微细电极结构制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种微细电极结构，适用于微加工设备上加工相应模型的电极，待加工模型的三维模型结构由预设数量的离散切片组成，包括电极板和设置于所述电极板上的微型孔，所述电极板上设有若干个微型孔，所述每一微型孔与所述离散切片几何形状相同。将电极板上微型孔的设置与三维模型结构离散切片的形状相同，能够使得加强加工的稳定性，将影响加工精度的因素转化从微加工设备的运动精度。

Micro Electrode Structure

The utility model discloses a micro-electrode structure suitable for processing electrodes of corresponding models on micro-processing equipment. The three-dimensional model structure of the model to be processed consists of a preset number of discrete slices, including an electrode plate and a micro-hole arranged on the electrode plate. The electrode plate is provided with several micro-holes, each of which has the same geometrical shape as the discrete slice. \u3002 The setting of micro-holes on the electrode plate is the same as the shape of the discrete slices of the three-dimensional model structure, which can enhance the stability of the processing and transform the factors affecting the processing accuracy into the motion accuracy of the micro-processing equipment.

【技术实现步骤摘要】
微细电极结构
本技术涉及到三维微结构加工的
，具体为一种微细电极结构。
技术介绍
通过微细电极的微细电加工制备三维微结构是目前制备三维微结构的主流加工手段之一。微细电加工包含微细电火花加工和微细电解加工。以微细电火花加工三维微结构为例，其主要工艺过程如下：通过各种加工方法制作直径细小的微柱状电极，然后通过微电极的层层扫描放电加工获得三维微结构。但是，由于微柱状电极尺寸相对于扫描面积十分微细，使得加工效率很低。这一缺点制约了该技术在工业领域的广泛应用。现有方法在实施的过程中存在以下问题：三维微结构的加工精度与薄板电极的厚度密切相关，薄板厚度越小，三维微结构加工精度越高。但是薄板越薄，会导致薄片电极刚度不够，三维微结构加工过程不稳定。
技术实现思路
本技术的主要目的为提供一种可以有效地提高加工效率和加工精度的微细电极结构。本技术提出一种微细电极结构，适用于微加工设备上加工相应模型的电极，待加工模型的三维模型结构由预设数量的离散切片组成，包括电极板和设置于所述电极板上的微型孔，所述电极板上设有若干个微型孔，所述每一微型孔与所述离散切片几何形状相同。进一步地，所述电极板厚度＞1.0mm。进一步本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微细电极结构，适用于微加工设备上加工相应模型的电极，待加工模型的三维模型结构由预设数量的离散切片组成，其特征在于，包括电极板和设置于所述电极板上的微型孔，所述电极板上设有若干个微型孔，所述每一微型孔与所述离散切片几何形状相同。

【技术特征摘要】
1.一种微细电极结构，适用于微加工设备上加工相应模型的电极，待加工模型的三维模型结构由预设数量的离散切片组成，其特征在于，包括电极板和设置于所述电极板上的微型孔，所述电极板上设有若干个微型孔，所述每一微型孔与所述离散切片几何形状相同。2.根据权利要求1所述的微细电极结构，其特征在于，所述电极板厚度＞1.0mm。3.根据权利要求1所述的微细电极结构，其特征在于，所述电极板设置为金属板。4.根据权利要求3所述的微细电极结构，其特征在于，所述电极板设置为铜板、钨板、钨铜板、镍板、钼板或钢板。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐斌，伍晓宇，雷建国，赵航，梁雄，龚峰，马将，汤勇，梁祖强，
申请(专利权)人：深圳大学，
类型：新型
国别省市：广东,44