振动抛光设备制造技术

本发明专利技术涉及一种振动抛光设备，其包括：用于产生用于抛光样品的振荡振动的振动驱动器(1)，与振动驱动器(1)连接的并且能由该振动驱动器驱动的抛光盘(2)，以及抛光碗状物(3)，所述抛光碗状物构成为用于接纳抛光介质以及待抛光样品并且与所述抛光盘(2)上耦接以便同步，其中，所述振动驱动器(1)设有基础部件(11)、反向振动部件(12)、振动板和驱动部件(14、15)，以便克服板簧(16、17)的力而驱动反向振动部件(12)和振动板(13)。

Vibration polishing equipment

The invention relates to a vibration polishing device, which comprises a vibration driver (1) for generating oscillating vibration for polishing samples, a polishing disc (2) connected to and driven by the vibration driver (1), and a polishing bowl (3), comprising a polishing bowl for receiving a polishing medium and a sample to be polished and coupled with the polishing disc (2). The vibration driver (1) is provided with a basic component (11), a reverse vibration component (12), a vibration plate and a driving component (14, 15) to drive the reverse vibration component (12) and a vibration plate (13) in order to overcome the force of the leaf spring (16, 17).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】振动抛光设备
本专利技术涉及一种振动抛光设备以用于为待抛光样品的环绕运送运动而产生振荡振动，该振动抛光设备包括：抛光盘，其与振动驱动器固定连接并且能由该振动驱动器驱动；以及抛光碗状物，其构成用于接纳抛光介质以及待抛光样品并且与抛光盘耦联以便同步。
技术介绍
这样的振动抛光设备已经由US3,137,977已知并且包括旋转电机，该旋转电机驱动偏心重块并且由此使其壳体振动。该壳体与驱动板连接，该驱动板经由橡胶弹性的元件与碗状构件持久连接，该碗状构件经由基础壳体支撑在台板或类似物上。振动板本身不可拆卸地集成在设备中并且可以经由把手与驱动板摩擦锁合，以便在其振动中同步。振动板设有抛光剂或抛光织物并且具有环状边缘，从而其可以被视为抛光碗状物。待抛光样品借助样品支架插入到抛光碗状物中并且在运行中由于不平衡驱动器的振动而经受轨道运动并且同时经受转动运动。然而，这样的不平衡驱动器向振动抛光设备的支撑环境输出极其有害的振动。此外，形成抛光碗状物的抛光盘仅能够繁琐且耗时地通过设备的卸载来实现更换。
技术实现思路
本专利技术基于如下任务，即实现一种振动抛光设备，在该振动抛光设备中，少量的或没有有害振动被输出到设备的支撑环境中。本专利技术的另一方面在于，这样设计构成用于接纳抛光介质以及待抛光样品的抛光碗状物，使得该抛光碗状物能够简单地从振动抛光设备取下并且简单地更换成另外的抛光碗状物，可选地伴随着另外的抛光介质一起更换。本专利技术的任务通过独立权利要求的技术方案来解决。本专利技术的有利的进一步扩展方案在从属权利要求中限定。具体地，提供一种用于为待抛光样品的环绕运动而产生振荡振动的振动驱动器，其中，该振动驱动器作为整体驱动附加的抛光盘，振动驱动器与该抛光盘固定连接。在抛光盘上以同步的方式耦接地放置有抛光碗状物。该抛光碗状物构成用于接纳抛光介质以及待抛光样品。如常见的那样，待抛光样品可以插入在样品支架中。特点在于使用具有一个固定不动的基础部件和两个被彼此反向驱动的设备部件的振动驱动器，所述设备部件形成反向振动部件和振动板。该振动板与抛光盘固定连接，并且用于接纳抛光介质以及待抛光样品的抛光碗状物以可取下的方式耦接到所述抛光盘上。振动板和与该振动板连接或耦接的设备部件形成按照一个转动方向驱动的惯性重量，而反向振动部件连同与其连接的设备部件形成另外的沿另一转动反向驱动的惯性重量，从而整体质心在设备运行中原则上保持在恒定位置上并且对固定不动的基础部件不产生任何振动激励。由此实现新振动抛光设备的特别安静的运转，而在现有技术中向环境输出强烈的振动振动。振动板和反向振动部件的驱动克服板簧的力而实现。利用振动板和与该振动板连接或耦接的设备部件的惯性质量形成第一振动系统，而利用反向振动部件连同连接的设备部件的惯性质量形成反作用的第二振动系统。每个所述振动系统可以具有自身的谐振频率。在出现谐振频率时干扰振动抛光设备的安静运转。该干扰可以通过加速度传感器确定，该加速度传感器的信号被反馈给振动抛光设备的控制部件并且在该控制部件那里被处理，以便从干扰运行中摆脱出来。所述振荡振动优选在样品在抛光碗状物内的环绕方面引起待抛光样品间歇性斜向上指向的切向运动，并且因此尤其是引起待抛光样品在抛光碗状物内相对于抛光介质跳动的环绕运送，这导致样品在抛光介质上滑动并且导致样品在其下侧被抛光。作为抛光介质，抛光织物和悬浮物形式的抛光剂是优选的。也可使用其他的抛光介质，例如精细的研磨剂或精细的研磨和/或抛光纸。为了将抛光碗状物耦接在抛光盘上，优选使抛光碗状物磁性附着在抛光盘上，这实现抛光碗状物在抛光盘上的可容易脱开的竖直或轴向磁性固定。磁性板或磁性膜可以被粘接在抛光盘的上侧或在抛光碗状物的下侧。钢板片或磁性膜片可以粘接在抛光碗状物的下侧或在抛光盘的上侧上。这实现简单的但可有效脱开的固定方式。附加于磁性耦接，还可以设有侧向形状锁合地起作用的形状锁合嵌接件，所述形状锁合嵌接件形成定心器件和定位器件并且优选包括定心套筒和定位销，以便引起抛光碗状物的定心和定位。优选地，由塑料材料制成的抛光碗状物在底部内侧上构成有用于可单独操作的抛光剂的支承材料。支承材料可以是抛光织物。抛光碗状物具有带有槽的环绕的侧壁，该槽在抛光碗状物的底壁上在按照支承材料的厚度的高度中延伸并且接纳橡胶弹性的环状物，该环状物将支承材料固定压在抛光碗状物的底部并且因此防止抛光剂悬浮物进入支承材料下方。有利地，抛光碗状物构成为用于抛光织物和抛光剂悬浮物的容器并且能利用盖密封封闭以及配备有把手部，以便能够作为容器或封闭器皿放下在抛光盘上或从抛光盘被抬起。因此，对于一个振动抛光设备可以有多个抛光碗状物或容器可使用，其能够容易在抛光设备上被更换并且其规格能通过标签容易识别。抛光碗状物或容器适宜地设计成可堆叠的。在待实施的抛光作业中，相继地应用具有不同粒度等级的抛光剂的不同抛光碗状物或容器，而这不会导致待抛光样品的处理复杂。即，各样品可以在各个处理步骤之间被清洗，以便避免在各个容器之间转移不同粒度的抛光介质。除此之外，容器也能容易被清洁。在振动驱动器的结构方面，振动板通过旋接被固定在抛光盘上。基础部件和反向振动部件构成为环状的或盘状的并且经由第一板簧连接。这些板簧按照径向螺旋面围绕居中的设备轴线延伸并且引导反向振动部件相对于基础部件的转动振动运动。振动驱动器的振动板经由两个板簧与基础部件连接，所述两个板簧如第一板簧那样按照径向螺旋面围绕居中的设备轴线延伸。在反向振动部件与振动板之间布置有电动机式驱动器并且该电动机式驱动器优选在反向振动部件上包括磁性线圈或电磁铁以及在振动板上包括衔铁，以便在运行时在该反向振动部件与振动板之间产生互相反向的振荡的转动振动运动，其方式为接通和断开电磁铁，其中衔铁使板簧张紧或松弛。在此，当板簧通过驱动器张紧时，振动板稍微从反向振动部件抬起，并且当驱动器被短暂断开时，振动板再次往回朝反向振动部件运动。因此，通过周期性地接通和断开驱动器，能够产生振动板相对于反向振动部件的转动振动运动。具有成对地经由第一和第二板簧相互连接的基础部件、反向振动部件和振动板的振动驱动器能够实现摆力平衡，其中，相比于不平衡重驱动器(如在迄今为止的振动抛光设备中是这样的情况)，较少的振动能量发射到环境中。因为各惯性质量在新的振动抛光设备中彼此反向振动，因此质心大致保持静止，从而在振动抛光设备的地点上的支撑力大致保持恒定并且几乎不向环境输出振动。因此，利用按照本专利技术的振动抛光设备实现特别安静的运转。附图说明下面借助附图说明实施例。其中：图1示出振动抛光设备的示意性纵剖视图；图2示出振动设备的示意性横剖视图；图3示出图2的放大细节；图4以侧视图示出部分剖切的振动驱动器；图5示出抛光碗状物的从上面看的透视图；图6示出抛光碗状物的从下面看的透视图；图7示出抛光碗状物盖的从上面看的透视图；图8示出振动驱动器连同安装好的抛光碗状物的从下面看的透视图；图9示出样品支架的剖视图；以及图10示出振动抛光设备的整体透视图。具体实施方式振动抛光设备的主要部件是振动驱动器1、抛光盘2和抛光碗状物3。此外，该设备还包括控制部件4和保护壳体5。电动机式振动驱动器1(图4)包括环状或盘状的基础部件11、环状或盘状的反向振动部件12、振动板13以及电动机式驱动器，该电动机式本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种振动抛光设备，所述振动抛光设备包括‑振动驱动器(1)，所述振动驱动器包括基础部件(11)、反向振动部件(12)、振动板(13)、第一驱动部件(14)和第二驱动部件(15)；其中，基础部件(11)和反向振动部件(12)经由第一板簧(16)连接，所述第一板簧的主平面按照径向的螺旋面围在中央轴线(10)周围，其中，基础部件(11)和振动板(13)经由第二板簧(17)连接，所述第二板簧的主平面按照径向的螺旋面围在中央轴线(10)周围，以及其中，第一驱动部件(14)布置成支撑在反向振动部件(12)上，而第二驱动部件(15)布置成支撑在振动板(13)上，以便在振动驱动器(1)运行时在反向振动部件(12)与振动板(13)之间产生相互反向的振荡的转动振动运动，所述振动抛光设备进一步包括：‑抛光盘(2)，所述抛光盘与振动驱动器(1)固定连接；以及‑抛光碗状物(3)，所述抛光碗状物构成为用于接纳抛光介质以及待抛光样品(8)并且所述抛光碗状物耦接到所述抛光盘(2)上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.06 DE 102016116676.61.一种振动抛光设备，所述振动抛光设备包括-振动驱动器(1)，所述振动驱动器包括基础部件(11)、反向振动部件(12)、振动板(13)、第一驱动部件(14)和第二驱动部件(15)；其中，基础部件(11)和反向振动部件(12)经由第一板簧(16)连接，所述第一板簧的主平面按照径向的螺旋面围在中央轴线(10)周围，其中，基础部件(11)和振动板(13)经由第二板簧(17)连接，所述第二板簧的主平面按照径向的螺旋面围在中央轴线(10)周围，以及其中，第一驱动部件(14)布置成支撑在反向振动部件(12)上，而第二驱动部件(15)布置成支撑在振动板(13)上，以便在振动驱动器(1)运行时在反向振动部件(12)与振动板(13)之间产生相互反向的振荡的转动振动运动，所述振动抛光设备进一步包括：-抛光盘(2)，所述抛光盘与振动驱动器(1)固定连接；以及-抛光碗状物(3)，所述抛光碗状物构成为用于接纳抛光介质以及待抛光样品(8)并且所述抛光碗状物耦接到所述抛光盘(2)上。2.根据权利要求1所述的振动抛光设备，所述振动抛光设备进一步包括：-控制部件(4)，其用于在电压、电流强度和脉冲形成方面给第一和第二驱动部件供应能量，以及-加速度传感器(18)，该加速度传感器在设备运行时测量在反向振动部件(12)上和在振动板(13)上出现的加速度并且由此也测量关于抛光盘(2)和关于抛光碗状物(3)的加速度并且由此形成加速度信号，所述加速度信号被反馈给控制部件(4)。3.根据权利要求1或2所述的振动抛光设备，其中，所述抛光介质包括承载材料和抛光...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·克莱，M·赫费尔，
申请(专利权)人：ATM有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE