虚设字线跟踪电路制造技术

本文描述的多种实现方式涉及一种集成电路。集成电路可以包括虚设字线电路，所述虚设字线电路具有经由虚设字线耦合到多个虚设字线负载的虚设字线驱动器。集成电路可以包括多路分配器电路，所述多路分配器电路耦合到虚设字线驱动器与多个虚设字线负载之间的虚设字线的第一路径。集成电路可以包括多路复用器电路，所述多路复用器电路耦合到多个虚设字线负载与虚设位线负载之间的虚设字线的第二路径。可以用一个或多个选择信号控制多路分配器电路和多路复用器电路以选择多个虚设字线负载中的至少一个。

Virtual Word Line Tracking Circuit

【技术实现步骤摘要】
虚设字线跟踪电路
技术介绍
本节旨在提供与理解本文描述的多种技术相关的信息。正如本节的标题所表明的，这是对相关技术的讨论，绝不应该表明它是现有技术。通常，相关技术可以或可以不被认为是现有技术。因此，应该理解，本节中的任何陈述应该从这个角度阅读，而不是作为对现有技术的任何承认。通常，多重图案化(或多图案化，诸如双图案化)可以指用于制造集成电路(IC)的一类技术，其被开发用于光刻以增强电路组件的特征密度。基于以下前提开发了多重图案化：基于单一光刻曝光可能不足以提供足够分辨率。因此，需要额外的曝光，因为否则将需要使用蚀刻的特征侧壁(例如，使用间隔物)来定位图案。虽然EUVL(即，极紫外光刻)已被预测为下一代光刻技术的选择，但EUVL可能仍然需要不止一次光刻曝光，因为预计需要首先印刷一系列线然后切割它们。因此，即使对于EUVL，也可能需要不止一次切割。此外，即使对于电子束光刻(即，e-beam光刻)，单次曝光也可能不足，因此还需要双重图案化。因此，需要改进光刻技术以在制造集成电路(IC)时增强电路元件的特征密度。附图说明本文参考附图描述了多种技术的实现方式。然而，应该理解，附图仅示出了本文描述的多本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路，包括：虚设字线电路，具有经由虚设字线耦合到多个虚设字线负载的虚设字线驱动器；多路分配器电路，耦合到所述虚设字线驱动器与所述多个虚设字线负载之间的虚设字线的第一路径；以及多路复用器电路，耦合到所述多个虚设字线负载与虚设位线负载之间的所述虚设字线的第二路径，其中用一个或多个选择信号控制所述多路分配器电路和所述多路复用器电路以选择所述多个虚设字线负载中的至少一个。

【技术特征摘要】
2017.10.20 US 15/789,7151.一种集成电路，包括：虚设字线电路，具有经由虚设字线耦合到多个虚设字线负载的虚设字线驱动器；多路分配器电路，耦合到所述虚设字线驱动器与所述多个虚设字线负载之间的虚设字线的第一路径；以及多路复用器电路，耦合到所述多个虚设字线负载与虚设位线负载之间的所述虚设字线的第二路径，其中用一个或多个选择信号控制所述多路分配器电路和所述多路复用器电路以选择所述多个虚设字线负载中的至少一个。2.根据权利要求1所述的集成电路，还包括：多个位单元的阵列，所述多个位单元排列成多行，其中所述多个位单元能够经由多个字线选择；以及多个字线驱动器，经由所述多个字线中的相应字线耦合到所述多个位单元的相应位单元，其中用所述一个或多个选择信号控制所述多路分配器电路和所述多路复用器电路，以基于对所选字线的电阻字线负载的匹配来选择所述多个虚设字线负载中的至少一个。3.根据权利要求2所述的集成电路，其中所述多行中的每一行利用所述多个字线中的相应字线和所述多个字线驱动器中的相应字线驱动器来选择所述多个位单元中的相应位单元。4.根据权利要求2所述的集成电路，其中所述多行排列成偶数行和奇数行，并且其中所述偶数行定义具有第一电阻值的第一电阻字线负载，并且其中所述奇数行定义具有小于所述第一电阻值的第二电阻值的第二电阻字线负载。5.根据权利要求4所述的集成电路，其中所述第一电阻字线负载包括具有高电阻值的高电阻字线负载，并且其中所述第二电阻字线负载包括具有低电阻值的低电阻字线负载。6.根据权利要求4所述的集成电路，其中用第一颜色标记所述偶数行，从而标识所述第一电阻字线负载的所述第一电阻值，并且其中用不同于所述第一颜色的第二颜色标记所述奇数行，从而标识所述第二电阻字线负载的所述第二电阻值。7.根据权利要求6所述的集成电路，其中所述第一颜色包括红色，并且其中所述第二颜色包括绿色。8.根据权利要求2所述的集成电路，其中所述多个虚设字线负载包括具有第一电阻虚设值的第一电阻虚设字线负载，并且其中所述多个虚设字线负载包括具有小于所述第一电阻虚设值的第二电阻虚设值的第二电阻虚设字线负载。9.根据权利要求8所述的集成电路，其中所述一个或多个选择信号用于基于对所选字线的所述电阻字线负载的所述匹配来控制对所述第一电阻虚设字线负载或所述第二电阻虚设字线负载的选择。10.根据权利要求8所述的集成电路，其中所述第一电阻虚设字线负载的所述第一电阻虚设值对应于设置在所述多个位单元的阵列的偶数行中的所述多个位单元中的第一组位单元，并且其中所述第二电阻虚设字线负载的所述第二电阻虚没值对应于设置在所述多个位单元的阵列的奇数行中的所述多个位单元中的第二组位单元，并且其中所述第二电阻虚设值小于所述第一电阻虚设值。11.根据权利要求8所述的集成电路，其中所述第一电阻虚设字线负载包括具有高电阻虚设值的高电阻虚设字线负载，并且其中所述第二电阻虚设字线负载包括具有低电阻虚设值的低电阻虚设字线负载。12.根据权利要求8所述的集成电路，其中所述多路分配器电路经由所述第一路径从所述虚设字线驱动器接收反相时钟信号...

【专利技术属性】
技术研发人员：拉雷特·古普塔，吉滕达拉·达萨尼，维韦克·诺蒂亚，法赫尔丁·阿里·博赫拉，
申请(专利权)人：ARM有限公司，
类型：发明
国别省市：英国,GB