铂金通道环境系统技术方案

本发明专利技术公开了一种铂金通道环境系统，所述铂金通道环境系统包括铂金通道(9)、热电偶机构、第一腔室(8)以及第二腔室(1)；所述第一腔室(8)以及所述第二腔室(1)配置为其腔室内部的温度均能够被调节；所述铂金通道(9)以及所述热电偶机构的热电偶(19)均设置在所述第一腔室(8)中，所述第一腔室(8)设置在所述第二腔室(1)中。本发明专利技术能够稳定铂金通道周围环境，提高铂金通道环境波动应急处理能力，延长通道的使用寿命，并且还能提高铂金通道温度的稳定性，从而提升玻璃基板的品质。

Platinum Channel Environment System

The invention discloses a platinum channel environment system, which comprises a platinum channel (9), a thermocouple mechanism, a first chamber (8) and a second chamber (1); the temperature of the first chamber (8) and the second chamber (1) arranged inside the chamber can be adjusted; the platinum channel (9) and the thermocouple (19) of the thermocouple mechanism are all arranged in the first chamber (8) and the second chamber (1). In a chamber (8), the first chamber (8) is arranged in the second chamber (1). The invention can stabilize the environment around the platinum channel, improve the emergency handling ability of the environmental fluctuation of the platinum channel, prolong the service life of the channel, and improve the stability of the temperature of the platinum channel, thereby improving the quality of the glass substrate.

【技术实现步骤摘要】
铂金通道环境系统
本专利技术涉及玻璃基板
，具体地涉及一种铂金通道环境系统。
技术介绍
在玻璃基板(例如TFT玻璃基板)的生产过程中，铂金通道工艺稳定至关重要。铂金通道周围环境是否稳定对通道的稳定有直接的关系。从大的方面说，铂金通道的周围的环境稳定性的直接关系到通道能否正常生产，环境的波动很大程度上影响到铂金通道的正常使用和使用寿命，甚至可以给铂金通道带来致命的损害。从小的方面说，铂金通道周围的环境不仅仅关系到通道的工艺稳定性，甚至影响产品品质稳定。由于目前铂金通道关键部位均为温度自动控制，温度真实性和稳定性相当主要。铂金通道热电偶显示精度很高(精确至0.01℃)环境的细微变化均能给热电偶显示温度带来影响。这里所说的而环境变化，包括通道半封闭房间外围环境、通道半封闭房间外围车间环境、通道热电偶参比端接线盒周围环境、热电偶I/O柜周围环境，其中任何一个环境波动都会影响通道温度显示波动。而目前，只能保证铂金通道大范围的稳定，但随着客户品质要求越来越高，生产对流量的稳定性也提出更高的要求，从而对热电偶显示精度和稳定性提出更高的要求。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服现有技术存在的问题，提供一种铂金通道环境系统，能够稳定铂金通道周围环境，提高铂金通道环境波动应急处理能力，延长通道的使用寿命，并且还能提高铂金通道温度的稳定性，从而提升玻璃基板的品质。为了实现上述目的，本专利技术提供一种铂金通道环境系统，所述铂金通道环境系统包括铂金通道、热电偶机构、第一腔室以及第二腔室；所述第一腔室以及所述第二腔室配置为其腔室内部的温度均能够被调节；所述铂金通道以及所述热电偶机构的热电偶均设置在所述第一腔室中，所述第一腔室设置在所述第二腔室中。优选地，所述铂金通道环境系统包括用于调节所述第一腔室的温度的第一空调，所述第一空调通过向所述第一腔室提供气流的第一进风管以及从所述第一腔室排出气流的第一排风管连通于所述第一腔室。优选地，所述铂金通道环境系统包括用于调节所述第二腔室的温度的第二空调，所述第二空调通过向所述第二腔室提供气流的第二进风管以及从所述第二腔室排出气流的第二排风管连通于所述第二腔室。优选地，所述铂金通道环境系统包括用于连通所述第一进风管与所述第二进风管的应急管道。优选地，所述应急管道中设置有用于将气流由所述第二进风管引流至所述第一进风管的单向引风机。优选地，所述应急管道设有阀门。优选地，所述热电偶机构包括I/O柜、补偿导线、接线盒以及保温层，所述热电偶通过所述接线盒以及所述补偿导线连接于所述I/O柜，所述保温层包覆于所述接线盒外。优选地，所述铂金通道环境系统包括能够调节室内温度的第三腔室，所述I/O柜设置在所述第三腔室中。优选地，所述铂金通道环境系统包括用于调节所述第三腔室的温度的第三空调。优选地，所述I/O柜设有用于向所述I/O柜内部提供气流的散热风扇以及用于向所述I/O柜外部排出气流的排风口。通过上述技术方案，首先将第一腔室内调节成适宜的温度，然后再将第二腔室内调节成适宜的温度，由于第一腔室是设置在第二腔室中的，因此只要将第二腔室的温度保持在合适的范围内，就能够减少外部环境对第一腔室内的温度的影响，相当于稳定铂金通道的周围环境，因此也就能够减少对第一腔室中的铂金通道的温度的影响，从而提升玻璃基板的品质。附图说明图1是本专利技术的铂金通道环境系统的优选实施方式的结构示意图；图2是本专利技术的铂金通道环境系统的第一腔室内的结构示意图；图3是本专利技术的铂金通道环境系统的I/O柜的结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。如图1～3所示，本专利技术的铂金通道环境系统包括铂金通道9、热电偶机构、第一腔室8以及第二腔室1；第一腔室8以及第二腔室1配置为其腔室内部的温度均能够被调节；铂金通道9以及热电偶机构的热电偶19均设置在第一腔室8中，第一腔室8设置在第二腔室1中。由于第一腔室8是设置在第二腔室1中的，因此只要将第二腔室1的温度保持在合适的范围内，就能够减少外部环境对第一腔室8内的温度的影响，相当于稳定铂金通道9的周围环境，因此也就能够减少对第一腔室8中的铂金通道9的温度的影响，从而提升玻璃基板的品质。应当理解的是，第一腔室8以及第二腔室1可以设计为多种形式，例如厂房、箱体等，只要能够提供容纳空间即可。在本专利技术中，可以使用多种方式调节第一腔室8的温度，例如在第一腔室8中设置金属加热丝，在本专利技术的优选实施方式中，铂金通道环境系统包括用于调节第一腔室8的温度的第一空调17，第一空调17通过向第一腔室8提供气流的第一进风管6以及从第一腔室8排出气流的第一排风管7连通于第一腔室8。而为了保证温度控制效果，第一腔室8应当设置为半封闭式，也就是说，第一腔室8仅通过第一进风管6和第一排风管7与第一空调17连通，其余部位均为密封结构。通过调节第一空调17，其产生的热风或者冷风通过第一进风管6送入第一腔室8中，能够直接有效地调节第一腔室8内的温度。在本专利技术中，可以使用多种方式调节第二腔室1的温度，例如在第二腔室1中设置加热棒，而在本专利技术的优选实施方式中，铂金通道环境系统包括用于调节第二腔室1的温度的第二空调16，第二空调16通过向第二腔室1提供气流的第二进风管2以及从第二腔室1排出气流的第二排风管3连通于第二腔室1。为了保证温度控制效果，第二腔室1应当设置为半封闭式，也就是说，第二腔室1仅通过第二进风管2和第二排风管3与第二空调16连通，其余部位均为密封结构。通过调节第二空调16，其产生的热风或者冷风通过第二进风管2送入第二腔室1中，能够直接有效地调节第二腔室1内的温度。当用于调节第一腔室8的温度的第一空调17出现故障时，仍然需要维持第一腔室8内的温度处于适宜温度，因此，优选地，铂金通道环境系统包括用于连通第一进风管6与第二进风管2的应急管道21。当第一空调17出现故障时，只需相应地调整第二空调16，使第二空调16产生的热风或者冷风通过应急管道21进入第一进风管6，再进入第一腔室8中，以实现对第一腔室8内的温度进行调节的目的。为使应急管道21中的气流流向仅能够由第二进风管2流向第一进风管6，而不至于使第一腔室8的气流通过第一进风管6流至第二空调16，优选地，应急管道21中设置有用于将气流由第二进风管2引流至第一进风管6的单向引风机5。在第一空调17未出现故障时，需要保证第一进风管6与第二进风管2相对独立地工作，因此，优选地，应急管道21设有阀门4。也就是说，第一空调17未出现故障时，阀门4关闭从而阻断应急管道21，当第一空调17出现故障时，打开阀门4并启动单向引风机5，将第二空调16排出的热风或者冷风通过第二进风管2引流至第一进风管6。具体地，热电偶机构包括I/O柜11、补偿导线12、接线盒18以及保温层20，热电偶19通过接线盒18以及补偿导线12连接于I/O柜11，保温层20包覆于接线盒18外。由于在接线盒18外包覆设有保温层20，因此能够避免接线盒18周围局部风速、风向发生变化以及人员点检走动、靠近而造成接线盒18内的温度变化，进而影响热电偶19的显示温度波动的问题。由于热电偶19通过I/O柜11进行信号的输入与输出，为保证热电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种铂金通道环境系统，其特征在于，所述铂金通道环境系统包括铂金通道(9)、热电偶机构、第一腔室(8)以及第二腔室(1)；所述第一腔室(8)以及所述第二腔室(1)配置为其腔室内部的温度均能够被调节；所述铂金通道(9)以及所述热电偶机构的热电偶(19)均设置在所述第一腔室(8)中，所述第一腔室(8)设置在所述第二腔室(1)中。

【技术特征摘要】
1.一种铂金通道环境系统，其特征在于，所述铂金通道环境系统包括铂金通道(9)、热电偶机构、第一腔室(8)以及第二腔室(1)；所述第一腔室(8)以及所述第二腔室(1)配置为其腔室内部的温度均能够被调节；所述铂金通道(9)以及所述热电偶机构的热电偶(19)均设置在所述第一腔室(8)中，所述第一腔室(8)设置在所述第二腔室(1)中。2.根据权利要求1所述的铂金通道环境系统，其特征在于，所述铂金通道环境系统包括用于调节所述第一腔室(8)的温度的第一空调(17)，所述第一空调(17)通过向所述第一腔室(8)提供气流的第一进风管(6)以及从所述第一腔室(8)排出气流的第一排风管(7)连通于所述第一腔室(8)。3.根据权利要求2所述的铂金通道环境系统，其特征在于，所述铂金通道环境系统包括用于调节所述第二腔室(1)的温度的第二空调(16)，所述第二空调(16)通过向所述第二腔室(1)提供气流的第二进风管(2)以及从所述第二腔室(1)排出气流的第二排风管(3)连通于所述第二腔室(1)。4.根据权利要求3所述的铂金通道环境系统，其特征在于，所述铂金通道环境系统包括用于连通所述第一进风管(6)与所述第二进风管(2)的应急管道(21)...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨世民，李青，杨道辉，马强，何怀胜，李震，石志强，
申请(专利权)人：芜湖东旭光电科技有限公司，东旭光电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34