平板显示产品静电失效的两步分离解决方法及应用及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种平板显示产品静电失效的两步分离解决方法，涉及平板显示技术领域，FPD产品的大玻璃基板在与真空机构分离的过程切分成两步来完成；包括以下两个步骤：1）FPD产品的大玻璃基板与真空机构分离的初始阶段，使大玻璃基板与真空机构接触面分离开一定的小间距时作一停顿；2）再继续分离过程，一步完成剩下的分离过程。本发明专利技术提供的技术解决方法可以实现FPD产品与各设备真空机构分离过程中的有效静电失效预防，对目标产品进行保护；各FPD制造企业，可以依据自身工厂的条件，采用本发明专利技术提供的技术解决方法，制订出适合的兼具可行性与有效性的静电防护措施，使得方法适用范围广，实用性强。

Two-step Separation Solution for Electrostatic Failure of Flat Panel Display Products and Its Application and Device

【技术实现步骤摘要】
平板显示产品静电失效的两步分离解决方法及应用及装置
本专利技术涉及平板显示
，具体是一种平板显示产品静电失效的两步分离解决方法及应用及装置。
技术介绍
平板显示（FPD，FlatPanelDisplay）产品在生产制造中，尤其是前端，涉及到多次与多种真空机构接触再分离的反复操作过程。而FPD产品在与真空机构发生接触后再分离的过程中，存在高机率的静电放电（ESD，Electro-StaticDischarge）失效风险。而当前国内的FPD制造企业并未有效解决此类静电失效所导致的FPD产品生产良率与FPD产品品质可靠性损失问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种平板显示产品静电失效的两步分离解决方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种平板显示产品静电失效的两步分离解决方法，FPD产品的大玻璃基板在与真空机构分离的过程切分成两步来完成；包括以下两个步骤：1）FPD产品的大玻璃基板与真空机构分离的初始阶段，使大玻璃基板与真空机构接触面分离开10-30mm时作一停顿；2）再继续分离过程，一步完成剩下的分离过程。作为本专利技术的进一步方案：步骤2）所述的完成指大玻璃基板与真空机构分离过程的最终相对位置或最大距离。一种如上述平板显示产品静电失效的两步分离解决方法在FPD产品制造生产工序中的应用。一种采用上述平板显示产品静电失效的两步分离解决方法的装置，包括FPD产品各生产设备的真空平台或吸盘、位于真空平台或吸盘上方的FPD产品的大玻璃基板Ⅰ以及作用于真空平台或吸盘顶部的广域离子化设备；所述真空平台或吸盘上分布有真空孔，所述真空平台或吸盘上还设置有大玻璃顶起装置。作为本专利技术的进一步方案：所述广域离子化设备作用区域覆盖整张大玻璃基板Ⅰ。一种采用上述平板显示产品静电失效的两步分离解决方法的装置，包括机械搬运手臂、位于机械搬运手臂上方的大玻璃基板Ⅱ以及作用于大玻璃基板Ⅱ底部的局部快速离子化设备，所述机械搬运手臂上设置有真空吸盘。作为本专利技术的进一步方案：所述局部快速离子化设备作用区域覆盖大玻璃基板Ⅱ与真空吸盘接触区域在离子化前方的全部区域。相较于现有技术，本专利技术的有益效果如下：1、本专利技术提供的技术解决方法可以实现FPD产品与各设备真空机构分离过程中的有效静电失效预防，对目标产品进行保护；2、本专利技术提供的技术解决方法对于FPD产品与各真空机构间的两步分离过程中采用广域、局部快速离子化的应用方式均适用；可以应用于TFT-LCD、刚性AMOLED以及柔性AMOLED产品，可以应用于FPD产品制造阶段涵盖的全部生产工序；3、各FPD制造企业，可以依据自身工厂的条件，采用本专利技术提供的技术解决方法，制订出适合的兼具可行性与有效性的静电防护措施，使得方法适用范围广，实用性强。附图说明图1为本专利技术实施例1在第一步完成后的结构示意图；图2为本专利技术实施例1在第二步完成后的结构示意图；图3为本专利技术实施例2在第一步完成后的结构示意图；图4为本专利技术实施例2在第二步完成后的结构示意图。附图标记注释：11-广域离子化设备、12-大玻璃基板Ⅰ、13-真空平台或吸盘、14-真空孔、15-大玻璃顶起装置、16-第一顶起高度、17-第二顶起高度、21-局部快速离子化设备、22-大玻璃基板Ⅱ、23-真空吸盘、24-机械搬运手臂、25-第一分离距离、26-第二分离距离。具体实施方式以下实施例会结合附图对本专利技术进行详述，在附图或说明中，相似或相同的部分使用相同的标号，并且在实际应用中，各部件的形状、厚度或高度可扩大或缩小。本专利技术所列举的各实施例仅用以说明本专利技术，并非用以限制本专利技术的范围。对本专利技术所作的任何显而易知的修饰或变更都不脱离本专利技术的精神与范围。一种平板显示产品静电失效的两步分离解决方法，FPD产品的大玻璃基板在与真空机构分离的过程切分成两步来完成；包括以下两个步骤：1）FPD产品的大玻璃基板与真空机构分离的初始阶段，将设备的程序设置作以更改调整，使大玻璃基板与真空机构接触面分离开一定的小间距时作一停顿，如10-30mm时作一停顿，具体数值视具体情形相应确定；2）再继续分离过程，一步完成剩下的分离过程。其中，步骤2）所述完成指大玻璃基板与真空机构分离过程的最终相对位置或最大距离。实施例1请参阅图1～2，本专利技术实施例中，图1代表FPD产品大玻璃在真空平台或吸盘上的顶起第一步分离完成后的情形，特指大玻璃在两步分离顶起过程的第一步完成后的状态；图2代表FPD产品大玻璃在真空平台或吸盘上被顶起过程完成的情形，特指大玻璃在两部分离顶起过程的第二步完成后的最终状态；包括FPD产品各生产设备的真空平台或吸盘13、位于真空平台或吸盘13上方的FPD产品的大玻璃基板Ⅰ12以及作用于真空平台或吸盘13顶部的广域离子化设备11，广域离子化设备11可以覆盖整张大玻璃基板Ⅰ12；真空平台或吸盘13上分布有真空孔14，真空平台或吸盘13上还设置有大玻璃顶起装置15；第一步时，通过大玻璃顶起装置15将大玻璃基板Ⅰ12顶起较小的高度后停顿，此时，真空平台或吸盘13与大玻璃基板Ⅰ12之间的距离为第一顶起高度16，即大玻璃基板Ⅰ12在两部分离过程第一步完成后被顶起的高度；第二部时，通过17大玻璃顶起装置15将大玻璃基板Ⅰ12顶起至最终相对位置，此时，真空平台或吸盘13与大玻璃基板Ⅰ12之间的距离为第二顶起高度17，即大玻璃基板Ⅰ12在两部分离过程第二步完成后被顶起的高度。实施例2请参阅图3～4，本专利技术实施例中，图3代表FPD产品大玻璃与小尺寸真空机构间的第一步分离完成后的情形，特指机械搬运手臂上的真空机构与大玻璃在两步分离过程中第一步完成后的状态；图4代表FPD产品大玻璃与小尺寸真空机构间分离过程完成后的情形，特指机械搬运手臂上的真空机构与大玻璃在两步分离过程中第二步完成后的状态；包括机械搬运手臂24、位于机械搬运手臂24上方的大玻璃基板Ⅱ22以及作用于大玻璃基板Ⅱ22底部的局部快速离子化设备21，机械搬运手臂24上设置有真空吸盘23，局部快速离子化设备21有效覆盖大玻璃基板Ⅱ22与真空吸盘23接触区域在离子化前方的全部区域，第一部时，机械搬运手臂24与大玻璃基板Ⅱ22分离较短距离后停顿，此时，机械搬运手臂24与大玻璃基板Ⅱ22之间的距离为第一分离距离25，即机械搬运手臂24在两步分离过程中第一步完成后与大玻璃基板Ⅱ22间的距离；第二部时，机械搬运手臂24与大玻璃基板Ⅱ22分离至最大距离，此时，机械搬运手臂24与大玻璃基板Ⅱ22之间的距离为第二分离距离26，即机械搬运手臂24在两步分离过程中第二步完成后与大玻璃基板Ⅱ22间的距离。上述实施例1中的大玻璃基板Ⅰ和实施例2中的大玻璃基板Ⅱ为同一种大玻璃基板。以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平板显示产品静电失效的两步分离解决方法，其特征在于，FPD产品的大玻璃基板在与真空机构分离的过程切分成两步来完成；包括以下两个步骤：1）FPD产品的大玻璃基板与真空机构分离的初始阶段，使大玻璃基板与真空机构接触面分离开10‑30mm时作一停顿；2）再继续分离过程，一步完成剩下的分离过程。

【技术特征摘要】
1.一种平板显示产品静电失效的两步分离解决方法，其特征在于，FPD产品的大玻璃基板在与真空机构分离的过程切分成两步来完成；包括以下两个步骤：1）FPD产品的大玻璃基板与真空机构分离的初始阶段，使大玻璃基板与真空机构接触面分离开10-30mm时作一停顿；2）再继续分离过程，一步完成剩下的分离过程。2.根据权利要求1所述的平板显示产品静电失效的两步分离解决方法，其特征在于，步骤2）所述的完成指大玻璃基板与真空机构分离过程的最终相对位置或最大距离。3.一种如权利要求1所述的平板显示产品静电失效的两步分离解决方法在FPD产品制造生产工序中的应用。4.一种采用权利要求1或2所述的平板显示产品静电失效的两步分离解决方法的装置，其特征在于，包括FPD产品各生产设备的真空平台或吸盘（13）、位于真空平台或吸盘（13）上方的FPD产品的大...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯长军，范虹，吴剑波，顾新波，
申请(专利权)人：广州林恩静电科学技术应用有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44