少一个盒孔，所述盒孔具有沿所述盒的至少一个内边缘保留的至少一个等腰三角形插入物。3.根据权利要求1所述的纳米金属平面尖光学探测器，其特征在于，所述纳米阵列掩模限定至少一个等边星形孔。4.根据权利要求1所述的纳米金属平面尖光学探测器，其特征在于，所述纳米阵列掩模限定至少一个盒孔，所述盒孔具有保留在所述至少一个盒孔内的至少一个菱形插入物。5.根据权利要求1所述的纳米金属平面尖光学探测器，其特征在于，所述纳米阵列掩模限定至少一个盒孔，所述盒孔具有保留在所述至少一个盒孔内的多个菱形插入物。6.根据权利要求1所述的纳米金属平面尖光学探测器，其特征在于，所述纳米阵列掩模限定至少一个盒孔，所述盒孔具有沿所述盒的至少一个内边缘的至少一个蝴蝶结孔。7.根据权利要求1所述的纳米金属平面尖光学探测器，其特征在于，所述纳米阵列掩模限定至少一个盒孔，所述盒孔具有沿所述盒的至少一个内边缘的多个蝴蝶结孔。8.根据权利要求1所述的纳米金属平面尖光学探测器，其特征在于，所述纳米阵列掩模限定至少一个盒孔，所述盒孔具有沿所述盒的至少一个内边缘保留的多个等腰三角形插入物。9.根据权利要求1所述的纳米金属平面尖光学探测器，其特征在于，所述纳米阵列掩模限定至少一个盒孔，所述盒孔具有沿所述盒的至少一个内边缘保留的三角形金属。10.根据权利要求1所述的纳米金属平面尖光学探测器，其特征在于，所述纳米阵列掩模包括镉粘附层和金层。11.一种纳米金属平面尖光学探测器，包括：纳米阵列掩模，...
【专利技术属性】
技术研发人员：信钊炜，魏东，
申请(专利权)人：黑芝麻国际控股有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US
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