一种激光陀螺谐振腔射频清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于真空技术，具体涉及一种激光陀螺谐振腔射频清洗装置。本实用新型专利技术激光陀螺谐振腔射频清洗装置包括输出电极(6)、传输电缆(8)和射频源(7)。其中，所述输出电极(6)共有两个，分别对称设置于谐振腔(1)的阳极(4)所在的侧面，输出电极(6)中部有电极孔(9)，套接在阳极(4)上，并将阳极暴露于输出电极(6)外部，所述射频源(7)通过传输电缆(8)分别与输出电极(6)连接。本实用新型专利技术可以对谐振腔内部所有毛细孔和储气孔同时进行放电清洗处理，有利于去除表面杂质，提升谐振腔内部洁净度，增加激光陀螺工作稳定性和寿命，具有较大的实际应用价值。

A Radio Frequency Cleaning Device for Laser Gyro Resonator Cavity

The utility model belongs to vacuum technology, in particular to a radio frequency cleaning device for laser gyro resonator. The radio frequency cleaning device of the laser gyro resonator of the utility model comprises an output electrode (6), a transmission cable (8) and a radio frequency source (7). There are two output electrodes (6). They are symmetrically arranged on the side of the anode (4) of the resonant cavity (1). In the middle of the output electrode (6), an electrode hole (9) is inserted on the anode (4), and the anode is exposed to the outside of the output electrode (6). The radio frequency source (7) is connected with the output electrode (6) respectively through a transmission cable (8). The utility model can discharge all the capillary holes and gas storage holes in the resonator simultaneously, which is beneficial to removing surface impurities, improving the internal cleanliness of the resonator, increasing the working stability and life of the laser gyro, and has great practical application value.

【技术实现步骤摘要】
一种激光陀螺谐振腔射频清洗装置
本技术属于真空技术，具体涉及一种激光陀螺谐振腔射频清洗装置。
技术介绍
激光陀螺是惯性导航系统的核心传感器，其功能在于测量运动角速率，在实际使用中要求具备长寿命和高可靠性。对于激光陀螺来说，其物理本体是环形氦氖气体激光器，谐振腔内部属于真空系统，其内部洁净程度决定了长时工作稳定性，因此需要对谐振腔进行真空处理。对激光陀螺谐振腔内部的真空处理工艺，普遍采用加热烘烤方法，去除内部大气成分，包括水汽和部分杂质气体，然后使用直流辉光放电清洗方法，通过电极间气体放电的等离子体轰击作用去除毛细孔表面吸附杂质，并置换浅表层气体，从而获得洁净的谐振腔。目前的直流辉光放电清洗方法，仅能对阴极和阳极之间的毛细孔放电通道清洗，处理表面空间受限，无法对谐振腔电极另一侧毛细孔进行清洗，同时对所有储气孔表面也无法进行处理，因此对谐振腔无法进行彻底清洗。在工作过程中谐振腔内表面吸附杂质将逐渐释放，进而产生污染，改变气体成分比例，影响激光输出和光束质量，使得激光陀螺无法维持长时间稳定工作。
技术实现思路
本技术的目的是：提出一种激光陀螺谐振腔射频清洗装置，可对谐振腔内部所有毛细孔和储气孔同时进行放电清洗。本技术的技术方案：一种激光陀螺谐振腔射频清洗装置，其包括输出电极6、传输电缆8和射频源7，其中，所述输出电极6共有两个，分别对称设置于谐振腔1的阳极4所在的侧面，输出电极6中部有电极孔9，套接在阳极4上，并将阳极暴露于输出电极6外部，所述射频源7通过传输电缆8分别与输出电极6连接。所述电极孔9内径大于阳极4外径，使得孔壁与阳极4外表面之间留有间隙。所述电极孔9的孔壁与阳极4之间的间隙范围1～5mm。所述输出电极6纵向长度不小于谐振腔1纵向长度，且上端不超过谐振腔上的阴极5底部。所述射频源7包括功率发生器10、匹配网络11，所述功率发生器10经过匹配网络11和传输电缆8与输出电极6连接。所述传输电缆8结构从外层到内层依次为护套12、金属屏蔽层13、隔热层14和导体15，其中护套12和隔热层14材料为PVC，导体15材料为铜，通过传输电缆8实现射频功率从射频源7与输出电极6之间的传输。本技术的有益效果：激光陀螺谐振腔射频清洗装置采用自动匹配射频电源、同轴电缆和中空输出电极设置，通过侧面射频激励的方式，相较于现有常规直流辉光放电等真空处理技术，可以对谐振腔内部所有毛细孔和储气孔同时进行放电清洗处理，有利于去除表面杂质，提升谐振腔内部洁净度，增加激光陀螺工作稳定性和寿命，具有较大的实际应用价值。附图说明图1为激光陀螺谐振腔射频清洗装置示意图；图2为射频输出电极示意图；图3为射频源内部结构示意图；图4为射频传输电缆截面示意图；其中，1-谐振腔、2-毛细孔、3-储气孔、4-阳极、5-阴极、6-输出电极、7-射频源、8-传输电缆、9-电极孔、10-功率发生器、11-匹配网络、12-护套、13-金属屏蔽层、14-隔热层、15-导体。具体实施方式下面通过具体实施方式对本技术做进一步的详细说明：请参阅图1，其是本技术激光陀螺谐振腔射频清洗装置示意图。其中，激光陀螺谐振腔1内部空间管路包括毛细孔2和储气孔3，阳极4对称分布在谐振腔1两侧。所述谐振腔射频清洗装置包括三个部分，输出电极6、传输电缆8和射频源7。请参阅图2，其是射频装置的输出电极6示意图。该输出电极6共有两个，分别设置于谐振腔1的阳极4所在的侧面，输出电极6中部有电极孔9，所述电极孔9内径大于阳极4外径，套接在阳极4上，使得孔壁与阳极4外表面之间留有间隙，避免导通，将阳极4暴露于输出电极6外部，主要防止射频能量被阳极4吸收。所述电极孔9的孔壁与阳极4之间的间隙范围1～5mm。所述输出电极6纵向长度不小于谐振腔1纵向长度，因此能够对谐振腔内部所有毛细孔和储气孔同时进行放电清洗处理，且上端不超过阴极5底部，避免输出电极6的射频能量影响阴极5。请参阅图3，其是射频源7内部结构示意图。该射频源7包括功率发生器10、匹配网络11。由功率发生器10产生射频功率，经过匹配网络11和传输电缆8输送到输出电极6端，在谐振腔1内部建立射频场，此时射频源输出和实际放电负载并未处于最佳匹配状态，射频能量通过输出电极6和传输电缆8反馈至匹配网络11，自动调节至最佳阻抗状态，实现稳定射频放电状态，激发的等离子能量明显大于常规直流放电，可以实现对谐振腔内部所有毛细孔和储气孔杂质进行彻底清洗。请参阅图4，其是传输电缆8截面示意图。该传输电缆8结构从外到内依次包括护套12、金属屏蔽层13、隔热层14和导体15，其中护套12和隔热层14材料为PVC，导体15材料为铜，通过传输电缆8实现射频功率从射频源7与输出电极6之间的传输。综上所述，本技术激光陀螺谐振腔射频清洗装置通过对谐振腔侧面射频放电激励的方式，实现谐振腔内部所有毛细孔和储气孔同时进行放电清洗处理，从而去除内部杂质，提升谐振腔洁净度，有利于增加激光陀螺长时间工作稳定和寿命，具有较好的实际意义和应用前景。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光陀螺谐振腔射频清洗装置，其特征在于，包括输出电极(6)、传输电缆(8)和射频源(7)，其中，所述输出电极(6)共有两个，分别对称设置于谐振腔(1)的阳极(4)所在的侧面，输出电极(6)中部有电极孔(9)，套接在阳极(4)上，并将阳极(4)暴露于输出电极(6)外部，所述射频源(7)通过传输电缆(8)分别与输出电极(6)连接。

【技术特征摘要】
1.一种激光陀螺谐振腔射频清洗装置，其特征在于，包括输出电极(6)、传输电缆(8)和射频源(7)，其中，所述输出电极(6)共有两个，分别对称设置于谐振腔(1)的阳极(4)所在的侧面，输出电极(6)中部有电极孔(9)，套接在阳极(4)上，并将阳极(4)暴露于输出电极(6)外部，所述射频源(7)通过传输电缆(8)分别与输出电极(6)连接。2.根据权利要求1所述的激光陀螺谐振腔射频清洗装置，其特征在于，所述电极孔(9)内径大于阳极(4)外径，使得孔壁与阳极(4)外表面之间留有间隙。3.根据权利要求2所述的激光陀螺谐振腔射频清洗装置，其特征在于，所述电极孔(9)的孔壁与阳极(4)之间的间隙范围1～5mm。4.根据权利要求1所述的激光陀...

【专利技术属性】
技术研发人员：承军，杨劲，陈泽学，陈禹，张振辉，
申请(专利权)人：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所，
类型：新型
国别省市：陕西,61