平板显示产品静电失效的两步分离解决方法及应用及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种平板显示产品静电失效的两步分离解决方法，涉及平板显示技术领域，FPD产品的大玻璃基板在与真空机构分离的过程切分成两步来完成；包括以下两个步骤：1）FPD产品的大玻璃基板与真空机构分离的初始阶段，使大玻璃基板与真空机构接触面分离开一定的小间距时作一停顿；2）再继续分离过程，一步完成剩下的分离过程。本发明专利技术提供的技术解决方法可以实现FPD产品与各设备真空机构分离过程中的有效静电失效预防，对目标产品进行保护；各FPD制造企业，可以依据自身工厂的条件，采用本发明专利技术提供的技术解决方法，制订出适合的兼具可行性与有效性的静电防护措施，使得方法适用范围广，实用性强。

Two-step Separation Solution for Electrostatic Failure of Flat Panel Display Products and Its Application and Device

【技术实现步骤摘要】
平板显示产品静电失效的两步分离解决方法及应用及装置
本专利技术涉及平板显示
，具体是一种平板显示产品静电失效的两步分离解决方法及应用及装置。
技术介绍
平板显示（FPD，FlatPanelDisplay）产品在生产制造中，尤其是前端，涉及到多次与多种真空机构接触再分离的反复操作过程。而FPD产品在与真空机构发生接触后再分离的过程中，存在高机率的静电放电（ESD，Electro-StaticDischarge）失效风险。而当前国内的FPD制造企业并未有效解决此类静电失效所导致的FPD产品生产良率与FPD产品品质可靠性损失问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种平板显示产品静电失效的两步分离解决方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种平板显示产品静电失效的两步分离解决方法，FPD产品的大玻璃基板在与真空机构分离的过程切分成两步来完成；包括以下两个步骤：1）FPD产品的大玻璃基板与真空机构分离的初始阶段，使大玻璃基板与真空机构接触面分离开10-30mm时作一停顿；2）再继续分离过程，一步完成剩下的分离过程。作为本专利技术的进一步方案本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平板显示产品静电失效的两步分离解决方法，其特征在于，FPD产品的大玻璃基板在与真空机构分离的过程切分成两步来完成；包括以下两个步骤：1）FPD产品的大玻璃基板与真空机构分离的初始阶段，使大玻璃基板与真空机构接触面分离开10‑30mm时作一停顿；2）再继续分离过程，一步完成剩下的分离过程。

【技术特征摘要】
1.一种平板显示产品静电失效的两步分离解决方法，其特征在于，FPD产品的大玻璃基板在与真空机构分离的过程切分成两步来完成；包括以下两个步骤：1）FPD产品的大玻璃基板与真空机构分离的初始阶段，使大玻璃基板与真空机构接触面分离开10-30mm时作一停顿；2）再继续分离过程，一步完成剩下的分离过程。2.根据权利要求1所述的平板显示产品静电失效的两步分离解决方法，其特征在于，步骤2）所述的完成指大玻璃基板与真空机构分离过程的最终相对位置或最大距离。3.一种如权利要求1所述的平板显示产品静电失效的两步分离解决方法在FPD产品制造生产工序中的应用。4.一种采用权利要求1或2所述的平板显示产品静电失效的两步分离解决方法的装置，其特征在于，包括FPD产品各生产设备的真空平台或吸盘（13）、位于真空平台或吸盘（13）上方的FPD产品的大...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯长军，范虹，吴剑波，顾新波，
申请(专利权)人：广州林恩静电科学技术应用有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44