一种纳米定位平台制造技术

本实用新型专利技术提供一种纳米定位平台，包括基座、X轴定位平台、Y轴定位平台和定位底座，所述基座四周设置螺纹孔，基座两个侧面分别设置X轴压敏元件和Y轴压敏元件，基座另外两个侧面分别设置X轴弹簧组件和Y轴弹簧组件，所述X轴定位平台四角设置有螺纹孔，X轴定位平台四角设置X轴柔性铰链，X轴定位平台一个侧面设置X轴电容传感器，X轴定位平台顶部设置定位用凸台，所述Y轴定位平台上设置螺纹孔，Y轴定位平台四角设置Y轴柔性铰链，Y轴定位平台一个侧面设置Y轴电容传感器，所述定位底座四角这只螺纹孔，定位底座上设置纳米驱动电机。本实用新型专利技术的有益效果是定位精度高、线性度好、偏航小。

A nano-positioning platform

The utility model provides a nano-positioning platform, which comprises a base, an X-axis positioning platform, a Y-axis positioning platform and a positioning base. Thread holes are arranged around the base, X-axis pressure sensitive elements and Y-axis pressure sensitive elements are respectively arranged on the two sides of the base, and X-axis spring components and Y-axis spring components are respectively arranged on the other two sides of the base. Thread holes are arranged at the four corners of the X-axis positioning platform, and X-axis pressure sensitive elements are arranged on the other two sides of the base. X-axis flexure hinge is set at the four corners of positioning platform, X-axis capacitance sensor is set at one side of positioning platform, X-axis positioning platform is set at the top of positioning platform, threaded hole is set at the Y-axis positioning platform, Y-axis flexibility hinge is set at the four corners of Y-axis positioning platform, Y-axis capacitance sensor is set at one side of Y-axis positioning platform, this threaded hole is located at the four corners of positioning base. Set up nano drive motor. The utility model has the advantages of high positioning accuracy, good linearity and small yaw.

【技术实现步骤摘要】
一种纳米定位平台
本技术属于机械领域，尤其是涉及一种纳米定位平台。
技术介绍
纳米定位平台包括纳米电子器件和纳米光电器件，可广泛应用于电子学、光学、微机械装置、新型计算机等，大行程、高速、高精度的纳米定位系统在现代尖端工业制造和科学研究领域占有极其重要的地位。随着集成电路(Integratedcircuit)制造、生物芯片技术、高精数控加工技术及高速扫描检测等的迅速发展，对定位系统的行程、速度、加速度和精度提出了更高的要求，对高速、高精度定位系统的研究也迫在眉睫，传统的多自由度并联纳米定位平台存在较为严重的位移耦合现象，影响定位精度。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单、操作简单、位移精度高的纳米定位平台，尤其适合对精度要求较大的场合。本技术的技术方案是：一种纳米定位平台，包括基座、X轴定位平台、Y轴定位平台和定位底座，所述基座四周设置螺纹孔，基座两个侧面分别设置X轴压敏元件和Y轴压敏元件，基座另外两个侧面分别设置X轴弹簧组件和Y轴弹簧组件，所述X轴定位平台四角设置有螺纹孔，X轴定位平台四角设置X轴柔性铰链，X轴定位平台一个侧面设置X轴电容传感器，X轴定位平台顶部设置定位用凸台，所述Y轴定位平台上设置螺纹孔，Y轴定位平台四角设置Y轴柔性铰链，Y轴定位平台一个侧面设置Y轴电容传感器，所述定位底座四角这只螺纹孔，定位底座上设置纳米驱动电机。所述基座通过四周的螺纹孔进行固定，基座通过螺栓和螺纹孔连接定位底座，所述定位底座通过Y轴柔性铰链连接Y轴定位平台，定位底座通过螺栓连接纳米驱动电机，所述Y轴定位平台通过X轴柔性铰链连接X轴定位平台，Y轴定位平台固定连接Y轴电容传感器，所述X轴定位平台通过螺栓固定定位元件，X轴定位平台固定连接X轴电容传感器，所述X轴压敏元件和Y轴压敏元件通过螺栓连接基座，所述X轴压敏元件和Y轴压敏元件分别与X轴定位平台和Y轴定位平台相切配合，所述X轴弹簧组件和Y轴弹簧组件分别与X轴定位平台和Y轴定位平台固定连接。进一步的，所述X轴压敏元件和Y轴压敏元件由压电陶瓷、螺栓和紧定螺母组成。进一步的，所述X轴定位平台和Y轴定位平台上设置有滑道。进一步的，所述X轴电容传感器和Y轴电容传感器精度±1nm。本技术具有的优点和积极效果是：1、所述纳米定位平台采用压电陶瓷进行反馈，在进行移动后，压电陶瓷会进行反馈信息，保证位移的精度，保证工作的准确性。2、所述柔性铰链，保证了位移的精度，相比传统的运动方式，这种运动方式更加准确，精准度更加高，保证了运动的精度，提高了定位的精准性。3、柔性铰链和压电陶瓷进行配合的方式有效解决了定位平台容易耦合的特性。附图说明图1是本技术的俯视图。图中：1、基座2、X轴压敏元件3、X轴弹簧组件4、Y轴压敏元件5、Y轴弹簧组件6、X轴电容传感器7、Y轴电容传感器8、X轴柔性铰链9、Y轴柔性铰链10、X轴定位平台11、Y轴定位平台12、定位底座具体实施方式下面结合附图对本技术做详细说明。如图1所示。一种纳米定位平台，包括基座1、X轴定位平台10、Y轴定位平台11和定位底座12，所述基座1四周设置螺纹孔，基座1两个侧面分别设置X轴压敏元件2和Y轴压敏元件4，基座1另外两个侧面分别设置X轴弹簧组件3和Y轴弹簧组件5，所述X轴定位平台10四角设置有螺纹孔，X轴定位平台10四角设置X轴柔性铰链8，X轴定位平台10一个侧面设置X轴电容传感器6，X轴定位平台10顶部设置定位用凸台，所述Y轴定位平台11上设置螺纹孔，Y轴定位平台11四角设置Y轴柔性铰链9，Y轴定位平台11一个侧面设置Y轴电容传感器7，所述定位底座12四角这只螺纹孔，定位底座12上设置纳米驱动电机。所述基座1通过四周的螺纹孔进行固定，基座1通过螺栓和螺纹孔连接定位底座12，所述定位底座12通过Y轴柔性铰链9连接Y轴定位平台11，定位底座12通过螺栓连接纳米驱动电机，所述Y轴定位平台11通过X轴柔性铰链8连接X轴定位平台10，Y轴定位平台11固定连接Y轴电容传感器7，所述X轴定位平台10通过螺栓固定定位元件，X轴定位平台10固定连接X轴电容传感器6，所述X轴压敏元件2和Y轴压敏元件4通过螺栓连接基座1，所述X轴压敏元件2和Y轴压敏元件4分别与X轴定位平台10和Y轴定位平台11相切配合，所述X轴弹簧组件3和Y轴弹簧组件5分别与X轴定位平台10和Y轴定位平台11固定连接。所述X轴压敏元件2和Y轴压敏元件4由压电陶瓷、螺栓和紧定螺母组成。所述X轴定位平台10和Y轴定位平台11上设置有滑道。所述X轴电容传感器6和Y轴电容传感器7精度±1nm。使用纳米平台进行定位是，预先输入好需要进行定位的坐标，系统会自动进行定位，定位结束后，通过压电陶瓷的反馈，系统根据进给的多少进行调整位置，之后通过电容传感器测量具体的位置，根据压电陶瓷进行反馈，多次反馈进行多次调解，保证精度。纳米定位平台的弹簧组件能够保证装置在使用过后更好的返回初始点，不需要进行人为对中。以上对本技术的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本技术的较佳实施例，不能被认为用于限定本技术的实施范围。凡依本技术申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本技术的专利涵盖范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种纳米定位平台，包括基座(1)、X轴定位平台(10)、Y轴定位平台(11)和定位底座(12)，其特征在于：所述基座(1)四周设置螺纹孔，基座(1)两个侧面分别设置X轴压敏元件(2)和Y轴压敏元件(4)，基座(1)另外两个侧面分别设置X轴弹簧组件(3)和Y轴弹簧组件(5)，所述X轴定位平台(10)四角设置有螺纹孔，X轴定位平台(10)四角设置X轴柔性铰链(8)，X轴定位平台(10)一个侧面设置X轴电容传感器(6)，X轴定位平台(10)顶部设置定位用凸台，所述Y轴定位平台(11)上设置螺纹孔，Y轴定位平台(11)四角设置Y轴柔性铰链(9)，Y轴定位平台(11)一个侧面设置Y轴电容传感器(7)，所述定位底座(12)四角这只螺纹孔，定位底座(12)上设置纳米驱动电机；所述基座(1)通过四周的螺纹孔进行固定，基座(1)通过螺栓和螺纹孔连接定位底座(12)，所述定位底座(12)通过Y轴柔性铰链(9)连接Y轴定位平台(11)，定位底座(12)通过螺栓连接纳米驱动电机，所述Y轴定位平台(11)通过X轴柔性铰链(8)连接X轴定位平台(10)，Y轴定位平台(11)固定连接Y轴电容传感器(7)，所述X轴定位平台(10)通过螺栓固定定位元件，X轴定位平台(10)固定连接X轴电容传感器(6)，所述X轴压敏元件(2)和Y轴压敏元件(4)通过螺栓连接基座(1)，所述X轴压敏元件(2)和Y轴压敏元件(4)分别与X轴定位平台(10)和Y轴定位平台(11)相切配合，所述X轴弹簧组件(3)和Y轴弹簧组件(5)分别与X轴定位平台(10)和Y轴定位平台(11)固定连接。...

【技术特征摘要】
1.一种纳米定位平台，包括基座(1)、X轴定位平台(10)、Y轴定位平台(11)和定位底座(12)，其特征在于：所述基座(1)四周设置螺纹孔，基座(1)两个侧面分别设置X轴压敏元件(2)和Y轴压敏元件(4)，基座(1)另外两个侧面分别设置X轴弹簧组件(3)和Y轴弹簧组件(5)，所述X轴定位平台(10)四角设置有螺纹孔，X轴定位平台(10)四角设置X轴柔性铰链(8)，X轴定位平台(10)一个侧面设置X轴电容传感器(6)，X轴定位平台(10)顶部设置定位用凸台，所述Y轴定位平台(11)上设置螺纹孔，Y轴定位平台(11)四角设置Y轴柔性铰链(9)，Y轴定位平台(11)一个侧面设置Y轴电容传感器(7)，所述定位底座(12)四角这只螺纹孔，定位底座(12)上设置纳米驱动电机；所述基座(1)通过四周的螺纹孔进行固定，基座(1)通过螺栓和螺纹孔连接定位底座(12)，所述定位底座(12)通过Y轴柔性铰链(9)连接Y轴定位平台(11)，定位底座(12)通过螺栓连...

【专利技术属性】
技术研发人员：王剑锋，
申请(专利权)人：三英精控天津科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12