一种用于洁净室内设备的清洁器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于洁净室内设备的清洁器，包括吹吸头、真空泵组和设置于吹吸头和真空泵组之间的吹吸管组；所述真空泵组至少含有一个真空泵；其特征在于：所述吹吸头的中央设置有吹气流道；所述吹吸头上环绕吹气流道均匀设置有若干个吸气流道；所述吹吸管组包括与吹气流道连通的吹气管和与每一吸气流道均连通的吸气管；所述吹气管与任一真空泵的出气口相连通；所述吹气管上沿气体流动方向依次设置有加热器和吹气过滤器；所述吸气管与任一真空泵的进气口相连通。通过中心吹扫、四周抽吸的方式，再结合热风干燥升温，提高了对粉尘颗粒的剥离和清洁效果，并避免了扬尘四溢而造成的二次污染，消除了粉尘颗粒的粘黏和二次粘黏。

A Cleaner for Clean Indoor Equipment

The utility model relates to a cleaner used for cleaning indoor equipment, which comprises a blowing and suction head, a vacuum pump group and a blowing and suction pipe group arranged between the blowing and suction head and the vacuum pump group; the vacuum pump group comprises at least one vacuum pump; the features are as follows: the central part of the blowing and suction head is provided with a blowing passage; and a number of suction passages are evenly arranged around the blowing passage on the blowing and suction head; The blowing-suction pipe group comprises a blowing pipe connected with the blowing air passage and a suction pipe connected with each suction air passage; the blowing pipe is connected with the outlet of any vacuum pump; a heater and a blowing filter are arranged on the blowing-suction pipe in turn along the flow direction of the gas flow; and the suction pipe is connected with the inlet of any vacuum pump. By means of central blowing and surrounding suction, combined with hot air drying and heating, the peeling and cleaning effect of dust particles is improved, and the secondary pollution caused by dust overflow is avoided, and the stickiness and secondary stickiness of dust particles are eliminated.

【技术实现步骤摘要】
一种用于洁净室内设备的清洁器
本技术涉及清洁设备领域，具体涉及一种用于洁净室内设备的清洁器。
技术介绍
随着半导体和面板的技术升级，线宽越来越窄，任何粉尘颗粒的存在会造成很多的不良，所以现阶段相关领域对粉尘颗粒的管控越来越重视，越来越严格。工艺设备内的一些器件和平台表面的粉尘颗粒均存在直接与产品接触的风险，会严重降低产品的品质。针对设备内粉尘颗粒的清洁，现况的方法是用无尘布擦拭，无尘布能去除一部分大的粉尘颗粒，而且清洁过程人员众多，人为也会带入一些粉尘颗粒，而且对一些小粒径(微米级别)的粉尘颗粒的去除效果不明显，关于对半导体和面板行业的工艺设备内部器件表面的清洁设备，现在市面没有相关的产品和专利，此专利技术能弥补其他除尘设备在半导体除尘的不足。
技术实现思路
本技术提供了一种用于洁净室内设备的清洁器，以解决在洁净室内，无尘布擦拭对设备的除尘效果不佳、现有除尘设备不适用于洁净室内设备清洁的问题。本技术采用的技术方案如下：一种用于洁净室内设备的清洁器，包括吹吸头、真空泵组和设置于吹吸头和真空泵组之间的吹吸管组；所述真空泵组至少含有一个真空泵；所述吹吸头的中央设置有吹气流道；所述吹吸头上环绕吹气流本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于洁净室内设备的清洁器，包括吹吸头(4)、真空泵组和设置于吹吸头(4)和真空泵组之间的吹吸管组；所述真空泵组至少含有一个真空泵；其特征在于：所述吹吸头(4)的中央设置有吹气流道(21)；所述吹吸头(4)上环绕吹气流道(21)均匀设置有若干个吸气流道(22)；所述吹吸管组包括与吹气流道(21)连通的吹气管(3)和与每一吸气流道(22)均连通的吸气管(2)；所述吹气管(3)与任一真空泵的出气口相连通；所述吹气管(3)上沿气体流动方向依次设置有加热器(6)和吹气过滤器；所述吸气管(2)与任一真空泵的进气口相连通。

【技术特征摘要】
1.一种用于洁净室内设备的清洁器，包括吹吸头(4)、真空泵组和设置于吹吸头(4)和真空泵组之间的吹吸管组；所述真空泵组至少含有一个真空泵；其特征在于：所述吹吸头(4)的中央设置有吹气流道(21)；所述吹吸头(4)上环绕吹气流道(21)均匀设置有若干个吸气流道(22)；所述吹吸管组包括与吹气流道(21)连通的吹气管(3)和与每一吸气流道(22)均连通的吸气管(2)；所述吹气管(3)与任一真空泵的出气口相连通；所述吹气管(3)上沿气体流动方向依次设置有加热器(6)和吹气过滤器；所述吸气管(2)与任一真空泵的进气口相连通。2.根据权利要求1所述的一种用于洁净室内设备的清洁器，其特征在于：所述真空泵组中真空泵的个数为1个，所述吹气管(3)与真空泵(1)的出气口连通；所述吸气管(2)与真空泵(1)的进气口相连通。3.根据权利要求1所述的一种用于洁净室内设备的清洁器，其特征在于：所述真空泵组中真空泵的个数为2个，包括第二真空泵(23)和第三真空泵(20)；所述吸气管(2)与第二真空泵(23)的进气口相连通；所述第二真空泵(23)的出气口设置有与外界连通的真空泵排气管(17)；所述吹气管(3)与第三真空泵(20)的出气口相连通；所述第三真空泵(20)的进气口设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：深圳市赫德电子有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44