The invention relates to a preparation method of ultra-low friction magnetron boron nitride lubricating film suitable for water environment. The method refers to depositing different quality boron nitride thin film single crystal silicon wafers, which are cut into 5 cm *5 cm single crystal silicon wafers, after ultrasonic cleaning, and then dried naturally in the ventilation place, and then magnetron sputtered on the rotating pole in the vacuum bin of magnetron sputtering coating equipment. The deposited boron nitride lubricating film is pollution-free and has very low friction coefficient of about 0.002 in water environment. It has excellent lubrication and anti-wear performance, and is expected to be applied in the fields of marine machinery and ultra-precision machinery.
【技术实现步骤摘要】
适用于水环境下超低摩擦磁控氮化硼润滑薄膜的制备方法
本专利技术涉及润滑薄膜
，尤其涉及适用于水环境下超低摩擦磁控氮化硼润滑薄膜的制备方法。
技术介绍
从古至今，对于相互接触并且相对于运动的摩擦部件来说，高精度和摩擦寿命则是其正常运行的关键问题，由于克服摩擦力会损失能量，使得机器的效率降低，导致磨损，降低机器的精度，从而缩短寿命和可靠性，与此同时，摩擦又导致温度上升，如果摩擦副散热不良将导致机件受热膨胀，破坏机器的正常运转，以致发生咬死现象，而机器过热又会使得一般润滑油或者润滑薄膜等失去作用，因而加速了机器的磨损，使得可用能源大量损失。近年来，固体润滑急速发展，例如以LB膜、自组装薄膜、聚合物超薄膜等，还有MoS2、石墨、聚四氟乙烯(PTFE)、聚合物、氧化物为代表的固体润滑材料获得了广泛的使用。但这些润滑薄膜不论在水环境下还是在空气下普遍摩擦系数较高(0.2~0.6)，因此在高精度润滑方面还是有所限制。众所周知，我国拥有丰富的海洋资源，不论是海工装备、船舶、海上风电等机械设备，还是在水环境下的高精机械来说，发展具有优秀抗腐蚀能力的固体润滑薄膜都具有很重要的意...
【技术保护点】
1.适用于水环境下超低摩擦磁控氮化硼润滑薄膜的制备方法，其特征在于：将切割成5cm×5cm的单晶硅片经超声清洗后置于通风处自然晾干，再镶嵌在磁控溅射镀膜设备真空仓中的转架杆上进行磁控溅射，即得沉积不同质量的氮化硼薄膜单晶硅片。
【技术特征摘要】
1.适用于水环境下超低摩擦磁控氮化硼润滑薄膜的制备方法，其特征在于：将切割成5cm×5cm的单晶硅片经超声清洗后置于通风处自然晾干，再镶嵌在磁控溅射镀膜设备真空仓中的转架杆上进行磁控溅射，即得沉积不同质量的氮化硼薄膜单晶硅片。2.如权利要求1所述的适用于水环境下超低摩擦磁控氮化硼润滑薄膜的制备方法，其特征在于：所述超声清洗的条件是指超声功率为35KHz~40KHz，时间为30min。3.如权利要求1所述的适用于水环境下超低摩擦...
【专利技术属性】
技术研发人员：张俊彦，安璐璐，白永庆，白常宁，于元烈，高凯雄，
申请(专利权)人：中国科学院兰州化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：甘肃,62
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