激光振荡器制造技术

提供一种相比于现有技术能够进行用于在保持经济性的同时使发光元件保持更长的寿命的结露应对的激光振荡器。激光振荡器具备：激光产生部；热交换器；冷却水旁通回路；冷却水回路，与激光产生部、热交换器及冷却水旁通回路连接；壳体，收纳激光产生部、热交换器、冷却水旁通回路和冷却水回路；冷却水循环部，利用冷却水回路使冷却水循环到激光产生部、热交换器和冷却水旁通回路；第一阀，调整向激光产生部供给的冷却水的流量；第二阀，调整向热交换器供给的冷却水的流量；第三阀，调整向冷却水旁通回路供给的冷却水的流量；露点测定部，测定壳体内部的露点；水温测定部，测定冷却水的水温；控制部，基于露点和水温来控制第一阀、第二阀和第三阀。

Laser oscillator

A laser oscillator capable of conducting dew coping for a longer lifetime of the light emitting element while maintaining economy compared with the existing technology is provided. Laser oscillator includes: laser generator; heat exchanger; cooling water bypass circuit; cooling water loop, which is connected with laser generator, heat exchanger and cooling water bypass circuit; shell, which contains laser generator, heat exchanger, cooling water bypass circuit and cooling water loop; cooling water circulation section, which uses cooling water loop to circulate cooling water to laser generator and heat exchanger. And cooling water bypass circuit; first valve, adjust the flow rate of cooling water supplied to the laser generator; second valve, adjust the flow rate of cooling water supplied to the heat exchanger; third valve, adjust the flow rate of cooling water supplied to the cooling water bypass circuit; dew point measuring section, determine the dew point inside the shell; water temperature measuring section, determine the water temperature of cooling water; control section, based on dew point and dew point. Water temperature controls the first, second and third valves.

【技术实现步骤摘要】
激光振荡器
本专利技术涉及一种激光振荡器。
技术介绍
近年，在产业用中使用的数百瓦特以上的固体激光振荡器中，由于发光元件、光学部件的改良带来的振荡效率的提高使得装置的小型化得到进展，并且由于发光元件的长寿命化和低价格化，代替以往的二氧化碳激光振荡器，而特别是固体激光振荡器在激光加工领域中得到迅速普及。虽然固体激光振荡器的效率高，但输入电力的至少一半作为热排出，因此例如在超过1kW的高输出激光器的情况下，需要利用冷却水进行冷却，以尽量将发光元件保持在低温。因此，例如，如图9所示，激光振荡器80具备冷却水循环部85，且构成为通过冷却水回路86利用冷却水来冷却收容于壳体81中的激光产生部82、激励电源部83以及光学部件84等。由此，通过控制为使冷却水例如维持在20℃～30℃左右，来将发光元件尽量保持在低温以避免变为高温，由此确保了发光元件的寿命和可靠性。然而，相比于二氧化碳激光振荡器，固体激光振荡器非常不耐结露，即使是少量的结露也可能成为发光元件出现故障、使用寿命变短的原因。尤其是产业用中使用的激光振荡器的设置环境不一定是凉爽干燥的环境，反而是高温、多湿、对于作为半导体的发光元件而言是严酷本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光振荡器，具备：激光产生部；热交换器，其利用冷却水来冷却周围；冷却水旁通回路；冷却水回路，其与所述激光产生部、所述热交换器及所述冷却水旁通回路连接；壳体，其收纳所述激光产生部、所述热交换器、所述冷却水旁通回路以及所述冷却水回路；冷却水循环部，其利用所述冷却水回路来使所述冷却水循环到所述激光产生部、所述热交换器以及所述冷却水旁通回路；第一阀，其调整向所述激光产生部供给的所述冷却水的流量；第二阀，其调整向所述热交换器供给的所述冷却水的流量；第三阀，其调整向所述冷却水旁通回路供给的所述冷却水的流量；露点测定部，其测定所述壳体内部的露点；水温测定部，其测定所述冷却水的水温；以及控制部，其基于...

【技术特征摘要】
2017.10.10 JP 2017-1971561.一种激光振荡器，具备：激光产生部；热交换器，其利用冷却水来冷却周围；冷却水旁通回路；冷却水回路，其与所述激光产生部、所述热交换器及所述冷却水旁通回路连接；壳体，其收纳所述激光产生部、所述热交换器、所述冷却水旁通回路以及所述冷却水回路；冷却水循环部，其利用所述冷却水回路来使所述冷却水循环到所述激光产生部、所述热交换器以及所述冷却水旁通回路；第一阀，其调整向所述激光产生部供给的所述冷却水的流量；第二阀，其调整向所述热交换器供给的所述冷却水的流量；第三阀，其调整向所述冷却水旁通回路供给的所述冷却水的流量；露点测定部，其测定所述壳体内部的露点；水温测定部，其测定所述冷却水的水温；以及控制部，其基于所述露点和所述水温来控制所述第一阀、所述第二阀以及所述第三阀。2.根据权利要求1所述的激光振荡器，其特征在于，在所述壳体的外部具有所述冷却水循环部。3.根据权利要求1所述的激光振荡器，其特征在于，在所述壳体的内部具有所述冷却水循环部。4.一种激光振荡器，具备：激光产生部；热交换器，其利用制冷剂来冷却周围；冷却水旁通回路；冷却水回路，其与所述激光产生部及所述冷却水旁通回路连接；制冷剂回路，其与所述热交换器连接；冷却水循环部，其利用所述冷却水回路使冷却水循环到所述激光产生部和所述冷却水旁通回路，并且利用所述制冷剂回路使所述制冷剂循环到所述热交换器；壳体，其收纳所述激光产生部、所述热交换器、所述冷却水旁通回路、所述冷却水回路以及所述冷却水循环部；第一阀，其调整向所述激光产生部供给的所述冷却水的流量；第二阀，其调整向所述热交换器供给的所述制冷剂的流量；第三阀，其调整向所述冷却水旁通回路供给的所述冷却水的流量；露点测定部，其测定所述壳体内部的露点；水温测定...

【专利技术属性】
技术研发人员：前田道德，
申请(专利权)人：发那科株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP