一种带CCD定位相机镜头的晶圆翻转取料绑定装置制造方法及图纸

一种带CCD定位相机镜头的晶圆翻转取料绑定装置，包括支架、两Y向驱动模组、两绑定头、两翻转头、两CCD定位相机镜头，两Y向驱动模组平行设于支架上，且一Y向驱动模组与一绑定头驱动连接，两绑定头分别设有X向驱动模组；两翻转头分别设于Y向驱动模组的两端，两CCD定位相机镜头分别设于Y向驱动模组的两端，且CCD定位相机镜头位于翻转头的下方，翻转头由翻转驱动电机驱动向绑定头一侧翻动，且翻转头翻转后，翻转头中心与CCD定位相机镜头中心处于同心。绑定头取片后，即可由CCD定位相机镜头对绑定头上的晶圆进行位置识别，提供了加工效率；为两个绑定头分别设置了X向驱动模组，实现了两个绑定头同时吸取晶圆后同时纠正位置，以及同时贴片的功能。

A Wafer Reversal Binding Device with CCD Positioning Camera Lens

A wafer flipping and fetching binder with a CCD positioning camera lens includes a bracket, two Y-direction driving modules, two binding heads, two Y-direction driving modules and two CCD positioning camera lenses. The two Y-direction driving modules are parallel to the bracket, and one Y-direction driving module is connected with a binding head, and the two binding heads are respectively provided with X-direction driving modules; the two flipping heads are respectively arranged at two ends of the Y-direction driving module. Two CCD positioning camera lenses are located at both ends of the Y-direction driving module, and the CCD positioning camera lens is located below the flip head. The flip head is driven by the flip driving motor and flipped to the side of the binding head. After the flip head is flipped, the center of the flip head and the center of the CCD positioning camera lens are concentric. After the binding head is taken out, the position of the wafer on the binding head can be identified by the CCD positioning camera lens, which provides processing efficiency; X-direction driving module is set for the two binding heads respectively, realizing the function of two binding heads to absorb the wafer at the same time to correct the position, as well as to patch the wafer at the same time.

【技术实现步骤摘要】
一种带CCD定位相机镜头的晶圆翻转取料绑定装置
本技术涉及晶圆激光打标机领域，尤指一种带CCD定位相机镜头的晶圆翻转取料绑定装置。
技术介绍
目前，在自动晶圆激光打标机中，一般通过晶圆翻转头对晶圆进行翻面，然后通过晶圆绑定头吸取晶圆，吸料完成后，通过CCD相机读取晶圆绑定头上晶圆的位置信息，晶圆绑定头再依靠信息通过移动机构对晶圆的位置进行纠正，以便准确贴片。而用于移动晶圆绑定头的机构，主要包括水平面内相互垂直的Y向移动机构和X向移动机构，以及θ角旋转机构，三者配合以实现绑定头在水平面内平移和旋转，直至晶圆位置正确。现有的加工设备中，两个绑定头是共用一个X向运动机构来工作的，因此，两个绑定头上吸取的晶圆只能先后纠正位置和先后贴片，无法同时进行贴片，使得生产效率较为低下，无法满足大批量生产加工的需要。此外，CCD相机一般安装在晶圆翻转头旁边，晶圆绑定头取片后要移动到CCD相机镜头的中心，CCD相机方能读取晶圆绑定头上晶圆的位置，这无疑增加了操作的复杂度，降低了生产效率。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供一种使用方便、提高工率、易于改装的带CCD定位相机镜头的晶圆翻转取料绑定装置。为实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带CCD定位相机镜头的晶圆翻转取料绑定装置，其特征在于：包括支架、两Y向驱动模组、两绑定头、两翻转头、两CCD定位相机镜头，所述两Y向驱动模组平行设于支架上，且一Y向驱动模组与一绑定头驱动连接，两绑定头分别设有X向驱动模组，所述X向驱动模组包括基座、X向驱动电机、X向驱动丝杆、X向丝杆螺母、X向移动板、X向滑轨、X向滑块，所述Y向驱动模组与基座驱动连接，所述X向驱动电机固设于基座上，所述X向驱动丝杆垂直于Y向驱动模组水平设置，且X向驱动电机的输出端与X向驱动丝杆驱动连接，所述X向丝杆螺母套接在X向驱动丝杆表面并与X向移动板固定连接，所述绑定头设于X向移动板上，所述X向滑轨平行于X向驱动...

【技术特征摘要】
1.一种带CCD定位相机镜头的晶圆翻转取料绑定装置，其特征在于：包括支架、两Y向驱动模组、两绑定头、两翻转头、两CCD定位相机镜头，所述两Y向驱动模组平行设于支架上，且一Y向驱动模组与一绑定头驱动连接，两绑定头分别设有X向驱动模组，所述X向驱动模组包括基座、X向驱动电机、X向驱动丝杆、X向丝杆螺母、X向移动板、X向滑轨、X向滑块，所述Y向驱动模组与基座驱动连接，所述X向驱动电机固设于基座上，所述X向驱动丝杆垂直于Y向驱动模组水平设置，且X向驱动电机的输出端与X向驱动丝杆驱动连接，所述X向丝杆螺母套接在X向驱动丝杆表面并与X向移动板固定连接，所述绑定头设于X向移动板上，所述X向滑轨平行于X向驱动丝杆设于基座上，所述X向滑块套接在X向滑轨表面并与X向移动板固定连接；所述两翻转头分别设于Y向驱动模组的两端，所述两CCD定位相机镜头分别设于Y向驱动模组的两端，且CCD定位相机镜头位于翻转头的下方，所述翻转头由翻转驱动电机驱动向绑定头一侧翻动，且翻转头翻转后，翻转头中心与CCD定位相机镜头中心处于同心。2.根据权利要求1所述的一种带CCD定位相机镜头的晶圆翻转取料绑定装置，其特征在于：还包括Z向驱动模组，所述Z向驱动模组包括Z向驱动电机、连接块、Z向滑轨、Z向滑块，所述Z向驱动电机固设于X向移动板上...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢亮春，
申请(专利权)人：深圳市新晶路电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44