激光装置制造方法及图纸

根据本发明专利技术的实施例的激光装置包括：激光发生器，产生激光束；平台，定义有安置对象基板的基板安置区域；以及下部吸入部，布置于所述平台下部，并吸入外部空气，其中，在所述平台定义有与所述下部吸入部连接的下部吸入孔及至少一个流入槽，在平面上，所述下部吸入孔具有与所述基板安置区域全面重叠的框架形状，在平面上，所述流入槽的一部分与所述基板安置区域的边缘位置重叠而与所述下部吸入孔连接，所述流入槽的其余一部分与所述基板安置区域不重叠并吸入所述外部空气。

Laser device

\u6839\u636e\u672c\u53d1\u660e\u7684\u5b9e\u65bd\u4f8b\u7684\u6fc0\u5149\u88c5\u7f6e\u5305\u62ec\uff1a\u6fc0\u5149\u53d1\u751f\u5668\uff0c\u4ea7\u751f\u6fc0\u5149\u675f\uff1b\u5e73\u53f0\uff0c\u5b9a\u4e49\u6709\u5b89\u7f6e\u5bf9\u8c61\u57fa\u677f\u7684\u57fa\u677f\u5b89\u7f6e\u533a\u57df\uff1b\u4ee5\u53ca\u4e0b\u90e8\u5438\u5165\u90e8\uff0c\u5e03\u7f6e\u4e8e\u6240\u8ff0\u5e73\u53f0\u4e0b\u90e8\uff0c\u5e76\u5438\u5165\u5916\u90e8\u7a7a\u6c14\uff0c\u5176\u4e2d\uff0c\u5728\u6240\u8ff0\u5e73\u53f0\u5b9a\u4e49\u6709\u4e0e\u6240\u8ff0\u4e0b\u90e8\u5438\u5165\u90e8\u8fde\u63a5\u7684\u4e0b\u90e8\u5438\u5165\u5b54\u53ca\u81f3\u5c11\u4e00\u4e2a\u6d41\u5165\u69fd\uff0c\u5728\u5e73\u9762\u4e0a\uff0c The lower suction hole has a frame shape that completely overlaps the base plate placement area. On the plane, a part of the inflow groove overlaps the edge position of the base plate placement area and is connected with the lower suction hole. The remaining part of the inflow groove does not overlap with the base plate placement area and inhales the external air.

【技术实现步骤摘要】
激光装置
本专利技术涉及一种激光装置，尤其涉及一种可靠性得到提高的激光装置。
技术介绍
激光装置将从激光光源射出的激光束利用光学系统照射到对象物，并可以利用激光束的照射执行针对对象物的标记(marking)、曝光(exposure)、蚀刻(etching)、穿孔(punching)、划线(scribing)、划切(dicing)等加工作业。在进行划切工序的情况下，即，切割对象物的情况下，从对象物可能产生微细粉尘(Fume)等异物。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可靠性得到提高的激光装置。根据本专利技术的实施例的激光装置包括：激光发生器，产生激光束；平台，定义有安置对象基板的基板安置区域；以及下部吸入部，布置于所述平台下部，并吸入外部空气，其中，在所述平台定义有与所述下部吸入部连接的下部吸入孔及至少一个流入槽，在平面上，所述下部吸入孔具有与所述基板安置区域全面重叠的框架形状，在平面上，所述流入槽的一部分与所述基板安置区域的边缘位置重叠而与所述下部吸入孔连接，所述流入槽的其余一部分与所述基板安置区域不重叠并吸入所述外部空气。所述平台包括：中央支撑部，与所述基板安置区域全面重叠；以及周边支撑部，具有包围所述中央支撑部的框架形状，所述下部吸入孔定义于所述中央支撑部与所述周边支撑部之间，所述流入槽定义于与所述下部吸入孔相邻的所述周边支撑部。所述流入槽从所述周边支撑部的上表面向下部方向倾斜地形成，并与所述下部吸入孔连接。在与所述基板安置区域重叠的所述周边支撑部定义有至少一个周边固定孔，所述周边固定孔与所述下部吸入部连接。所述流入槽及所述周边固定孔分别被提供多个，所述流入槽及所述周边固定孔沿着所述基板安置区域的边缘位置而交替布置。在所述中央支撑部定义至少一个中央固定孔，所述中央固定孔与所述下部吸入部连接。所述中央支撑部的上表面及所述周边支撑部的上表面布置在相同的平面上。在所述周边支撑部的内侧定义有安置槽，所述安置槽与所述基板安置区域重叠。所述中央支撑部的上表面以低于所述周边支撑部的上表面的方式布置，所述安置槽的上表面布置在与所述中央支撑部的上表面相同的平面上。所述中央支撑部包括多个子支撑部，在所述多个子支撑部之间定义有与所述下部吸入部连接的内部吸入管线。所述子支撑部彼此相隔地布置。所述子支撑部中的至少一个子支撑部包括：排出管，布置于所述子支撑部的内部，并向所述内部吸入管线供应空气；排出口，连接所述子支撑部的内侧面和所述排出管，并将从所述排出管提供的空气传递至所述内部吸入管线。还包括布置于所述平台的上部的上部吸入部。所述吸入部包括沿着垂直于所述平面的方向延伸的至少一个吸入管。所述上部吸入部包括以与所述平面平行的方式延伸的至少一个吸入管。所述上部吸入部还包括：引导框架，具有包围所述平台的边缘位置的多个侧壁，在所述侧壁中的至少一个定义有侧部吸入孔，在所述侧部吸入孔连接有所述吸入管。所述引导框架包括：外部框架，连接有所述吸入管，且下端与所述平台的上表面接触；内部框架，从所述外部框架的上部延伸而向下部弯曲，所述内部框架的下端与平台的上表面相隔。还包括：平台移动部，与所述平台连接而使所述平台移动。根据本专利技术的实施例的激光装置包括：激光发生器，产生激光束；平台，定义有安置对象基板的基板安置区域；以及下部吸入部，布置于所述平台下部而吸入外部空气，其中，在所述平台的内侧定义有与所述下部吸入部连接的吸入空间，在平面上，所述吸入空间具有框架形状，所述吸入空间的内侧边缘与所述基板安置区域重叠，所述吸入空间的外侧边缘具有一部分向所述外侧突出的形状，所述外侧边缘的所述一部分与所述基板安置区域不重叠。根据本专利技术的实施例的激光装置包括：激光发生器，产生激光束；平台，定义有安置对象基板的基板安置区域；以及下部吸入部，布置于所述平台下部，所述平台包括：中央支撑部，与所述基板安置区域全面重叠；及周边支撑部，具有包围所述中央支撑部的框架形状，并与所述中央支撑部相隔而布置，由所述中央支撑部及所述周边支撑部之间的相隔的空间定义的下部吸入孔与所述下部吸入部连接，在所述周边支撑部的内侧定义有从所述周边支撑部的上表面向下部倾斜地形成而与所述下部吸入孔连接的多个流入槽，所述流入槽分别与所述基板安置区域部分重叠。根据本专利技术的实施例，可以提高激光装置的可靠性。附图说明图1是示意性地示出根据本专利技术的实施例的激光装置的模式图。图2是图示于图1的激光装置的立体图。图3是根据本专利技术的实施例的平台的平面图。图4是示出安置有根据本专利技术的实施例的对象基板的平台的形状的图。图5是图示于图3及图4的I-I’线的剖面图。图6是图示于图3及图4的Ⅱ-Ⅱ’线的剖面图。图7是根据本专利技术的另一实施例的平台的平面图。图8是图示于图7的平台的剖面图。图9是根据本专利技术的另一实施的平台的立体图。图10是图示于图9的I-I”线的剖面图。图11是图示于图9的Ⅱ-Ⅱ”线的剖面图。图12是根据本专利技术的另一实施例的平台的立体图。图13是图示于图12的平台的平面图。图14是图示于图12的平台的剖面图。图15是根据本专利技术的另一实施例的激光装置的剖面图。图16是根据本专利技术的另一实施例的激光装置的立体图。图17是图示于图16的激光装置的剖面图。图18是根据本专利技术的另一实施例的激光装置的立体图。图19是图示于图18的激光装置的剖面图。符号说明1000：激光装置100：激光发生部200：平台300：下部吸入部400：平台移动部M：方向转换部件LSR：激光束LNS：光学系统SUB：对象基板CL：切割线SLA：基板安置区域210：中央支撑部220：周边支撑部LSH：下部吸入孔IG：流入槽EFH：周边固定孔CFH：中央固定孔SG：安置槽STB：子支撑部ISL：内部吸入管线EXT：排出口AP：排出管400：上部吸入部USH：上部吸入孔FM：引导框架IFM：内部框架OFM：外部框架SSH：侧部吸入孔SCP：吸入管具体实施方式若参照附图以及详细地描述的实施例，则本专利技术的优点、特征以及实现此的方法将会变得明确。然而，本专利技术并不局限于以下公开的实施例，其可以体现为彼此不同的多样的形态，只不过本实施例是为了使本专利技术的公开变得完整，并对在本专利技术所属的
中具有通常的知识的人员完整地告知本专利技术的范围而提供的，本专利技术仅仅由权利要求记载的范围来得到定义。在说明书全文中，相同的附图符号表示相同的构成要素。当描述为元件(elements)或层位于另一元件或层的“上面(on)”或“上方(on)”时，其不仅包括位于另一元件或层的紧邻上面的情形，还包括中间夹设有其他层或其他元件的情形。相反，当描述为元件位于另一部分的“直接上面(directlyon)”或“紧邻上面”时表示中间没有夹设其他元件或层。“和/或”表示包括提及的事项的各自以及一个以上的所有组合。“下面(below)”、“在……之下(beneath)”、“下部(lower)”、“在……之上(above)”、“上部(upper)”等空间上的相对术语如图所示地可以为了方便地描述一个元件或构成要素与另一元件或构成要素之间的相关关系而使用。空间上的相对的术语除了图中所示的方向之外，在使用或操作时还应当被理解为包括元件的彼此不同的方向的术语。在整个说明书中，相同的附图符号表示相同的构成要素。虽然第一、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光装置，包括：激光发生器，产生激光束；平台，定义有安置对象基板的基板安置区域；以及下部吸入部，布置于所述平台下部，并吸入外部空气，其中，在所述平台定义有与所述下部吸入部连接的下部吸入孔及至少一个流入槽，在平面上，所述下部吸入孔具有与所述基板安置区域全面重叠的框架形状，在平面上，所述流入槽的一部分与所述基板安置区域的边缘位置重叠而与所述下部吸入孔连接，所述流入槽的其余一部分与所述基板安置区域不重叠并吸入所述外部空气。

【技术特征摘要】
2017.10.17 KR 10-2017-01347971.一种激光装置，包括：激光发生器，产生激光束；平台，定义有安置对象基板的基板安置区域；以及下部吸入部，布置于所述平台下部，并吸入外部空气，其中，在所述平台定义有与所述下部吸入部连接的下部吸入孔及至少一个流入槽，在平面上，所述下部吸入孔具有与所述基板安置区域全面重叠的框架形状，在平面上，所述流入槽的一部分与所述基板安置区域的边缘位置重叠而与所述下部吸入孔连接，所述流入槽的其余一部分与所述基板安置区域不重叠并吸入所述外部空气。2.如权利要求1所述的激光装置，其中，所述平台包括：中央支撑部，与所述基板安置区域全面重叠；以及周边支撑部，具有包围所述中央支撑部的框架形状，所述下部吸入孔定义于所述中央支撑部与所述周边支撑部之间，所述流入槽定义于与所述下部吸入孔相邻的所述周边支撑部。3.如权利要求2所述的激光装置，其中，所述流入槽从所述周边支撑部的上表面向下部方向倾斜地形成，并与所述下部吸入孔连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：李正浩，朴宰范，洪京浩，姜志勋，权度均，林钟熙，韩圭完，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR