【技术实现步骤摘要】
一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置
本专利技术涉及半球谐振陀螺镀膜空间运动装置,特别涉及半球谐振陀螺镀膜领域。
技术介绍
采用传统真空镀膜设备转架,仅能实现公转+自转的功能,无摆动功能,且无法独立控制公转与自转的转速。对于半球谐振陀螺零件各个表面镀膜无法一次成膜,不能实现一次装夹完成真空镀膜,需要对零件进行多次镀膜。因此,采用常用的传统方式对半球谐振陀螺零件镀膜均匀性差,合格率难以控制,效率低。
技术实现思路
本专利技术目的在于设计一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置,该装置包含公转系统、自转系统、摆动系统和真空室;所述公转系统包括,公转电机,所述公转电机通过公转轴系与公转盘相连实现公转运动;所述自传系统包括,自传电机,所述自转电机通过自转轴系与卡具相连,通过弹力钢丝绳实现全角度自转运动;所述摆动系统包括,摆动电机,所述摆动电机通过摆动轴系将旋转转换成上下移动实现工件摆动;所述真空室内设置有工件固定装置,所述真空室内的工件固定装置通过传动杆与所述公转系统、所述自传系统和所述摆动系统连接。优选的,所述自传系统的自转速度可调并可独立控制。优选的,所述摆动电机通过拨叉带动齿条驱动齿轮,将旋转转换成工件摆动。优选的,所述传动杆与所述真空室的连接处安装动密封装置,保证真空室气密性。本专利技术的有益效果是:1.可实现工件空间多维运动,包括:公转、自转、摆动、自转+公转、自转+摆动、公转+摆动、公转+自转+摆动等多种空间运动。2.本装置在真空镀膜生产中,实现了公转速度、自转速度与自转方向独立可调,向上摆动速度、向下摆动速度、摆动仰角和上、下停顿时间均可按需要随意设定,精确控制膜层 ...
【技术保护点】
1.一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置,其特征在于该装置包含公转系统、自转系统、摆动系统和真空室;所述公转系统包括,公转电机,所述公转电机通过公转轴系与公转盘相连实现公转运动;所述自传系统包括,自传电机,所述自转电机通过自转轴系与卡具相连,通过弹力钢丝绳实现全角度自转运动;所述摆动系统包括,摆动电机,所述摆动电机通过摆动轴系将旋转转换成上下移动实现工件摆动;所述真空室内设置有工件固定装置,所述真空室内的工件固定装置通过传动杆与所述公转系统、所述自传系统和所述摆动系统连接。
【技术特征摘要】
1.一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置,其特征在于该装置包含公转系统、自转系统、摆动系统和真空室;所述公转系统包括,公转电机,所述公转电机通过公转轴系与公转盘相连实现公转运动;所述自传系统包括,自传电机,所述自转电机通过自转轴系与卡具相连,通过弹力钢丝绳实现全角度自转运动;所述摆动系统包括,摆动电机,所述摆动电机通过摆动轴系将旋转转换成上下移动实现工件摆动;所述真空室内设置有工件固定装置,所述真空室内的工件固定...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱蓓蓓,兰洁,申振丰,许剑锋,陈肖,郭凌曦,程辉,袁超,孙晴晗,
申请(专利权)人:上海航天控制技术研究所,
类型:发明
国别省市:上海,31
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