分析装置、多重反射池和分析方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供分析装置、多重反射池和分析方法，能简化多重反射池的结构，并且能测定高浓度的测定对象成分和低浓度的测定对象成分双方。所述分析装置(100)向导入了试样的多重反射池(20)照射光，检测从所述多重反射池(20)射出的光，分析试样中所含的测定对象成分，所述分析装置(100)包括：向多重反射池(20)射入第一光(L1)的第一光照射部(10A)；向多重反射池(20)射入入射光路与第一光(L1)不同的第二光(L2)的第二光照射部(10B)，多重反射池(20)具有反射第一光(L1)和第二光(L2)的一对反射镜(22)、(23)。

Analytical Device, Multiple Reflector Cell and Analytical Method

The present invention provides an analysis device, a multiple reflecting cell and an analysis method, which can simplify the structure of the multiple reflecting cell, and can determine both high concentration and low concentration components of the determination object. The analyzer (100) guides the light emitted from the multi-reflector cell (20) of the sample, detects the light emitted from the multi-reflector cell (20), and analyses the composition of the measured object in the sample. The analyzer (100) includes: the first light irradiation part (10A) which emits the first light (L1) to the multi-reflector cell (20), and the second light (L2) which emits the incident light path different from the first light (L1) to the multi-reflector cell (20). The second illumination section (10B), the multiple reflecting cell (20) has a pair of mirrors (22) and (23) reflecting the first light (L1) and the second light (L2).

【技术实现步骤摘要】
分析装置、多重反射池和分析方法
本专利技术涉及使用多重反射池的分析装置。
技术介绍
以往，作为分析试样所含的测定对象成分的分析装置，存在使用怀特池和赫里奥特池等多重反射池的装置。通过使用所述多重反射池，可以加长光路长度而不会使池大型化。其结果，能够增大低浓度的测定对象成分等的检测信号，从而能够提高测定精度。在此，如专利文献1所示，在使用像散镜(astigmaticmirror)的赫里奥特池中，考虑在多重反射池的池主体上设置长光路用的反射镜对和短光路用的反射镜对。通过这样地在一个多重反射池中实现长光路和短光路，实现了扩大动态范围。可是，需要长光路用的反射镜对和短光路用的反射镜对，不仅多重反射池的结构变得复杂，也增加了多重反射池的内容积。现有技术文献专利文献1：国际公开第2011/114096号
技术实现思路
本专利技术是用于解决所述的问题点而做出的专利技术，本专利技术的主要目的是提供分析装置，其能够简化多重反射池的结构，并且能够测定高浓度的测定对象成分和低浓度的测定对象成分双方。即，本专利技术提供一种分析装置，其向导入了试样的多重反射池照射光，检测从所述多重反射池射出的光，分析所述试样中所含的测定对象成分，所述分析装置包括：第一光照射部，使第一光射入所述多重反射池；以及第二光照射部，使入射光路与所述第一光不同的第二光射入所述多重反射池，所述多重反射池具有反射所述第一光和所述第二光的一对反射镜。按照本专利技术，由于具有反射入射光路彼此不同的第一光和第二光的一对反射镜，所以能够使所述一对反射镜反射第一光的反射次数与反射第二光的反射次数彼此不同。由此，能够简化多重反射池的结构，并且能够测定高浓度的测定对象成分和低浓度的测定对象成分双方。此外，因为能够简化多重反射池的结构，所以能够减小多重反射池的内容积、加快试样的置换速度，从而能够提高响应性。此外，由于具有第一光照射部和第二光照射部，所以能使第一光和第二光同时射入多重反射池。由此，能够同时测定高浓度的测定对象成分和低浓度的测定对象成分。此外，通过使第一光的波长范围和第二光的波长范围彼此不同，能够同时测定多个测定对象成分。为了通过将光照射部和光检测器等光学系统设置在多重反射池的一侧，使装置的配置简单化，优选的是，所述多重反射池从所述一对反射镜的一方侧导入所述第一光和所述第二光，并且从所述一方侧导出所述第一光和所述第二光。在此，优选的是，在所述一对反射镜的至少一方上形成有所述第一光的入口和出口以及所述第二光的入口和出口。按照该结构，在收容一对反射镜的池主体上，无需在反射镜的主视观察时的所述反射镜的外侧设置入口和出口，可以使多重反射池小型化。在该情况下，为了防止另一方的光从一方的光的入口和出口意外地射出，优选的是，所述第一光的入口和出口的形成位置位于与所述一对反射镜的所述第二光的反射位置不同的位置，所述第二光的入口和出口的形成位置位于与所述一对反射镜的所述第一光的反射位置不同的位置。优选的是，仅在所述一对反射镜的一方上形成有所述第一光的入口和出口以及所述第二光的入口和出口。按照该结构，可以简化另一方的反射镜的结构。此外，优选的是，多重反射池具备池主体，所述池主体收容所述一对反射镜，并且具有导入所述试样的导入口和导出所述试样的导出口，在该情况下，由于在所述池主体上只要在一侧设置导入或导出第一光和第二光的光学窗部件即可，所以能简化池主体的结构。在此，为了进一步简化池主体的结构，优选的是，池主体具有射入和射出所述第一光和所述第二光的一个光学窗部件。为了扩大从低浓度到高浓度的测定范围，优选的是，所述第一光被所述一对反射镜多重反射后射出，所述第二光被所述一对反射镜以少于所述第一光的反射次数的反射次数多重反射、或被所述一对反射镜之一单反射后射出。此外，本专利技术还提供一种多重反射池，其导入试样并且将光多重反射后射出，所述多重反射池具有反射入射光路彼此不同的第一光和第二光的一对反射镜，所述一对反射镜通过反射所述第一光形成长光路长度，并且通过反射所述第二光形成短光路长度。此外，本专利技术还提供一种分析方法，其向导入了试样的多重反射池照射光，检测从所述多重反射池射出的光，分析所述试样中所含的测定对象成分，通过使入射光路彼此不同的第一光和第二光射入所述多重反射池并被所述多重反射池内的一对反射镜反射，由所述第一光形成长光路长度，并且由所述第二光形成短光路长度。按照如上所述的本专利技术，能够简化多重反射池的结构，并且能够测定高浓度的测定对象成分和低浓度的测定对象成分双方。附图说明图1是本专利技术的一个实施方式的分析装置的整体示意图。图2是表示同实施方式的多重反射池的结构的剖视图。图3是表示同实施方式的一方的反射镜的反射位置与入口和出口的位置关系的主视图。图4是同实施方式的信息处理装置的功能框图。图5是表示同实施方式的激光振荡波长的调制方法的示意图。图6是表示同实施方式的驱动电流(电压)和调制信号的图。图7是表示变形实施方式的一方的反射镜的反射位置与入口和出口的位置关系的主视图。图8是表示变形实施方式的分析装置的主要部分的示意图。附图标记说明100分析装置10A第一光照射部L1第一光10B第二光照射部L2第二光20多重反射池21池主体22一方的反射镜23另一方的反射镜X1第一光的入口X2第一光的出口X3第二光的入口X4第二光的出口P1导入口P2导出口211光学窗部件30A第一光检测器30B第二光检测器具体实施方式以下，参照附图说明本专利技术一个实施方式的分析装置100。本实施方式的分析装置100是测定例如来自内燃机的排气等试样气体中所含的测定对象成分(在此例如是CO，CO2，N2O，NO，NO2，H2O，SO2，CH4，NH3等)的浓度的浓度测定装置，具体地说，如图1所示，分析装置100包括：光照射部10；多重反射池20，导入试样气体并对来自光照射部10的光进行多重反射；光检测部30，检测从多重反射池20射出的光；以及信息处理装置40，根据由光检测部30检测到的光强度信号，分析试样气体所含的测定对象成分。光照射部10包括：第一光照射部10A，使第一光L1射入多重反射池20；以及第二光照射部10B，使入射光路与第一光L1不同的第二光L2射入多重反射池20。另外，入射光路不同除了包含向多重反射池20射入的入射角度不同以外，还包含向多重反射池20射入的入射角度相同而光路彼此分开的情况。本实施方式的第一光照射部10A和第二光照射部10B都以共通的半导体激光器11作为光源。具体地说，第一光照射部10A和第二光照射部10B包括共通的半导体激光器11以及将从所述半导体激光器11射出的激光分成两个光的共通的分束器12，由分束器12分成的一方的光成为第一光L1，由分束器12分成的另一方的光成为第二光L2。此外，第二光照射部10B还包括将分成的另一方的光导向多重反射池20的反射镜等光学元件13。这样，通过使用共通的半导体激光器11，第一光照射部10A和第二光照射部10B将第一光L1和第二光L2同时射入多重反射池20。另外，第一光照射部10A和第二光照射部10B也可以无需将半导体激光器共通化，而是分别具有一个半导体激光器。在该情况下，不需要分束器12。此外，如果由分束器12分成的激光的一方直接射入多重反射池20，则第一光照射部10A就不需要反射镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分析装置，其向导入了试样的多重反射池照射光，检测从所述多重反射池射出的光，分析所述试样中所含的测定对象成分，所述分析装置的特征在于，所述分析装置包括：第一光照射部，使第一光射入所述多重反射池；以及第二光照射部，使入射光路与所述第一光不同的第二光射入所述多重反射池，所述多重反射池具有反射所述第一光和所述第二光的一对反射镜。

【技术特征摘要】
2017.10.16 JP 2017-2006331.一种分析装置，其向导入了试样的多重反射池照射光，检测从所述多重反射池射出的光，分析所述试样中所含的测定对象成分，所述分析装置的特征在于，所述分析装置包括：第一光照射部，使第一光射入所述多重反射池；以及第二光照射部，使入射光路与所述第一光不同的第二光射入所述多重反射池，所述多重反射池具有反射所述第一光和所述第二光的一对反射镜。2.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，所述多重反射池从所述一对反射镜的一方侧导入所述第一光和所述第二光，并且从所述一方侧导出所述第一光和所述第二光。3.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，仅在所述一对反射镜的一方上形成有所述第一光的入口和出口以及所述第二光的入口和出口。4.根据权利要求3所述的分析装置，其特征在于，所述第一光的入口和出口的形成位置位于与所述一对反射镜的所述第二光的反射位置不同的位置，所述第二光的入口和出口的形成位置位于与所述一对反射镜的所述第一光的反射位置不同的位置。5.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，所述多重反射池具备池主体，所述池主体收容所述一对反射镜，并且具有导入所述试样的导入口和导出所述试样的导出口，所述池主体具有所述第一光和所述第二光射入和射出的一个光学窗部件。6.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，所述第一光被所述一对反射镜多重反射后射出，所述第二光被所述一对反射镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：涩谷享司，
申请(专利权)人：株式会社堀场制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP