气相HF熏蒸装置的进气系统及气相HF熏蒸装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种气相HF熏蒸装置的进气系统及气相HF熏蒸装置，所述进气系统包括气态乙醇进气支路，在所述气态乙醇进气支路上设置有盛装有液态乙醇的容器，在所述容器上设置有氮气输入管路和乙醇输出管路，其中，所述氮气输入管路的出气口位于所述容器内的液态乙醇的液面之上，所述乙醇输出管路的一端插入液态乙醇内部。该进气系统中，氮气进入盛装有液态乙醇的容器后，由于容器内压力增大，从而将液态乙醇压入插入到液态乙醇内部的乙醇输出管路中，避免了由于液态乙醇液面的变化而影响其输出量，保证了气相HF熏蒸的加工质量和产品的可靠性。

Intake System and Fumigation Device of Gas Phase HF Fumigation Device

【技术实现步骤摘要】
气相HF熏蒸装置的进气系统及气相HF熏蒸装置
本技术涉及微电子机械系统
，特别是一种气相HF熏蒸装置的进气系统及气相HF熏蒸装置。
技术介绍
MEMS技术被誉为21世纪带有革命性的高新技术，其发展始于20世纪60年代，MEMS是英文MicroElectroMechanicalSystem的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。MEMS的基础技术主要包括硅各向异性刻蚀技术、硅键合技术、表面微机械技术、LIGA技术等，这些技术已成为研制生产MEMS必不可少的核心技术。在以硅为基础的MEMS加工技术中，部分产品微型结构的特征尺寸为100nm～1mm，在该尺寸下微型结构的表面积与体积之比有所提高，范德华力、表面张力、静电力等与微型结构件表面积相关的表面作用逐渐增强，在微型结构制造即运动部件释放过程中，最常见的失效模式为梳齿水汽粘连，最终导致器件功能失效以及良品率低。因此无粘连的释放工艺是制造MEMS加速度计的关键技术之一，在该
，往往应用气相HF腐蚀牺牲氧化层的装置，但常规装置中，N2管路进入乙醇罐，该管路出气口位于乙醇液面下，以鼓泡的方式携带乙醇，该方式中乙醇的气化量随着乙醇液位的变化，即使是相同的N2流量，携带出的乙醇量也存在差异，使乙醇进入气相腐蚀反应室的流量随液位变化而变化，在气相HF熏蒸装置中可能由于进入过量的乙醇而在反应过程中产生过量水汽，或乙醇不足导致腐蚀速率发生波动，最终导致被腐蚀的产品发生粘附失效或产生腐蚀工艺失效。
技术实现思路
有鉴于此，本申请的目的在于提供一种气相HF熏蒸装置的进气系统及气相HF熏蒸装置，该进气系统可精确控制每次反应过程的乙醇进气量，保证了气相HF熏蒸的加工质量和产品的可靠性。为达到上述目的，本申请采用如下技术方案：一种气相HF熏蒸装置的进气系统，其特征在于，包括气态乙醇进气支路，在所述气态乙醇进气支路上设置有盛装有液态乙醇的容器，在所述容器上设置有氮气输入管路和乙醇输出管路，其中，所述氮气输入管路的出气口位于所述容器内的液态乙醇的液面之上，所述乙醇输出管路的一端插入液态乙醇内部。优选地，所述氮气输入管路上设置有调压阀。优选地，所述乙醇输出管路上设置有蒸发器和/或第一流量控制器，所述蒸发器设置在所述流量控制器之后。优选地，还包括氮气进气支路，所述氮气进气支路上设置有第二流量控制器。优选地，还包括HF气体进气支路，所述HF气体进气支路上设置有第三流量控制器。优选地，还包括进气管路，所述进气管路用于汇合所述气态乙醇进气支路、所述氮气进气支路以及所述HF气体进气支路的气体。另一方面，本申请采用如下技术方案：一种气相HF熏蒸装置，包括上述的进气系统。优选地，还包括反应室，所述反应室与进气系统相连通，所述反应室为低真空腔。优选地，还包括出气系统，所述出气系统用于排出所述气相HF熏蒸装置内的气体，所述出气系统包括出气管路，所述出气管路上设置有抽气泵。优选地，还包括加热装置，所述加热装置用于给所述进气系统和反应室加热。本申请提供的一种气相HF熏蒸装置的进气系统及气相HF熏蒸装置，该进气系统中，氮气进入盛装有液态乙醇的容器后，由于容器内压力增大，从而将液态乙醇压入插入到液态乙醇内部的乙醇输出管路中，避免了由于液态乙醇液面的变化而影响其输出量，使乙醇流量不随液位变化而变化，避免了气相HF熏蒸装置中由于进入过量的乙醇而在反应过程中产生过量水汽，导致被气相腐蚀的产品发生粘附而失效，保证了气相HF熏蒸的加工质量和产品的可靠性。附图说明通过以下参照附图对本技术实施例的描述，本技术的上述以及其它目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：图1示出本技术提供的气相HF熏蒸装置的整体结构示意图。图中，1、进气系统；11、气态乙醇进气支路；111、氮气输入管路；112、乙醇输出管路；113、容器；1131、安全阀；114、调压阀；115、蒸发器；116、第一流量控制器；12、氮气进气支路；121、第二流量控制器；13、HF气体进气支路；131、第三流量控制器；14、进气管路；2、反应室；3、出气系统；31、出气管路；32、阀门；33、尾气处理装置。具体实施方式以下基于实施例对本技术进行描述，但是本技术并不仅仅限于这些实施例。在下文对本技术的细节描述中，详尽描述了一些特定的细节部分。此外，本领域普通技术人员应当理解，在此提供的附图都是为了说明的目的，并且附图不一定是按比例绘制的。除非上下文明确要求，否则整个说明书和权利要求书中的“包括”、“包含”等类似词语应当解释为包含的含义而不是排他或穷举的含义；也就是说，是“包括但不限于”的含义。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。本申请提供了一种气相HF熏蒸装置的进气系统1及气相HF熏蒸装置，如图1所示，该进气系统1包括气态乙醇进气支路11，在所述气态乙醇进气支路11上设置有盛装有液态乙醇的容器113，优选在所述容器113上设置安全阀1131，避免由于容器113内压力过大而使其炸裂，保证操作人员人身安全，也提高了整个进气系统1的可靠性。另外，在所述容器113上设置有氮气输入管路111和乙醇输出管路112，其中，所述氮气输入管路111的出气口位于所述容器113内的液态乙醇的液面之上，所述乙醇输出管路112的一端插入液态乙醇内部，该进气系统1中，由于氮气输入管路111的出气口位于所述容器113内的液态乙醇的液面之上，乙醇输出管路112的一端插入液态乙醇内部，即，氮气进入盛装有液态乙醇的容器113后，由于容器113内压力增大，从而将液态乙醇压入插入到液态乙醇内部的乙醇输出管路112中，避免了由于液态乙醇液面的变化而影响其输出量，使乙醇流量不随液位变化而变化，进而避免了气相HF熏蒸装置中由于进入过量的乙醇而在反应过程中产生过量水汽，导致被气相腐蚀的产品发生粘附而失效，保证了气相HF熏蒸的加工质量和产品的可靠性。在一个优选实施例中，如图1所示，在氮气输入管路111上设置有调压阀114，用于控制氮气的输送量，从而控制乙醇的量，实现精确控制每次反应过程的乙醇携带量，更加优选在乙醇输出管路112上设置有蒸发器115和/或第一流量控制器116，所述蒸发器115设置在所述流量控制器之后，在一个具体实施例中，同时设置蒸发器115和第一流量控制器116，第一流量控制器116用于控制乙醇的量，通过第一流量控制器116与氮气输入管路111上设置的调压阀114相互配合，更好的实现对乙醇流量的控制，由于进入乙醇输出管路112的为液态乙醇，优选所述第一流量控制器116为液体质量流量控制器，以实现更好地流量控制，经过精准控制的液态乙醇流经蒸发器115，通过蒸发器115对其进行蒸发气化处理，以便于后续的反应。如图1所示，该进气系统1还包括氮气进气支路12和HF气体进气支路13，所述氮气进气支路12上设置有第二流量控制器121，HF气体进气支路13上设置有第三流量控制器131，通过第二流量控制器121和第三流量控制器1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气相HF熏蒸装置的进气系统，其特征在于，包括气态乙醇进气支路，在所述气态乙醇进气支路上设置有盛装有液态乙醇的容器，在所述容器上设置有氮气输入管路和乙醇输出管路，其中，所述氮气输入管路的出气口位于所述容器内的液态乙醇的液面之上，所述乙醇输出管路的一端插入液态乙醇内部。

【技术特征摘要】
1.一种气相HF熏蒸装置的进气系统，其特征在于，包括气态乙醇进气支路，在所述气态乙醇进气支路上设置有盛装有液态乙醇的容器，在所述容器上设置有氮气输入管路和乙醇输出管路，其中，所述氮气输入管路的出气口位于所述容器内的液态乙醇的液面之上，所述乙醇输出管路的一端插入液态乙醇内部。2.根据权利要求1所述的进气系统，其特征在于，所述氮气输入管路上设置有调压阀。3.根据权利要求2所述的进气系统，其特征在于，所述乙醇输出管路上设置有蒸发器和/或第一流量控制器，所述蒸发器设置在所述流量控制器之后。4.根据权利要求1-3任一所述的进气系统，其特征在于，还包括氮气进气支路，所述氮气进气支路上设置有第二流量控制器。5.根据权利要求4所述的进气系统，其特征在于，还包括HF气体进气支路，所述H...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙文良，陈果，葛俊山，马志坚，
申请(专利权)人：杭州士兰集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33