电扫描器及反射镜单元制造技术

电扫描器(1)具有：反射镜(2)，其将激光反射而偏转；轴部(14)，其以旋转轴(6)为中心进行旋转；装配部(3)，其对反射镜(2)进行固定，并且形成将轴部(14)的一端部插入的第1孔(3b)而被固定于轴部(14)；第1轴承(12)，其将轴部(14)能够以旋转轴(6)为中心旋转地支撑；以及第2轴承(13)，其设置在隔着第1轴承(12)而与反射镜(2)的相反侧，将轴部(14)能够以旋转轴(6)为中心旋转地支撑。在第1轴承(12)的内圈(12a)的内侧嵌入有装配部(3)。

Electric Scanner and Reflector Unit

The electric scanner (1) has: a mirror (2), which reflects and deflects the laser beam; a shaft (14), which rotates around a rotating shaft (6); an assembly part (3), which fixes the mirror (2) and forms a first hole (3b) inserted at one end of the shaft (14) and fixed on the shaft (14); a first bearing (12), which rotates the shaft (14) around a rotating shaft (6); and a second. The bearing (13) is arranged on the opposite side of the mirror (2) separated from the first bearing (12), and the shaft (14) can be rotatably supported with the rotating shaft (6) as the center. An assembly part (3) is embedded on the inner side of the inner ring (12a) of the first bearing (12).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电扫描器及反射镜单元
本专利技术涉及通过电动机使反射镜的角度变化而对激光进行扫描的电扫描器及反射镜单元。
技术介绍
以往，为了在激光开孔加工中对激光进行扫描而使用电扫描器。如专利文献1所示，电扫描器具有：反射镜，其也被称为电控反射镜；以及电动机，其使反射镜旋转。反射镜粘接于反射镜装配件。反射镜装配件使用固定部件和固定螺钉，能够装卸地固定于作为电动机的轴的轴部。即，反射镜经由反射镜装配件而固定于电动机的轴部。另外，电动机具有将轴部能够旋转地支撑的轴承。轴承在与反射镜装配隔开距离的位置处将轴部能够旋转地支撑。反射镜通过固定于电动机的轴部，从而能够进行旋转驱动。通过旋转驱动而使反射镜的角度变化，由此激光的反射角度变化。通过激光的反射角度的变化，对激光进行扫描。专利文献1：日本特开2002－6255号公报
技术实现思路
在诸如上述结构的电扫描器中，反射镜的重心及反射镜装配件的重心如果从轴部的旋转轴偏离，则有时会发生反射镜在与轴部的旋转轴垂直的方向振动的所谓面倾斜振动。如果面倾斜振动的振幅变大，则激光的扫描精度降低。面倾斜振动是在与反射镜最接近的位置处以支撑轴部的轴承为支点而发生的振动。因此，从对轴部进行支撑的轴承至反射镜的前端为止的距离越大，则面倾斜振动的振幅越容易变大。另外，在与轴承相比成为反射镜侧的部分中没有被轴承直接支撑的部分的重量越重，则面倾斜振动的振幅越容易变大。此外，在上述结构的电扫描器中，在与轴承相比成为反射镜侧的部分中没有被轴承直接支撑的部分中包含有反射镜装配件和反射镜。本专利技术就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于，得到能够实现面倾斜振动的振幅的抑制的电扫描器。为了解决上述的课题并达到目的，本专利技术所涉及的电扫描器具有：反射镜，其将激光反射而偏转；轴部，其以旋转轴为中心进行旋转；装配部，其对反射镜进行固定，并且形成将轴部的一端部插入的第1孔而被固定于轴部；第1轴承，其将轴部能够以旋转轴为中心旋转地支撑；以及第2轴承，其设置在隔着第1轴承而与反射镜的相反侧，将轴部能够以旋转轴为中心旋转地支撑。在第1轴承的内圈的内侧，嵌入有装配部。专利技术的效果根据本专利技术所涉及的电扫描器，具有能够实现面倾斜振动的振幅的抑制这样的效果。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式1所涉及的电扫描器的外观的正视图。图2是表示实施方式1所涉及的电扫描器的外观的俯视图。图3是通过图2所示的III－III线将电扫描器切断后的剖视图。图4是通过图1所示的IV－IV线将电扫描器切断后的剖视图。图5是实施方式1中的装配部的正视图。图6是实施方式1中的装配部的俯视图。图7是实施方式1中的装配部的侧视图。图8是实施方式1中的固定件的正视图。图9是实施方式1中的固定件的俯视图。图10是实施方式1中的固定件的侧视图。图11是作为对比例表示的电扫描器的剖视图。图12是对在实施方式1中的电动机组装反射镜的工序进行说明的图。图13是对在实施方式1中的电动机组装反射镜的工序进行说明的图。图14是对在实施方式1中的电动机组装反射镜的工序进行说明的图。图15是对在实施方式1中的电动机组装反射镜的工序进行说明的图。图16是对在实施方式1中的电动机组装反射镜的工序进行说明的图。图17是对在实施方式1中的电动机组装反射镜的工序进行说明的图。图18是表示本专利技术的实施方式2所涉及的电扫描器的外观的俯视图。图19是通过图18所示的XIX－XIX线将电扫描器切断后的剖视图。图20是通过图19所示的XX－XX线将电扫描器切断后的剖视图。图21是本专利技术的实施方式3所涉及的电扫描器的剖视图，且是相当于图3的图。图22是通过图21所示的XXII－XXII线将电扫描器切断后的剖视图。图23是实施方式3中的装配部的正视图。图24是实施方式3中的装配部的俯视图。图25是实施方式3中的装配部的侧视图。图26是本专利技术的实施方式4所涉及的电扫描器的剖视图，且是相当于图3的图。图27是通过图26所示的XXVII－XXVII线将电扫描器切断后的剖视图。图28是实施方式4中的装配部的正视图。图29是实施方式4中的装配部的俯视图。图30是实施方式4中的装配部的侧视图。具体实施方式下面，基于附图，对本专利技术的实施方式所涉及的电扫描器及反射镜单元详细地进行说明。此外，本专利技术不受本实施方式限定。实施方式1.图1是表示本专利技术的实施方式1所涉及的电扫描器的外观的正视图。图2是表示实施方式1所涉及的电扫描器的外观的俯视图。图3是通过图2所示的III－III线将电扫描器切断后的剖视图。图4是通过图1所示的IV－IV线将电扫描器切断后的剖视图。电扫描器1具有：反射镜2，其使激光反射；以及电动机5，其使反射镜2旋转驱动。在下面的说明中，相对于电动机5将设置有反射镜2的一侧称为负载侧，将其相反侧称为负载相反侧。图1所示的反射镜2是使激光反射的反射面为椭圆形状的一个例子。在使CO2激光反射的情况下，通常使用椭圆形状的长径为30mm～60mm的反射镜。此外，反射镜2的反射面的形状并不限定于椭圆形状，可以使用四边形或者八边形等各种形状的反射镜。在反射镜2粘接有还被称为反射镜装配件的装配部3。图5是实施方式1中的装配部3的正视图。图6是实施方式1中的装配部3的俯视图。图7是实施方式1中的装配部3的侧视图。在装配部3的一端部3d，形成有被反射镜2的外缘嵌入的第1槽3a。在装配部3的另一端部3e，形成有被后面记述的电动机5的轴部插入的第1孔即孔3b。另外，在将孔3b的周围包围的壁面，在与后面记述的电动机5的轴部的旋转轴成为平行的方向从另一端部3e侧起形成有多个第2槽3c，构成为能够通过外力将孔3b的内径小幅地变形。反射镜2如图2及图4所示，插入而粘接于装配部3的第1槽3a。接下来对电动机5进行说明。如图3及图4所示，电动机5具有圆筒形状的电动机框架即框架11。在框架11的内部收容有作为轴的轴部14。轴部14成为圆筒形状，以轴部14的中心轴与旋转轴6一致的状态而收容于框架11。框架11中的成为框架11的负载侧的端面由环状的盖18堵塞。在轴部14的成为负载侧的一端部14a对装配部3进行安装。具体地说，将轴部14的一端部14a插入至在装配部3的另一端部3e形成的孔3b，由此将装配部3安装在轴部14。装配部3使用固定件20而固定于轴部14。图8是实施方式1中的固定件20的正视图。图9是实施方式1中的固定件20的俯视图。图10是实施方式1中的固定件20的侧视图。固定件20具有：贯通部件40，其形成有使装配部3的另一端部3e侧贯通的贯通口41；以及螺钉21，其使贯通口41的面积缩小。贯通部件40具有第1部件40a和第2部件40b，它们具有圆弧面，通过使圆弧面彼此相对，从而在第1部件40a和第2部件40b之间形成贯通口41。在第1部件40a和第2部件40b形成有：贯通孔40c，其使螺钉21贯通；以及螺孔40d，其能够将螺钉21螺入。通过将贯穿了贯通孔40c的螺钉21螺入至螺孔40d，从而使第1部件40a和第2部件40b接近，能够使贯通口41的面积缩小。固定件20在将孔3b中插入有轴部14的装配部3的另一端部3e侧插入至贯通口41的状态下，将螺钉21螺入，由此贯通口41的面积缩小，装配部3被紧固。在装配部3的另一端部3e侧形成有第2槽3c，因此通过将本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电扫描器，其特征在于，具有：反射镜，其将激光反射而偏转；轴部，其以旋转轴为中心进行旋转；装配部，其对所述反射镜进行固定，并且形成将所述轴部的一端部插入的第1孔而被固定于所述轴部；第1轴承，其将所述轴部能够以所述旋转轴为中心旋转地支撑；以及第2轴承，其设置在隔着所述第1轴承而与所述反射镜的相反侧，将所述轴部能够以所述旋转轴为中心旋转地支撑，在所述第1轴承的内圈的内侧，嵌入有所述装配部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.13 JP 2016-1789061.一种电扫描器，其特征在于，具有：反射镜，其将激光反射而偏转；轴部，其以旋转轴为中心进行旋转；装配部，其对所述反射镜进行固定，并且形成将所述轴部的一端部插入的第1孔而被固定于所述轴部；第1轴承，其将所述轴部能够以所述旋转轴为中心旋转地支撑；以及第2轴承，其设置在隔着所述第1轴承而与所述反射镜的相反侧，将所述轴部能够以所述旋转轴为中心旋转地支撑，在所述第1轴承的内圈的内侧，嵌入有所述装配部。2.根据权利要求1所述的电扫描器，其特征在于，还具有固定件，该固定件在所述第1轴承和所述第2轴承之间，使所述装配部固定于所述轴部。3.根据权利要求2所述的电扫描器，其特征在于，还具有框架，该框架将所述固定件收容于内部，所述固定件具有：贯通部件，其形成有使所述装配部贯通的贯通口；以及螺钉，其使所述贯通部件的所述贯通口的面积缩小，在所述框架形成开口，该开口能够实现所述螺钉的操作。4.根据权利要求2所述的电扫描器，其特征在于，还具有框架，该框架将所述固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥悌史，竹田浩之，森刚，高桥尚弘，矛馆俊之，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP