一种角镜型迈克尔逊干涉仪制造技术

技术编号:21002326 阅读:46 留言:0更新日期:2019-04-30 21:06
本发明专利技术属于傅立叶变换红外光谱仪技术领域,涉及一种角镜型迈克尔逊干涉仪,包括:光源组件、分束器、定镜、动镜、直线导轨、音圈马达、探测器、激光器组件和激光探测器;所述光源组件产生红外光源,经光路转换,发射至分束器,最后会聚至探测器的焦点上;所述激光器组件产生激光光束,经光路转换,发射至分束器,最后会聚至激光探测器的焦点上;音圈马达驱动直线导轨,带动动镜移动;所述动镜和固定镜为:角镜。本发明专利技术所述角镜型迈克尔逊干涉仪具有小型化,光学件寿命长,仪器整体寿命长、可靠性高和稳定性高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种角镜型迈克尔逊干涉仪
本专利技术属于傅立叶变换红外光谱仪
,涉及一种角镜型迈克尔逊干涉仪,所述角镜型迈克尔逊干涉仪可在实验室及现场环境中使用,用于样品的红外光谱分析;且由于体积小、质量轻,更适合应用到小型便携傅立叶变换红外光谱仪上。
技术介绍
傅立叶变换红外光谱仪是把红外光通过干涉仪调制成干涉光,再把干涉光通过傅立叶变换转化成光谱;所述干涉仪是傅立叶变换红外光谱仪的核心。用于现场应用场合的小型便携傅立叶变换红外光谱仪是傅立叶变换红外光谱仪的重点发展方向。国内生产傅立叶变换红外光谱仪的厂家很少,国外生产傅立叶变换红外光谱仪的公司也不是很多。各家公司的干涉仪都各不相同,但都是在迈克尔逊干涉仪的基础上研制开发,构成干涉仪的动镜和定镜采用平面镜或角镜,通过移动平面镜或角镜以改变光程差。目前主要有两种技术:一是具有动态准直技术的传统迈克尔逊干涉仪,另一种是基于角镜技术的干涉仪,各家公司的角镜型干涉仪各具风格。如图1(a)所示为经典迈克尔逊干涉仪的光路原理示意图,所述经典迈克尔逊干涉仪由分束器3、补偿镜4、动镜2和固定镜(简称定镜)5等组成。所述动镜2和固定镜5都是平面镜,光源1经过准本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种角镜型迈克尔逊干涉仪,其特征在于:包括:光源组件(19)、分束器组件(20)、定镜组件(18)、动镜组件(22)、直线导轨、音圈马达、外光路组件、探测器组件(23)、激光器组件(13)、密封窗组件一(21)、密封窗组件二(30)、透光窗片(26)、平面反射镜一(27)、平面反射镜二(28)、抛物镜一(6)和激光探测器(29);所述分束器组件(20)包括:分束器(3);所述定镜组件(18)包括:固定镜(5);所述动镜组件(22)包括:动镜(2);所述探测器组件(23)包括:探测器(7);所述密封窗组件一(21)包括:密封窗片一(25);所述密封窗组件二(30)包括:密封窗片二(31);所...

【技术特征摘要】
1.一种角镜型迈克尔逊干涉仪,其特征在于:包括:光源组件(19)、分束器组件(20)、定镜组件(18)、动镜组件(22)、直线导轨、音圈马达、外光路组件、探测器组件(23)、激光器组件(13)、密封窗组件一(21)、密封窗组件二(30)、透光窗片(26)、平面反射镜一(27)、平面反射镜二(28)、抛物镜一(6)和激光探测器(29);所述分束器组件(20)包括:分束器(3);所述定镜组件(18)包括:固定镜(5);所述动镜组件(22)包括:动镜(2);所述探测器组件(23)包括:探测器(7);所述密封窗组件一(21)包括:密封窗片一(25);所述密封窗组件二(30)包括:密封窗片二(31);所述光源组件(19)包括:准直镜(8)和平面镜一(9);所述光源组件(19)用于:产生红外光源(1);所述激光器组件(13)用于:产生激光光束,并发射至透光窗片(26);所述透光窗片(26)用于:透射激光光束;所述平面反射镜一(27)用于:接收透射过透光窗片(26)的激光光束,并将激光光束转向90°,反射至平面反射镜二(28);所述平面反射镜二(28)用于:接收平面反射镜一(27)反射的激光光束,并将激光光束转向90°,反射至分束器(3);所述准直镜(8)用于:将红外光源(1)反射,形成红外平行光,并将红外平行光发射至平面镜一(9);所述平面镜一(9)用于:将发射至平面镜一(9)的红外平行光转向90度,再发射至分束器(3);所述分束器(3)用于:①将发射至分束器的红外平行光分成两束,一束为红外反射光一,另一束为红外透射光,并将红外反射光一发射至固定镜(5),将红外透射光发射至动镜(2);所述固定镜(5)用于:将分束器(3)发射的红外反射光一再反射回分束器(3),形成红外反射光二;所述动镜(2)用于:在动镜(2)移动的同时,将分束器(3)发射的红外透射光再反射回分束器(3),形成红外反射光三;所述分束器(3)还用于:②接收固定镜(5)的红外反射光二与动镜(2)的红外反射光三,形成干涉光,并将干涉光透射过密封窗片一(25),发射至外光路组件;③将发射至分束器的激光光束分成两束,一束为激光反射光一,另一束为激光透射光一,并将激光反射光一发射至固定镜(5),将激光透射光一发射至动镜(2);所述固定镜(5)还用于:将分束器(3)发射的激光反射光一再反射回分束器(3),形成激光反射光二;所述动镜(2)用于:在动镜(2)移动的同时,将分束器(3)发射的激光透射光一再反射回分束器(3),形成激光反射光三;所述分束器(3)还用于:④接收固定镜(5)的激光反射光二与动镜(2)的激光反射光三,并将固定镜(5)的激光反射光二反射,形成激光反射光四,再发射至激光探测器(29);将动镜(2)的激光反射光三透射,形成激光透射光二,再发射至激光探测器(29);所述激光探测器(29)用于:接收分束器(3)反射的激光反射光四和分束器(3)透射的激光透射光二;所述动镜(2)与直线导轨固定连接,所述直线导轨与音圈马达连接;所述音圈马达用于:驱动直线导轨移动;所述密封窗片一(25)用于:透射分束器(3)发射的干涉光;所述外光路组件用于:将透射过密封窗片一(25)的干涉光透射过密封窗片二(31),再发射至抛物镜一(6);所述抛物镜一(6)用于:将发射至抛物镜一(6)的干涉光会聚至探测器(7)的焦点上;所...

【专利技术属性】
技术研发人员:高学军龚蓉晔刘志国杨海山王毅王文智
申请(专利权)人:北京北分瑞利分析仪器集团有限责任公司
类型:发明
国别省市:北京,11

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