一种集成的光反馈垂直外腔面发射混沌激光器制造技术

一种集成的光反馈垂直外腔面发射混沌激光器，包括垂直腔面发射激光器结构和集成的反馈腔结构；所述垂直腔面发射激光器结构是由从上到下依次紧密排列的P面电极、P型分布布拉格反射镜、有源区、N型分布布拉格反射镜、N面电极构成，其中，P型分布布拉格反射镜、N型分布布拉格反射镜以及夹在它们之间的有源区构成有源谐振腔，提供激光激射所需增益物质；所述集成的反馈腔是由衬底和介质膜构成；本激光器阈值电流及功耗低，寿命长，结构紧凑，体积小，集成度高，可广泛应用于保密通信、激光雷达、物理随机数产生等领域。

An Integrated Optical Feedback Vertical External Cavity Surface Emission Chaotic Laser

An integrated optical feedback vertical external cavity surface emitting chaotic laser consists of a vertical cavity surface emitting laser structure and an integrated feedback cavity structure. The vertical cavity surface emitting laser structure consists of closely arranged P-plane electrodes, P-type distributed Bragg mirrors, active regions, N-type distributed Bragg mirrors and N-plane electrodes from top to bottom, in which the P-type distributed Bragg inverse is used. The active resonator is composed of a projector, a N-type distributed Bragg mirror and an active region clamped between them to provide the required gain material for laser lasing. The integrated feedback cavity is composed of a substrate and a dielectric film. The laser has low threshold current and power consumption, long lifetime, compact structure, small size and high integration, and can be widely used in secure communications, lidar and physical random numbers. Production and other fields.

【技术实现步骤摘要】
一种集成的光反馈垂直外腔面发射混沌激光器
本专利技术涉及一种垂直外腔面发射混沌激光器，特别是涉及一种用于集成的光反馈垂直外腔面发射混沌激光器。
技术介绍
混沌激光在通信领域有着广泛应用，例如，它常用作保密通信的载波信号，测距雷达或光时域反射仪的探测信号以及密钥发生器的熵源信号等。通过对半导体激光器附加扰动是获取混沌激光的有效方式，典型的扰动方法包括光反馈、光注入以及光电反馈等，例如：太原理工大学王云才课题组，利用DFB激光器外加光学反馈系统实现混沌激光的输出（IEEEPhoton.Technol.Lett.,20(19)：1633~1635，2008）；SimpsonTB等人通过调节两个激光器之间的注入强度和频率失谐实现混沌激光的输出（PhysicsReports，416(1)：1-128，2005.）；LinFY等人利用延迟光电反馈的方式产生了混沌激光（QuantumElectronics，IEEEJournalof，39(4)：562-568，2003.）。但是，目前已经报道的众多方案多是在实验台上利用半导体激光器结合各种外部分立光学元件搭建而成的，体积庞大，易受环境影响、输出不本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成的光反馈垂直外腔面发射混沌激光器，包括垂直腔面发射激光器结构和集成的反馈腔结构；其特征在于：所述垂直腔面发射激光器结构是由从上到下依次紧密排列的P面电极、P型分布布拉格反射镜、有源区、N型分布布拉格反射镜、N面电极构成，其中，P型分布布拉格反射镜、N型分布布拉格反射镜以及夹在它们之间的有源区构成有源谐振腔，提供激光激射所需增益物质；所述集成的反馈腔是由衬底和介质膜构成，所述衬底作为光反馈外腔，通过减薄抛光处理，获得合适的衬底厚度，即反馈腔长；所述介质膜作为光反馈的反射镜，通过选择其反射率来获得反馈强度，用这一集成的反馈腔对激射激光进行光反馈，附加扰动，最终输出混沌激光。

【技术特征摘要】
1.一种集成的光反馈垂直外腔面发射混沌激光器，包括垂直腔面发射激光器结构和集成的反馈腔结构；其特征在于：所述垂直腔面发射激光器结构是由从上到下依次紧密排列的P面电极、P型分布布拉格反射镜、有源区、N型分布布拉格反射镜、N面电极构成，其中，P型分布布拉格反射镜、N型分布布拉格反射镜以及夹在它们之间的有源区构成有源谐振腔，提供激光激射所需增益物质；所述集成的反馈腔是由衬底和介质膜构成，所述衬底作为光反馈外腔，通过减薄抛光处理，获得合适的衬底厚度，即反馈腔长；所述介质膜作为光反馈的反射镜，通过选择其反射率来获得反馈强度，用这一集成的反馈腔对激射激光进行光反馈，附...

【专利技术属性】
技术研发人员：李璞，赵嘉敏，贾志伟，张星，王云才，
申请(专利权)人：太原理工大学，
类型：发明
国别省市：山西,14