The invention provides a sample table and a transmission mode electron backscatter diffraction (T-EBSD) system and system. The T_EBSD system consists of a sample table with a clamp at one end of the sample table for fixing the sample and a detector for receiving transmission electron through the sample. By adopting the system and method of the present invention, the resolution can be improved. The design of the T_EBSD sample table realizes that the angle between the film sample and the horizontal plane is continuously adjustable at 30_70 degrees, and the film sample can be stably fixed on the inclined surface.
【技术实现步骤摘要】
样品台及透射模式电子背散射衍射(T-EBSD)系统和方法
本专利技术涉及样品台及透射模式电子背散射衍射(T-EBSD)系统和方法。
技术介绍
扫描电子显微镜结合能谱仪(EDS)主要表征材料的表面形貌及元素定性分析，放大倍数从几十倍到10万倍连续可调，景深衬度大，成像富有立体感。其中电子背散射衍射(EBSD)技术，自20世纪80年代商品化以来得到了众多材料学者的关注，已成为材料研究不可或缺的手段之一，主要通过电子束在倾斜样品表面激发出并形成的衍射菊池带的分析，获得很多直接难以得到的信息，诸如晶粒的取向及尺寸，晶体结构参数、不同物相的鉴别及分布、晶界类型甚至位错密度高低等定量信息，对我们全面认识材料制备过程机理和本质至关重要，广泛应用于材料学、地质学、微电子等诸多学科。扫描电子显微镜的工作原理是：通过加热电子枪，产生高能电子束，经光阑，电磁透镜的聚焦，入射到待测样品表面，在作用区内发生弹性散射和非弹性射射，从而产生二次电子、背散射电子、吸收电子、连续X射线、俄歇电子、阴极荧光等各种有用的信号，分别利用合适的探测器检测这些信号的大小，从而确定样品的某些特征。常用的二次电...
【技术保护点】
1.一种透射模式电子背散射衍射(T‑EBSD)系统，包括：物镜极靴，用于将入射电子发射至样品表面，所述入射电子与样品相互作用，产生透过所述样品的透射电子；样品台，具有位于所述样品台的一端的夹具，所述夹具用于固定所述样品；探测器，用于接收透过所述样品的所述透射电子。
【技术特征摘要】
1.一种透射模式电子背散射衍射(T-EBSD)系统，包括：物镜极靴，用于将入射电子发射至样品表面，所述入射电子与样品相互作用，产生透过所述样品的透射电子；样品台，具有位于所述样品台的一端的夹具，所述夹具用于固定所述样品；探测器，用于接收透过所述样品的所述透射电子。2.根据权利要求1所述的透射模式电子背散射衍射(T-EBSD)系统，其中，所述夹具位于所述样品台的倾斜表面上。3.根据权利要求2所述的透射模式电子背散射衍射(T-EBSD)系统，其中，所述样品台还包括螺旋钮，用于控制所述样品台的倾斜表面与水平面的夹角的值。4.一种透射模式电子背散射衍射(T-EBSD)系统的使用方法，包括：利用物镜极靴将入射...
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