一种MEMS集成气压传感器双路输出的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种MEMS集成气压传感器双路输出的装置，电容数字转换模块与MEMS敏感元件连接，将电容信号直接转化为数字信号传送给主控模块，所述的主控模块根据敏感元件电容与气压的关系将电容值转换为气压值，封装成帧后通过串口模块输出，所述的DA转换模块与主控模块之间通信，通过MCU将标定后的气压值线性地转换为电压输出。与现有技术相比优点及有益效果是：能够一次测量三路微小电容；经MCU处理后，模拟输出和数字输出都直接与气压相关，无需再进行二次处理；有模拟和数字两种类型的输出，更具有适用性，可应用于多种场合。

A Double Output Device for Integrated Pressure Sensor Based on MEMS

The invention discloses a device for dual output of integrated pressure sensor based on MEMS. The capacitance digital conversion module is connected with the sensitive element of MEMS, and the capacitance signal is directly converted into digital signal and transmitted to the main control module. The main control module converts the capacitance value into the air pressure value according to the relationship between the capacitance and the pressure of the sensitive element, and outputs the capacitance value through the serial module after encapsulation into a frame. Communication between the block and the main control module, the calibrated air pressure value is linearly converted to voltage output through MCU. Compared with the existing technology, the advantages and beneficial effects are as follows: three micro capacitors can be measured at one time; after MCU treatment, both analog output and digital output are directly related to air pressure, without secondary processing; there are two types of output, analog and digital, which have more applicability and can be applied in many occasions.

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS集成气压传感器双路输出的装置
本专利技术属于集成的硅电容式MEMS压力传感器输出电容测量的
，尤其涉及一种集成的硅电容式MEMS压力传感器模拟和数字双路输出的装置，该方法应用于集成压力传感器对压力环境的测量。
技术介绍
MEMS集成气压传感器集成了两种不同测量范围的绝压式和一种差压式共三种变极距式压力传感器。由于硅电容式MEMS压力传感器体积很小，输出的电容变化量非常微小，而且存在较大的寄生电容。因此需要在寄生电容相对较大的情况下检测极其微小的电容变化量，这种特殊的检测需求对高精度电容读出电路的设计提出很高的要求。目前常见的微小电容检测方法有谐振电路、振荡电路、交流电桥电路、开关电容检测电路及充放电检测电路等专用电容检测集成电路，上述检测方法的共同优点是设计灵活性高，可根据传感器测量要求选择适用的电路；缺点是电路设计相对复杂，寄生电容较大且只能测量单路电容。通用电容检测集成电路也被广泛应用，如PCAP02、AD7746等电容数字转换芯片以及CAV444、CAV424等电容电压转换芯片，相对于专用电容检测集成电路，通用型集成电路外围电路简单，体积更小，杂散电容相对较小本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS集成气压传感器双路输出的装置，其特征在于，包括MEMS敏感元件、电容数字转换模块、DA转换模块、串口模块以及主控模块；MEMS敏感元件与电容数字转换模块连接，主控模块分别与DA转换模块、电容数字转换模块和串口模块连接；所述的电容数字转换模块与MEMS敏感元件连接，将电容信号直接转化为数字信号传送给主控模块，所述的主控模块根据敏感元件电容与气压的关系将电容值转换为气压值，封装成帧后通过串口模块输出，所述的DA转换模块与主控模块之间通信，通过MCU将标定后的气压值线性地转换为电压输出。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS集成气压传感器双路输出的装置，其特征在于，包括MEMS敏感元件、电容数字转换模块、DA转换模块、串口模块以及主控模块；MEMS敏感元件与电容数字转换模块连接，主控模块分别与DA转换模块、电容数字转换模块和串口模块连接；所述的电容数字转换模块与MEMS敏感元件连接，将电容信号直接转化为数字信号传送给主控模块，所述的主控模块根据敏感元件电容与气压的关系将电容值转换为气压值，封装成帧后通过串口模块输出，所述的DA转换模块与主控模块之间通信，通过MCU将标定后的气压值线性地转换为电压输出。2.根据权利要求1所述的一种MEMS集成气压传感器双路输出的装置，其特征在于，所述的电容数字转换...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝秀春，陈忠位，李宇翔，蒋纬涵，
申请(专利权)人：江苏大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32