TFT基板及具备TFT基板的扫描天线制造技术

本发明专利技术在抑制扫描天线的天线性能的下降的同时使成本降低，并提供一种能够在抑制扫描天线的天线性能的下降的同时使成本降低的TFT基板，TFT基板(101A)具有：电介质基板(1)；多个天线单元区域(U)，它们排列在电介质基板上，各自具有TFT(10)、和与TFT的漏极电极(7D)电连接的贴片电极(15)；以及平坦化层(21)，其在电介质基板上，在比包含贴片电极的层(15l)靠上侧，由树脂形成。

TFT Substrate and Scanning Antenna with TFT Substrate

The invention reduces the cost while restraining the antenna performance of the scanning antenna, and provides a TFT substrate capable of restraining the antenna performance of the scanning antenna and reducing the cost. The TFT substrate (101A) has a dielectric substrate (1) and a plurality of antenna unit areas (U) arranged on the dielectric substrate, each having a TFT (10) and a drain electrode (7D) with a TFT. The electrically connected patch electrode (15) and the flattened layer (21) are formed by resin on the dielectric substrate on the upper side of the layer (15l) containing the patch electrode.

【技术实现步骤摘要】
TFT基板及具备TFT基板的扫描天线
本专利技术涉及扫描天线，特别涉及天线单元(有时也称为“振子天线”。)具有液晶电容的扫描天线(有时也称为“液晶阵列天线”。)、及该扫描天线所使用的TFT基板。
技术介绍
移动体通信、卫星广播用天线需要能改变波束的方向(被称为“波束扫描”或者“波束定向(beamsteering)”。)的功能。作为具有这种功能的天线(以下称为“扫描天线(scannedantenna)”。)，已知具备天线单元的相控阵列天线。但是，现有的相控阵列天线的价格高，这成为向消费品普及的障碍。特别是，当天线单元的数量增加时，成本会显著上升。因此，已提出利用了液晶材料(向列液晶、高分子分散液晶)的大的介电各向异性(双折射率)的扫描天线(专利文献1～5和非专利文献1)。液晶材料的介电常数具有频率分散性，因此在本说明书中，将微波的频带中的介电常数(有时也称为“相对于微波的介电常数”。)特别标记为“介电常数M(εM)”。在专利文献3和非专利文献1中，记载了通过液晶显示装置(以下称为“LCD”。)的技术能得到价格低的扫描天线。本申请人对能够利用现有的LCD的制造技术来进行量产的扫描天线进行开发。由本申请人专利技术的专利文献6公开了能够利用现有的LCD的制造技术来进行量产的扫描天线、用于该扫描天线的TFT基板以及该扫描天线的制造方法及驱动方法。为了进行参考，在本说明书中引用专利文献6的全部公开内容。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-116573号公报专利文献2：日本特开2007-295044号公报专利文献3：日本特表2009-538565号公报专利文献4：日本特表2013-539949号公报专利文献5：国际公开第2015/126550号专利文献6：国际公开第2017/061527号非专利文献非专利文献1：R.A.Stevensonetal.,“RethinkingWirelessCommunications:AdvancedAntennaDesignusingLCDTechnology”，SID2015DIGEST，pp.827-830.非专利文献2：M.ANDOetal.，“ARadialLineSlotAntennafor12GHzSatelliteTVReception”，IEEETransactionsofAntennasandPropagation，Vol.AP-33，No.12，pp.1347-1353(1985).
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题本专利技术者为了不使专利文献6所记载的扫描天线的天线性能下降并使成本降低，研究了各种结构。本专利技术的目的在于能够在抑制天线性能的下降的同时，使扫描天线的成本降低、以及能够提供一种在抑制天线性能的下降的同时使扫描天线的成本降低的TFT基板。解决问题的手段本专利技术的实施方式的TFT基板具有：电介质基板；多个天线单元区域，它们排列在所述电介质基板上，各自具有TFT、和与所述TFT的漏极电极电连接的贴片电极；以及平坦化层，其在所述电介质基板上，在比包含所述贴片电极的层靠上侧，由树脂形成。在某一实施方式中，所述平坦化层的上表面与所述贴片电极的上表面为相同高度或者所述平坦化层的上表面低于所述贴片电极的上表面。在某一实施方式中，所述平坦化层以从所述电介质基板的法线方向观察时，不与所述贴片电极重叠的方式形成。在某一实施方式中，所述贴片电极的厚度为2000nm以下。在某一实施方式中，所述平坦化层的上表面高于所述贴片电极的上表面。在某一实施方式中，从所述电介质基板的法线方向观察时，所述平坦化层在所述多个天线单元区域的每一个中，具有与所述贴片电极的至少一部分重叠的开口部。在某一实施方式中，所述开口部的侧面的锥角为70°以下。在某一实施方式中，所述开口部的平面形状为圆形或者椭圆形。在某一实施方式中，所述平坦化层的上表面的高度与所述贴片电极的上表面的高度之差为500nm以下。本专利技术的实施方式的扫描天线具备：TFT基板，其记载于技术方案1～9中的任一项；缝隙基板，其以与所述TFT基板相对的方式配置；液晶层，其设置在所述TFT基板与所述缝隙基板之间；以及反射导电板，其以与所述缝隙基板的与所述液晶层相反一侧的表面经由电介质层相对的方式配置，所述TFT基板具有第一取向膜，所述第一取向膜与所述平坦化层及所述液晶层接触，所述缝隙基板具有：又一电介质基板；缝隙电极，其形成于所述又一电介质基板的所述液晶层侧的表面；以及第二取向膜，其覆盖所述缝隙电极，并与所述液晶层接触，所述缝隙电极具有多个缝隙，所述多个缝隙分别与所述TFT基板的所述多个天线单元区域的每一个中的所述贴片电极对应配置。。在某一实施方式中，所述平坦化层的上表面的高度与所述贴片电极的上表面的高度之差为所述贴片电极与所述缝隙电极之间的所述液晶层的厚度的23％以下。在某一实施方式中，所述平坦化层以从所述电介质基板的法线方向观察时，与所述贴片电极及所述多个缝隙均不重叠的方式形成。在某一实施方式中，所述TFT基板或者所述缝隙基板中的一个还具有多个柱状间隔物。在某一实施方式中，所述平坦化层以从所述电介质基板的法线方向观察时，不与所述多个柱状间隔物重叠的方式形成。在某一实施方式中，所述平坦化层以从所述电介质基板的法线方向观察时，与所述多个柱状间隔物重叠的方式形成。在某一实施方式中，从所述电介质基板的法线方向观察时，所述TFT基板具有与所述多个柱状间隔物重叠的凸部。在某一实施方式中，所述凸部包含金属层。在某一实施方式中，所述凸部由与所述贴片电极相同的层形成。专利技术效果根据本专利技术的实施方式，能够在抑制扫描天线的天线性能的下降同时使成本降低，以及提供一种能够在抑制扫描天线的天线性能的下降同时使成本降低TFT基板。。附图说明图1是示意性地表示本专利技术的第一实施方式的扫描天线1000A的一部分的截面图。图2的(a)和(b)分别是表示扫描天线1000A所具备的TFT基板101A和缝隙基板201的示意性俯视图。图3的(a)是扫描天线1000A的发送接收区域R1的天线单元区域U的示意性俯视图，(b)和(c)是扫描天线1000A的非发送接收区域R2的示意性俯视图。图4(a)～(e)是TFT基板101A的示意性截面图。图5(a)～(c)是TFT基板101A的示意性截面图，(d)是扫描天线1000A所具备的液晶面板100A的示意性截面图。图6是表示扫描天线1000A所具备的液晶面板100A的结构的截面图。图7的(a)是示意性地表示缝隙基板201的截面图，(b)是用于说明TFT基板101A和缝隙基板201中的传输部的示意性截面图。图8(a)～(g)是用于说明TFT基板101A的制造方法的示意性截面图。图9(a)～(g)是用于说明TFT基板101A的制造方法的示意性截面图。图10(a)～(d)是用于说明TFT基板101A的制造方法的示意性截面图。图11(a)～(d)是用于说明TFT基板101A的制造方法的示意性截面图。图12(a)～(d)是用于说明TFT基板101A的制造方法的示意性截面图。图13(a)～(d)是用于说明TFT基板101A的制造方法的示意性截面图。图14(a)～(c)是用于说明TFT基板101A的制造方法的示意性截面图。图15(a)～(c)是用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种TFT基板，其特征在于，具有：电介质基板；多个天线单元区域，其排列在所述电介质基板上，各自具有TFT、和与所述TFT的漏极电极电连接的贴片电极；以及平坦化层，其在所述电介质基板上，在比包含所述贴片电极的层靠上侧，由树脂形成。

【技术特征摘要】
2017.09.27 JP 2017-1860951.一种TFT基板，其特征在于，具有：电介质基板；多个天线单元区域，其排列在所述电介质基板上，各自具有TFT、和与所述TFT的漏极电极电连接的贴片电极；以及平坦化层，其在所述电介质基板上，在比包含所述贴片电极的层靠上侧，由树脂形成。2.根据权利要求1所述的TFT基板，其特征在于，所述平坦化层的上表面与所述贴片电极的上表面为相同高度、或者所述平坦化层的上表面低于所述贴片电极的上表面。3.根据权利要求1或2所述的TFT基板，其特征在于，所述平坦化层以从所述电介质基板的法线方向观察时，不与所述贴片电极重叠的方式形成。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的TFT基板，其特征在于，所述贴片电极的厚度为2000nm以下。5.根据权利要求1所述的TFT基板，其特征在于，所述平坦化层的上表面高于所述贴片电极的上表面。6.根据权利要求1或5所述的TFT基板，其特征在于，从所述电介质基板的法线方向观察时，所述平坦化层在所述多个天线单元区域的每一个中，具有与所述贴片电极的至少一部分重叠的开口部。7.根据权利要求6所述的TFT基板，其特征在于，所述开口部的侧面的锥角为70°以下。8.根据权利要求6或7所述的TFT基板，其特征在于，所述开口部的平面形状为圆形或者椭圆形。9.根据权利要求1～8中的任一项所述的TFT基板，其特征在于，所述平坦化层的上表面的高度与所述贴片电极的上表面的高度之差为500nm以下。10.一种扫描天线，其特征在于，具备：TFT基板，其记载于权利要求1～9中的任一项；缝隙基板，其以与所述TFT基板相对的方式配置；液晶层，其设置在所述TFT基板与所述缝隙基...

【专利技术属性】
技术研发人员：美崎克纪，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP