The evaporation mask device has: an evaporation mask, which comprises a plurality of mask through holes from the first side on the substrate side to the second side on the opposite side of the first side; and a frame, which is provided with an opening overlapping with a portion of the evaporation mask and supports the evaporation mask.
【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模装置
本专利技术的一个实施方式涉及蒸镀掩模装置，其具有形成有多个贯通孔的蒸镀掩模和对蒸镀掩模进行支承的框架。
技术介绍
近年来，对于在智能手机或平板电脑等可携带的设备中使用的显示装置，要求高精细化，例如要求像素密度为400ppi以上。另外，在可携带的设备中，应对超高清(UHD)的需要也在提高，这种情况下，要求显示装置的像素密度例如为800ppi以上。在显示装置中，有机EL显示装置由于响应性良好、功耗低、对比度高而备受关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，已知有使用形成有以期望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模以期望的图案形成像素的方法。具体而言，进行如下蒸镀工序：首先使蒸镀掩模与有机EL显示装置用的基板密合，接着将密合后的蒸镀掩模和基板一起放入蒸镀装置中，使有机材料蒸镀至基板。这种情况下，为了精密地制作具有高像素密度的有机EL显示装置，要求按照设计精密地再现蒸镀掩模的贯通孔的位置及形状。进行使有机材料等蒸镀材料蒸镀至基板的蒸镀工序的蒸镀装置具有蒸镀掩模装置，该蒸镀掩模装置包含蒸镀掩模和对蒸镀掩模进行支承的框架。框架在使蒸镀掩模拉伸的状态下支承蒸镀掩模，以使...
【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模装置，其至少临时与保持部件所保持的基板组合，其中，该蒸镀掩模装置具有：蒸镀掩模，其包含从位于所述基板侧的第1面至位于所述第1面的相反侧的第2面的多个掩模贯通孔；以及框架，其设置有与所述蒸镀掩模的一部分重叠的开口部并且对所述蒸镀掩模进行支承，所述框架具有：正面，其面向所述蒸镀掩模的所述第2面；背面，其与所述正面对置；外侧面，其在所述正面与所述背面之间扩展；以及内侧面，其面向所述开口部，在比所述外侧面靠内侧的位置在所述正面与所述背面之间扩展，在所述框架的所述正面中的远离所述开口部的位置形成有能够收纳所述保持部件的至少一部分的多个收纳部。
【技术特征摘要】
2017.11.01 JP 2017-2120181.一种蒸镀掩模装置，其至少临时与保持部件所保持的基板组合，其中，该蒸镀掩模装置具有：蒸镀掩模，其包含从位于所述基板侧的第1面至位于所述第1面的相反侧的第2面的多个掩模贯通孔；以及框架，其设置有与所述蒸镀掩模的一部分重叠的开口部并且对所述蒸镀掩模进行支承，所述框架具有：正面，其面向所述蒸镀掩模的所述第2面；背面，其与所述正面对置；外侧面，其在所述正面与所述背面之间扩展；以及内侧面，其面向所述开口部，在比所述外侧面靠内侧的位置在所述正面与所述背面之间扩展，在所述框架的所述正面中的远离所述开口部的位置形成有能够收纳所述保持部件的至少一部分的多个收纳部。2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置，其中，多个所述收纳部形成于所述开口部与所述外侧面之间。3.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置，其中，多个所述收纳部延伸至所述外侧面。4.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置，其中，所述框架的所...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。