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磁传感器制造技术

技术编号:21137897 阅读:25 留言:0更新日期:2019-05-18 04:15
本发明专利技术涉及一种磁传感器,所述磁传感器至少包括:元件部,其是细长的并具有磁阻效应;以及软磁性体,其在所述元件部的相对于短轴方向的两侧夹持所述元件部。随着在长轴方向上与所述元件部的相对于所述长轴方向的中心部相距的距离增加,所述元件部的相对于所述元件部的长轴方向的两个端部中的至少一个的宽度逐渐减少。

Magnetic sensor

The invention relates to a magnetic sensor, which comprises at least a component part, which is slender and has magnetoresistance effect, and a soft magnet which clamps the component part on both sides of the component part relative to the short axis direction. As the distance from the center part of the component part relative to the long axis direction increases in the long axis direction, the width of the component part relative to at least one of the two ends in the long axis direction of the component part decreases gradually.

【技术实现步骤摘要】
磁传感器
本申请要求基于2017年11月9日提交的JP申请号2017-216488号的优先权,所述专利申请的公开内容通过引用以其整体并入本文。本专利技术涉及一种磁传感器。
技术介绍
作为用于检测移动对象的位置的传感器,已知有具有带磁阻效应的元件的磁传感器(参见JPH11-87804)。磁传感器相对于磁体移动并由此检测由磁体产生的外部磁场中的变化,并且基于所检测的外部磁场中的变化来计算移动对象的移动距离。在JPH11-87804中公开的磁传感器如其图1所示具有表现出磁阻效应的巨磁阻薄膜和软磁性薄膜。在磁传感器中,巨磁阻薄膜是细长的,并且在巨磁阻薄膜的相对于其短轴方向的两侧设置软磁性薄膜。沿厚度方向观察时,巨磁阻薄膜是矩形的。在该磁传感器中,对磁场的灵敏度较差的巨磁阻薄膜与软磁性薄膜相结合以增强对磁场的灵敏度。
技术实现思路
如JPH11-87804中所公开的,通过在巨磁阻薄膜的两侧上设置软磁性薄膜来增强巨磁阻薄膜的灵敏度。在这种布置中,随着软磁性薄膜(软磁性体)的宽度变大,磁传感器的灵敏度增强。然而,随着软磁性薄膜(软磁性体)的宽度变大,在磁场中沿巨磁阻薄膜的垂直于磁敏轴(在这种情况下,是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁传感器,其中,包括:元件部,其是细长的并具有磁阻效应;以及至少一个软磁性体,其在所述元件部的相对于其短轴方向的两侧夹持所述元件部,随着在长轴方向上与所述元件部的相对于所述长轴方向的中心部相距的距离增加,所述元件部的相对于其长轴方向的两个端部中的至少一个的宽度逐渐减少。

【技术特征摘要】
2017.11.09 JP 2017-2164881.一种磁传感器,其中,包括:元件部,其是细长的并具有磁阻效应;以及至少一个软磁性体,其在所述元件部的相对于其短轴方向的两侧夹持所述元件部,随着在长轴方向上与所述元件部的相对于所述长轴方向的中心部相距的距离增加,所述元件部的相对于其长轴方向的两个端部中的至少一个的宽度逐渐减少。2.根据权利要求1所述的磁传感器,其中,随着在所述长轴方向上与所述中心部相距的距离增加,所述元件部的相对于其长轴方向的两个端部的宽度逐渐减少。3.根据权利要求1所述的磁传感器,其中,随着在所述长轴方向上与所述中心部相距的距离增加,所述端部的宽度逐渐减少,并且所述宽度在所述元件部的尖端处成为零。4.根据权利要求1所述的磁传感器,其中,沿垂直于所述长轴方向和所述短轴方向的方向观察时,所述元件部是椭圆形的。5.根据权利要求1所述的磁传感器,其中,所述软磁性体具有孔口,并且所述元件部布置在所述孔口中。6.根据权利要求1所述的磁传感器,其中,沿垂直于所...

【专利技术属性】
技术研发人员:渡部司也
申请(专利权)人:TDK株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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