用于执行机构的高精度直线位移测量装置及调校测量方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了用于执行机构的高精度直线位移测量装置及调校测量方法，用于执行机构的高精度直线位移测量装置，包括设置的执行机构、执行机构支架、防转机构、位置调整机构、角度调整机构和调中棒，所述的位置调整机构的磁环与角度调整机构的传感器共同组成磁致伸缩式位移传感器，采用旁侧式的测量方法，通过调中棒对位置调整机构中的磁环与角度调整机构中的测量杆之间形成的环形间隙孔内轴对称的两处间隙的测量，可以确定测量杆和磁环的调校方向；执行机构行程范围内往复多次调节，使得测量杆与运动轴在执行机构行程范围内达到平行。该用于执行机构的高精度直线位移测量装置安装简单，便于实现操作，测量精度高。

High Precision Linear Displacement Measuring Device and Adjustment Measuring Method for Actuator

The invention discloses a high-precision linear displacement measuring device and a calibration measuring method for an actuator, and a high-precision linear displacement measuring device for an actuator, including an actuator, an actuator bracket, a rotation-proof mechanism, a position adjustment mechanism, an angle adjustment mechanism and a middle bar. The magnetic ring of the position adjustment mechanism and the sensor of the angle adjustment mechanism are common. A magnetostrictive displacement sensor is composed. By measuring the axisymmetric gap between the magnetic ring in the position adjusting mechanism and the measuring rod in the angle adjusting mechanism, the adjusting direction of the measuring rod and the magnetic ring can be determined by measuring the axisymmetric gap between the magnetic ring in the position adjusting mechanism and the measuring rod in the angle adjusting mechanism. The adjusting direction of the measuring rod and the magnetic ring can be determined by repeatedly adjusting the measuring rod and the moving axis in the range of the actuating mechanism. Parallelism is achieved within the scope of the executing agency's itinerary. The high precision linear displacement measuring device for actuator is simple to install, easy to operate and has high measurement accuracy.

【技术实现步骤摘要】
用于执行机构的高精度直线位移测量装置及调校测量方法
本专利技术属于测量领域，涉及用于执行机构的高精度直线位移测量装置及调校测量方法。
技术介绍
高精度直行程调节型执行机构对直线位移的测量要求较高，受应用环境、安装形式、行程限制等因素的影响，对其成品精度的测量及校准难度较大，尤其是执行机构的负载设备安装完成后的测量难度较大，容易导致测量数据误差较大或者数据不稳定等异常现象的发生。对于执行机构成品的精度测量，位移传感器的安装形式分有两大类：同轴式和旁侧式。同轴式安装只能将位移传感器安装在运动轴延长线上，将磁环加长臂固定到运动轴上，安装尺寸过长，如果遇到执行机构水平安装的情况，悬臂过长，容易引起精度下降；如果遇到执行机构带载荷的情况，则不能实施。旁侧式遇到的问题是同轴调节难度大，磁环对中难度大的问题。由于以上限制条件，在高精度直行程调节型执行机构行业中，成品精度的测量还停留在自测自判(通过执行机构控制设备自己读数进行精度判定)的水平上，不能真实反映产品实际精度。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本专利技术的目的是提供用于执行机构的高精度直线位移测量装置及调校测量方法，可以有效解决测量杆与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于执行机构的高精度直线位移测量装置，包括执行机构支架(2)，所述的执行机构支架(2)套设在需要测量直线位移的执行机构(1)上，所述的执行机构(1)包括运动轴(1‑2)，其特征在于，还包括防转机构(3)、位置调整机构(4)、角度调整机构(5)，所述的防转机构(3)套设在运动轴(1‑2)外部，所述的位置调整机构(4)与防转机构(3)垂直连接，所述的角度调整机构(5)与位置调整机构(4)可活动连接，所述的角度调整机构(5)与执行机构支架(2)连接。

【技术特征摘要】
1.用于执行机构的高精度直线位移测量装置，包括执行机构支架(2)，所述的执行机构支架(2)套设在需要测量直线位移的执行机构(1)上，所述的执行机构(1)包括运动轴(1-2)，其特征在于，还包括防转机构(3)、位置调整机构(4)、角度调整机构(5)，所述的防转机构(3)套设在运动轴(1-2)外部，所述的位置调整机构(4)与防转机构(3)垂直连接，所述的角度调整机构(5)与位置调整机构(4)可活动连接，所述的角度调整机构(5)与执行机构支架(2)连接。2.根据权利要求1所述的用于执行机构的高精度直线位移测量装置，其特征在于，所述的执行机构支架(2)上设有导向长槽(2-1)，所述的导向长槽(2-1)与所述的运动轴(1-2)平行，所述的防转机构(3)包括延伸轴(3-1)、锁紧螺母(3-2)、防转杆(3-3)和滑套(3-4)，所述的延伸轴(3-1)通过锁紧螺母(3-2)套设在所述的运动轴(1-2)外部，所述的防转杆(3-3)垂直设置在延伸轴(3-1)上，所述的防转杆(3-3)穿设在所述的导向长槽(2-1)内，所述的滑套(3-4)套在防转杆(3-3)上。3.根据权利要求2所述的用于执行机构的高精度直线位移测量装置，其特征在于，所述的位置调整机构(4)依次设置卡环(4-1)、立轴(4-2)、纵轴(4-3)、磁环座(4-4)和磁环(4-5)。4.根据权利要求3所述的用于执行机构的高精度直线位移测量装置，其特征在于，所述的卡环(4-1)包括第一卡环(4-1-1)、第二卡环(4-1-2)、卡环螺钉(4-1-3)和螺纹孔(4-1-5)，所述的第一卡环(4-1-1)与第二卡环(4-1-2)通过卡环螺钉(4-1-3)可活动的固定在所述的延伸轴(3-1)上，所述的第一卡环(4-1-1)上开设有多半圆形柱状的凹槽，所述的多半圆形柱状的凹槽用于放置立轴(4-2)，所述的多半圆形柱状的凹槽两侧设有螺纹孔(4-1-5)。5.根据权利要求4所述的用于执行机构的高精度直线位移测量装置，其特征在于，所述的立轴(4-2)设有立轴锁紧螺钉(4-2-1)、挡台(4-2-2)和纵轴安装螺孔(4-2-3)，所述的立轴锁紧螺钉(4-2-1)穿过所述的螺纹孔(4-1-5)，将立轴(4-2)与卡环(4-1)紧定连接，所述的挡台(4-2-2)卡在所述的第一卡环(4-1-1)上的多半圆形柱状的凹槽上，所述的纵轴(4-3)通过所述的纵轴安装螺孔(4-2-3)与立轴(4-2)垂直连接。6.根据权利要求5所述的用于执行机构的高精度直线位移测量装置，其特征在于，所述的磁环座(4-4)包括磁环座口、磁环座锁紧螺钉(4-4-1)、磁环座鼻(4-4-2)、磁环座眼(4-4-3)、磁环座上耳(4-4-4)、磁环座下耳(4-4-5)和磁环座背(4-4-6)，所述的磁环座眼(4-4-3)套在所述的纵轴(4-3)上并可沿纵轴(4-3)运动，所述的磁环座上耳(4-4-4)和磁环座下耳(4-4-5)通过磁环座锁紧螺钉(4-4-1)夹紧，将磁环座(4-4)固定在纵轴(4-3)上；所述的磁环(4-5)与所述的磁环座(4-4)通过4个磁环安装螺钉(4-5-1)螺纹连接，所述的磁环(4-5)中...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中山，马锋岗，赖少川，曾维亮，杨昌群，许长华，牛道东，杨新锋，
申请(专利权)人：中国石油化工股份有限公司，西安航天动力研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11