膜的制造方法技术

本发明专利技术提供一种薄膜且膜厚等的均匀性较高的优质的膜的制造方法。所述膜的制造方法为将包含形成膜的材料及溶剂的原料溶液供给到基板上，通过使溶剂干燥而将膜形成在基板上的膜的制造方法。使用在基板上保持原料溶液的涂布刮板，涂布刮板具有与基板的表面相对置的对置面、及设在对置面的周围的与原料溶液接触的至少1个侧面。使原料溶液的溶剂沿着特定方向干燥而形成膜。

Manufacturing Method of Membrane

The invention provides a method for manufacturing a high quality film with high uniformity of film thickness and the like. The manufacturing method of the film is that the material containing the film forming and the raw material solution containing the solvent are supplied to the substrate, and the film is formed on the substrate by drying the solvent. A coating scraper is used to keep the raw material solution on the substrate. The coating scraper has at least one side opposite to the surface of the substrate and in contact with the raw material solution around the opposite side. The solvent of the raw material solution dries in a specific direction to form a film.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】膜的制造方法
本专利技术是涉及一种基于涂布法的膜的制造方法，尤其涉及一种使用了有机半导体材料、晶体材料及取向材料等的膜的制造方法。
技术介绍
当前，作为用于可挠性器件等的半导体材料期待有机半导体。有机半导体与硅等无机半导体相比，其特征之一为能够形成低温涂布。提出各种使用了有机半导体的有机半导体膜的制造方法。专利文献1中，记载有使用了有机半导体材料的基于涂布法的有机半导体膜的制造方法。专利文献1的有机半导体膜的制造方法中，在接触面与基板的表面之间设有楔状的间隙，当形成液滴保持状态时，原料溶液的液滴保持在基板的表面与接触面之间。在该状态下，以与接触面接触的方式供给原料溶液。在通过接触面而保持液滴的状态下进行干燥步骤，从而使液滴中的溶剂蒸发。与溶剂的蒸发一起进展有机半导体材料的晶体化，朝向接触面的封闭侧进行晶体的生长，逐渐形成有机半导体膜。专利文献2中，记载有半导体膜的制造方法。专利文献2中，示出涂布于形成在栅极电极上的栅极绝缘膜的表面的边缘流延法。边缘流延法中，在栅极绝缘膜上配置有喷嘴及刮板。从喷嘴向刮板的对置于栅极绝缘膜表面的边缘部分供给涂布液。喷嘴及基板保持在溶剂蒸发的温度。一边继续供给涂布液一边将基板向一方向移动，以使保持在边缘部分的涂布液的量变得恒定。从喷嘴供给的涂布液随着溶剂蒸发，有机半导体材料进行晶体化。以往技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5397921号公报专利文献2：国际公开第2016/031968号上述专利文献1的有机半导体膜的制造方法及专利文献2的半导体膜的制造方法中的任一方法均能够形成有机半导体膜。然而，关于有机半导体膜，现状是要求进一步的薄膜化、膜厚等的均匀性。
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题本专利技术的目的在于，消除基于上述现有技术的问题点，并提供一种薄膜且膜厚等的均匀性较高的优质的膜的制造方法。用于解决技术课题的手段为了实现上述目的，本专利技术提供一种膜的制造方法，所述膜的制造方法为将包含形成膜的材料及溶剂的原料溶液供给到基板上，通过使溶剂干燥而将膜形成在基板上的膜的制造方法，所述方法的特征为，使用在基板上保持原料溶液的涂布刮板，涂布刮板具有与基板的表面相对置的对置面、及设在对置面的周围的与原料溶液接触的至少1个侧面，且使原料溶液的溶剂沿着特定方向干燥而形成膜。优选至少涂布刮板的对置面及2个侧面这3面与原料溶液接触。并且，优选由涂布刮板的对置面及至少2个侧面中的至少1个面确定干燥原料溶液的特定方向。并且，优选仅由涂布刮板的对置面及至少2个侧面中的1个面确定干燥原料溶液的特定方向。并且，优选仅由涂布刮板的对置面确定干燥原料溶液的特定方向。涂布刮板具有2个侧面，优选2个侧面分别与基板的表面垂直，且相互对置设置。涂布刮板的对置面优选相对于基板的表面倾斜。涂布刮板的对置面相对于基板的表面的倾角优选为1°～6°。被涂布刮板保持在基板上的原料溶液中，优选膜生长界面朝向原料溶液的中心而弯曲。优选涂布刮板相对于基板的表面的位置是固定的。并且，涂布刮板具有开放原料溶液的周围的至少一部分的开放部，可以使基板向从原料溶液的中心朝向开放部的方向移动。此时，优选将原料溶液供给到基板的表面与涂布刮板之间，并且移动基板来连续形成膜。当将原料溶液的溶剂的沸点设为Tb℃，将基板温度设为Ts℃时，基板温度Ts优选保持在Tb-50℃≤Ts≤Tb的温度。膜由具有取向性的材料形成。例如，具有取向性的材料为形成晶体的材料或有机半导体。专利技术效果根据本专利技术，能够得到薄膜且膜厚等的均匀性较高的优质的膜。附图说明图1是表示用于本专利技术的实施方式的膜的制造方法的涂布刮板的示意性立体图。图2是表示用于本专利技术的实施方式的膜的制造方法的涂布刮板的示意图。图3是用于本专利技术的实施方式的膜的制造方法的涂布刮板的一端部的主要部分放大图。图4是用于本专利技术的实施方式的膜的制造方法的涂布刮板的另一端部的主要部分放大图。图5是表示用于本专利技术的实施方式的膜的制造方法的涂布刮板的示意性俯视图。图6是表示用于本专利技术的实施方式的膜的制造方法的涂布刮板的侧面的示意图。图7是表示本专利技术的实施方式的膜的制造方法的第1例的一工序的示意图。图8是表示本专利技术的实施方式的膜的制造方法的第1例的一工序的示意图。图9是表示利用本专利技术的实施方式的膜的制造方法来制造的薄膜晶体管的一例的示意性剖视图。图10是表示用于本专利技术的实施方式的膜的制造方法的涂布刮板中的供给管的供给口的配置位置的第1例的示意性剖视图。图11是表示涂布刮板中的供给管的供给口的配置位置的第2例的示意性剖视图。图12是表示涂布刮板中的供给管的供给口的配置位置的第3例的示意性剖视图。图13是表示利用本专利技术的实施方式的膜的制造方法形成的膜的配置例的示意图。图14是表示本专利技术的实施方式的膜的制造方法的第2例的一工序的示意图。图15是表示本专利技术的实施方式的膜的制造方法的第2例的一工序的示意图。图16是表示本专利技术的实施方式的膜的制造方法的第2例的一工序的示意图。图17是表示本专利技术的实施方式的膜的制造方法的第2例的一工序的示意图。图18是表示用于本专利技术的实施方式的膜的制造方法的制造装置的第1例的示意图。图19是用于说明本专利技术的实施方式的膜的制造方法的第3例的示意图。图20是用于说明本专利技术的实施方式的膜的制造方法的第3例的俯视图。图21是表示用于本专利技术的实施方式的膜的制造方法的制造装置的第2例的示意图。图22是表示用于实施例的涂布刮板的示意图。图23是表示用于实施例的涂布刮板的示意性剖视图。图24是表示用于比较例的涂布刮板的示意图。图25是表示用于比较例的涂布刮板的示意性剖视图。图26是表示膜厚及饱和迁移率的测定区域的示意图。图27是表示实施例1的膜的示意图。图28是表示比较例1的膜的示意图。具体实施方式以下，根据添附的附图所示的优选实施方式，对本专利技术的膜的制造方法进行详细说明。另外，以下中表示数值范围的“～”是指包含记载于两侧的数值。例如，ε为数值α～数值β是指ε的范围为包含数值α与数值β的范围，若用数学记号表示则为α≤ε≤β。“由具体数值表示的角度”、“平行”、“垂直”及“正交”等的角度若并无特别记载，则包含对应的
中一般所允许的误差范围。图1是表示用于本专利技术的实施方式的膜的制造方法的涂布刮板的示意性立体图，图2是表示用于本专利技术的实施方式的膜的制造方法的涂布刮板的示意图，图3是用于本专利技术的实施方式的膜的制造方法的涂布刮板的一端部的主要部分放大图，图4是用于本专利技术的实施方式的膜的制造方法的涂布刮板的另一端部的主要部分放大图。图1～图4所示的涂布刮板10使用在膜38(参考图8)的形成中。将原料溶液36保持在基板30上即基板30的表面30a。涂布刮板10例如具有：平面部12，由矩形形状的平板构成；及至少2个侧面14，设置在平面部12。平面部12具有与基板30的表面30a相对置的对置面12a。例如，2个侧面14设置在对置面12a的周围。图1～图4中，将平面部12的长度方向设为第1方向D1，将与第1方向D1正交的方向设为第2方向D2(参考图1)。涂布刮板10中，平面部12与基板30的表面30a相对置而分开配置，并且平面部12的对置面12a相对于基板30的表面30a而倾斜。例如，对置面12a为相对于基板30的表面30a而单调地本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种膜的制造方法，将包含形成膜的材料及溶剂的原料溶液供给到基板上，通过使所述溶剂干燥而将所述膜形成在所述基板上，所述膜的制造方法的特征在于，使用在所述基板上保持所述原料溶液的涂布刮板，所述涂布刮板具有：对置面，与所述基板的表面相对置；及至少1个侧面，设在所述对置面的周围，且与所述原料溶液接触，使所述原料溶液的所述溶剂沿着特定方向干燥而形成所述膜。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.27 JP 2016-1879181.一种膜的制造方法，将包含形成膜的材料及溶剂的原料溶液供给到基板上，通过使所述溶剂干燥而将所述膜形成在所述基板上，所述膜的制造方法的特征在于，使用在所述基板上保持所述原料溶液的涂布刮板，所述涂布刮板具有：对置面，与所述基板的表面相对置；及至少1个侧面，设在所述对置面的周围，且与所述原料溶液接触，使所述原料溶液的所述溶剂沿着特定方向干燥而形成所述膜。2.根据权利要求1所述的膜的制造方法，其中，至少所述涂布刮板的所述对置面及2个所述侧面这3面与所述原料溶液接触。3.根据权利要求1或2所述的膜的制造方法，其中，由所述涂布刮板的至少1个面确定干燥所述原料溶液的所述特定方向，该至少1个面是所述涂布刮板的所述对置面及至少2个所述侧面中的至少1个面。4.根据权利要求1～3中任1项所述的膜的制造方法，其中，仅由所述涂布刮板的1个面确定干燥所述原料溶液的所述特定方向，该1个面是所述涂布刮板的所述对置面及至少2个所述侧面中的1个面。5.根据权利要求4所述的膜的制造方法，其中，仅由所述涂布刮板的所述对置面，确定干燥所述原料溶液的所述特定方向。6.根据权利要求1～5中任1项所述的膜的制造方法，其中，所述涂布刮板具有2个侧面，2个所述侧面分别与所述基板的表面垂直，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村诚吾，八重樫裕之，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP