一种卷到卷高效连续化学机械抛光机制造技术

本实用新型专利技术公开一种卷到卷高效连续化学机械抛光机，包括六个抛光辊装置，六个抛光辊装置前后分别设置有第一水平调速检测装置和第二水平调速检测装置，所述第一水平调速检测装置外侧设置有放卷装置，所述第二水平调速检测装置外侧设置有收卷装置；所述第二水平调速检测装置与所述抛光辊装置之间设置有清洗干燥装置；所述抛光辊装置上安装有抛光辊，所述抛光辊一侧设置有喷淋装置，所述抛光辊装置底部设置有废液收集箱。本实用新型专利技术提供的卷到卷高效连续化学机械抛光机，用于超薄柔性显示衬底的Roll‑to‑Roll高效生产，可实现与柔性显示器的制造形成无缝对接，提高了生产效率。

A Coil-to-Coil High Efficiency Continuous Chemical Mechanical Polishing Machine

The utility model discloses a roll-to-roll high-efficiency continuous chemical mechanical polishing machine, which comprises six polishing roll devices. The first horizontal speed regulating device and the second horizontal speed regulating device are respectively arranged before and after the six polishing roll devices. The first horizontal speed regulating device is provided with a roll-out device on the outer side, and the second horizontal speed regulating device is provided with a roll-up device on the outer side. A cleaning and drying device is arranged between the second horizontal speed regulating detection device and the polishing roller device, a polishing roller is installed on the polishing roller device, a spraying device is arranged on one side of the polishing roller device, and a waste liquid collecting box is arranged at the bottom of the polishing roller device. The roll-to-roll high-efficiency continuous chemical mechanical polishing machine provided by the utility model is used for the high-efficiency production of Rol to Roll on ultra-thin flexible display substrates, which can realize seamless butting with the manufacture of flexible displays and improve production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种卷到卷高效连续化学机械抛光机
本技术涉及微电子、光电子、柔性显示器衬底制造中的超精密加工
，特别是涉及一种卷到卷高效连续化学机械抛光机。
技术介绍
微电子、光电子、集成电路制造是集国家利益、人类智慧和最新科技于一体的基础性和战略性产业，是衡量一个国家地位和综合国力的重要标志之一，是当今世界竞争最激烈、发展最迅速的领域，只有掌握先进的微电子及光电子制造技术才能有效地控制成本和扩大生产规模，才能在激烈的市场竞争中生存和发展。微电子及光电子先进制造作为国民经济的基础产业、先导产业、支柱产业和战略性产业，对我国国民经济、国家安全、人民生活和社会进步正在发挥着越来越重要的作用。随着科学技术的进步和不断发展，柔性显示技术正逐渐改善人们的生活和交流，并显著推进着信息可视化。近年来，柔性显示的优势日益突出，柔性电子与作为平板显示的LCD、OLED和等离子体显示相比，具有超薄、质量轻、耐用、储存量大、设计自由，可挠曲、可收卷和耐冲击等性能，广泛适用于移动电话、个人数字助理PDA、笔记本电脑、商标、安全身份文件、电子书、电子海报、汽车仪表板、RF识别系统、传感器、环境显示、医疗、普通照明、机器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种卷到卷高效连续化学机械抛光机，其特征在于：包括六个抛光辊装置，六个所述抛光辊装置前后分别设置有第一水平调速检测装置和第二水平调速检测装置，所述第一水平调速检测装置外侧设置有放卷装置，所述第二水平调速检测装置外侧设置有收卷装置；所述第二水平调速检测装置与所述抛光辊装置之间设置有清洗干燥装置；所述抛光辊装置上安装有抛光辊，所述抛光辊一侧设置有喷淋装置，所述抛光辊装置底部设置有废液收集箱。

【技术特征摘要】
1.一种卷到卷高效连续化学机械抛光机，其特征在于：包括六个抛光辊装置，六个所述抛光辊装置前后分别设置有第一水平调速检测装置和第二水平调速检测装置，所述第一水平调速检测装置外侧设置有放卷装置，所述第二水平调速检测装置外侧设置有收卷装置；所述第二水平调速检测装置与所述抛光辊装置之间设置有清洗干燥装置；所述抛光辊装置上安装有抛光辊，所述抛光辊一侧设置有喷淋装置，所述抛光辊装置底部设置有废液收集箱。2.根据权利要求1所述的卷到卷高效连续化学机械抛光机，其特征在于：所述放卷装置包括放卷机架和放卷辊，所述放卷辊两端分别连接有连接轴，所述连接轴通过深沟球轴承和轴承座设置于所述放卷机架上；其中一个所述连接轴外侧连接有制动盘，所述制动盘外套设有制动器壳；所述放卷机架上安装有收集箱，所述收集箱位于所述放卷辊下方。3.根据权利要求1所述的卷到卷高效连续化学机械抛光机，其特征在于：所述收卷装置包括收卷机架和收卷辊，所述收卷辊一端通过连接轴设置于所述收卷机架上，另一端通过传动轴设置于所述收卷机架上，所述传动轴端部连接有减速电机。4.根据权利要求1所述的卷到卷高效连续化学机械抛光机，其特征在于：所述第一水平调速检测装置包括调速机架，所述调速机架上安装有水平调节辊；所述调速机架顶端安装有传感器机架，所述传感器机架下端安装有传感器探头，所述传感器探头位于所述水平调节辊上方；所述第二水平调速检测装置与第一水平调速检测装置结构相同。...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏建修，王永胜，陈绍坤，王占奎，李勇峰，刘亚明，马利杰，付成果，
申请(专利权)人：河南科技学院，
类型：新型
国别省市：河南,41