The invention provides a Soller slit, an X-ray diffraction device and a method. Even if the X-ray irradiation area is broadened on the surface of the test material in the GIXD-based determination, the diffraction image on the detector will not be broadened in the in-plane direction, and can be measured with short measuring time and high resolution. The Soler slit (100) has a plurality of metal sheets (110), which are perpendicular to the bottom surface, separated from each other by a specified angle interval arranged in an arch, so that X-rays are passed from a specific focus to the radiation direction, and the Soler slit (100) is set at an angle used for grazing incidence X-ray diffraction to be irradiated to the material and diffracted on the specimen surface. X-rays are used to pass through the center of the goniometer circle as a specific focus.
【技术实现步骤摘要】
索勒狭缝、X射线衍射装置以及方法
本专利技术涉及具备多个薄板的索勒狭缝、使用该索勒狭缝的X射线衍射装置以及方法。
技术介绍
近年来，期待向晶体管、太阳能电池等的应用的功能性的有机薄膜研究受到关注。在有机薄膜的评价中，基于面内(in-plane)衍射的面内取向测定是有效的。在测定面内衍射X射线的情况下，不仅是面内方向，也能够进行层叠方向的构造解析。在面内衍射X射线的测定中，以往例如专利文献1所记载那样实施使用平行索勒狭缝并利用零维检测器来进行检测的方法。但是，在这种方法中，由于每当进行测定会伴随检测器的移动，因此测定完所希望的范围需要很长的时间。相对于此，如果利用放射光设施将光束尺寸被收缩的放射光投射至试料并利用二维检测器来检测面内衍射X射线，则能够测定面内方向和面外方向这双方的衍射斑。另一方面，现有技术中已知在面内衍射以外的领域利用索勒狭缝来检测衍射X射线的方法。例如，专利文献2中记载了：为了针对从薄膜试料的表面出来的衍射X射线、荧光X射线利用成像板检测仅放射方向的X射线，使用特殊旋转狭缝。专利文献3中记载了：经由在试料与宽范围X射线检测器之间所设置的狭缝部件，将...
【技术保护点】
1.一种索勒狭缝，其特征在于，具备：多个薄板，各自相对于底面垂直，并且相互隔开规定的角度间隔而排列为拱形，以使得从特定的焦点向放射方向通过X射线，所述索勒狭缝被设置于以掠入射X射线衍射用的角度被照射至试料并在试料面上被衍射的X射线将测角器圆的中心作为所述特定的焦点来通过的位置而被使用。
【技术特征摘要】
2017.10.25 JP 2017-2061761.一种索勒狭缝，其特征在于，具备：多个薄板，各自相对于底面垂直，并且相互隔开规定的角度间隔而排列为拱形，以使得从特定的焦点向放射方向通过X射线，所述索勒狭缝被设置于以掠入射X射线衍射用的角度被照射至试料并在试料面上被衍射的X射线将测角器圆的中心作为所述特定的焦点来通过的位置而被使用。2.根据权利要求1所述的索勒狭缝，其特征在于，面内方向的分辨率为1°以下。3.一种X射线衍射装置，具备权利要求1或2所述的索勒狭缝，其特征在于，所述X射线衍射装置还具备：X射线源，向所述试料照射X射线；面内臂，被设置成相对于所述测角器圆的中心能够旋转；和检测器，被设置于所述面内臂上，在一维或者二维的检测区域检测通过了所述索勒狭缝的衍射X射线，所述索勒狭缝被设置于以掠入射X射线衍...
【专利技术属性】
技术研发人员：拉迪斯拉洛·皮娜，阿道夫·茵内曼，表和彦，小林信太郎，
申请(专利权)人：株式会社理学，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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