板玻璃清洗装置制造方法及图纸

提供一种抑制因齿轮彼此的磨损引起的灰尘产生的板玻璃清洗装置。对板玻璃(G)的玻璃面进行清洗的板玻璃清洗装置(10)具备多个清洗构件(11)、对所述多个清洗构件(11)分别进行支承的旋转轴(12)、在所述旋转轴(12)分别设置的齿轮(13)、以及驱动所述旋转轴(12)中的至少一个的作为旋转驱动机构的电动机(M)，所述齿轮(13)在邻接的齿轮彼此之间相互啮合且材质不同。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】板玻璃清洗装置
本专利技术涉及板玻璃清洗装置的技术。
技术介绍
通常，在制造液晶显示器、有机EL显示器等平板显示器(FPD)用的玻璃基板时，在制造过程中进行用于将玻璃基板的玻璃面(具体而言，玻璃面中的形成电子功能元件等的有效面)上附着的微小的玻璃片、尘芥等异物去除的清洗处理。由此，实现玻璃基板的玻璃面的清洁化，在后续工序等中，在玻璃基板的玻璃面上能够高精度地形成电子功能元件等。例如，专利文献1公开了用于对晶圆(例如，玻璃基板)的表面及背面进行清洗的基板处理装置。专利文献1公开的基板处理装置具备将多个晶圆浸渍在纯液中的液中装载机、背面清洗装置、表面清洗装置以及传送装置。背面清洗装置具有在旋转轴的上端固定的圆形刷，向从液中装载机取出的晶圆供给处理液，由此使圆形刷与晶圆的背面抵接并旋转，从下方对晶圆的背面进行刷清洗。表面清洗装置向背面清洗装置进行的清洗后的晶圆供给化学处理用的药液，由此从上方对晶圆的表面进行刷清洗。另外，以往，使用了具有多个上述圆形刷那样的清洗构件，一边使该清洗构件旋转一边向板玻璃的玻璃面压紧，将板玻璃的玻璃面上附着的异物去除的板玻璃清洗装置。在这样的板玻璃清洗装置中，为了使多个清洗构件旋转而在清洗构件的各旋转轴设置齿轮(例如，正齿轮)，使邻接的齿轮彼此啮合，通过驱动机构使其中的一个驱动用的齿轮旋转，由此使多个齿轮同时旋转而能够使多个清洗构件旋转。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开平7-74133号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在使上述的板玻璃清洗装置具有的多个齿轮啮合的机构中，在邻接的齿轮彼此由相同的材质构成的情况下，摩擦阻力增大，因此因齿轮彼此的磨损而产生灰尘，成为将板玻璃的玻璃面污染的原因。因此，在这样的板玻璃清洗装置中，希望抑制因齿轮彼此的磨损引起的灰尘产生的结构。本专利技术鉴于以上所示的现状的问题点而作出，课题在于提供一种实现齿轮彼此的磨损引起的灰尘产生的抑制的板玻璃清洗装置。用于解决课题的方案本专利技术要解决的课题如以上那样，接下来说明用于解决该课题的方案。即，本专利技术的板玻璃清洗装置对板玻璃的玻璃面进行清洗，其特征在于，具备：多个清洗构件；旋转轴，其分别支承所述多个清洗构件；齿轮，其设置于所述旋转轴；及旋转驱动机构，其驱动所述旋转轴的至少一个，其中，所述齿轮在邻接的齿轮彼此之间相互啮合且材质不同。根据这样的板玻璃清洗装置，通过在邻接的齿轮彼此之间使材质不同，与齿轮由同一材质构成的情况相比摩擦阻力减小，能够抑制因齿轮彼此的磨损引起的灰尘产生。另外，在本专利技术的板玻璃清洗装置中，优选的是，所述邻接的齿轮彼此中的一方的齿轮为金属制，另一方的齿轮为树脂制。根据这样的板玻璃清洗装置，在使金属制的齿轮彼此啮合而构成时产生的金属粉难以产生。由此，能够防止金属粉对板玻璃的玻璃面的污染。此外，由于使用金属制的齿轮，因此与使树脂制的齿轮彼此啮合而构成的情况相比，齿轮的耐久性提高，能抑制齿轮的更换频度，装置的检修不会花费劳力和时间。另外，在本专利技术的板玻璃清洗装置中，优选的是，所述金属制的齿轮与所述树脂制的齿轮交替啮合地配置有多个。根据这样的板玻璃清洗装置，通过旋转驱动机构来驱动多个齿轮中的至少一个，由此能够驱动多个齿轮，因此不需要多个旋转驱动机构，检修变得容易。专利技术效果根据本专利技术，在邻接的齿轮彼此之间使材质不同，由此与齿轮通过同一材质构成的情况相比，摩擦阻力减小，能够抑制齿轮彼此的磨损引起的灰尘产生。附图说明图1是在本专利技术的一实施方式的板玻璃清洗装置中，表示清洗构件附近的结构的概念立体图。图2是板玻璃清洗装置的清洗构件的从上方观察的俯视图。图3是图2的A-A线的向视剖视图。具体实施方式接下来，关于本专利技术的一实施方式的板玻璃清洗装置10，使用图1至图3进行说明。需要说明的是，关于以下的说明，为了简便起见，将图1、图3所示的上下方向分别规定为板玻璃清洗装置10的上下方向来记述。另外，在图1、图2中，将箭头F的方向规定为板玻璃G的传送方向来记述。另外，在图1、图2中，将与传送方向正交的方向规定为宽度方向来记述。如图1所示，本实施方式的板玻璃清洗装置10(以下，简称为清洗装置10)是通过作为旋转驱动机构的电动机M驱动清洗构件11旋转而对板玻璃G的玻璃面的两面(表面及背面)进行清洗的装置。清洗装置10是例如配置在板玻璃G的制造装置中的传送装置的传送路径上，用于清洗由传送装置从上游侧朝向下游侧(在图2中，从图中左侧向右侧)以水平状态传送的矩形的板玻璃G的玻璃面的两面(表面及背面)的装置。需要说明的是，在清洗装置10的上游侧设有对于板玻璃G实施切断加工或端面加工等各种加工的加工装置等(未图示)。清洗装置10是执行清洗处理的装置，该清洗处理用于去除由于经过设置于上游侧的各种加工工序而板玻璃G的玻璃面的表面及背面附着的微小的玻璃粉、尘芥等异物。清洗装置10在板玻璃G的玻璃面的表面侧及背面侧分别具有多个清洗构件11、11……。需要说明的是，例如在本实施方式中，清洗装置10为了对板玻璃G的玻璃面的表面侧及背面侧(在本实施方式中，为上表面侧及下表面侧)进行清洗而隔着板玻璃G上下相对配置有多个清洗构件11、11……。另外，在本实施方式的清洗装置10中，虽然构成作为对板玻璃G的玻璃面的两面进行清洗的装置，但是没有特别限定，也可以构成作为仅对板玻璃G的玻璃面的一方的面(例如，玻璃面的形成电子功能元件等的有效面)进行清洗的装置。另外，在图1及图2中，在清洗装置10中，省略在板玻璃G的上表面侧配置的多个清洗构件11、11的图示，仅图示在板玻璃G的下侧面配置的多个清洗构件11、11......。清洗装置10具备多个清洗构件11、11......、对多个清洗构件11、11......分别进行支承的旋转轴12、12......、分别设置于旋转轴12、12......的齿轮(正齿轮)13、13......、以及对旋转轴12、12......进行驱动的作为旋转驱动机构的电动机M。在图1中，电动机M使旋转轴12直接旋转，但也可以是在电动机M的未图示的旋转轴上设置未图示的齿轮，通过使电动机M的齿轮与在清洗构件11的旋转轴12设置的齿轮13啮合而电动机M使齿轮13旋转的方式。清洗构件11是盘形状的构件，主要具备相对于板玻璃G的玻璃面而相对配置的清洗垫14、保持清洗垫14的清洗头15。另外，清洗构件11在俯视观察下沿着与传送方向正交的方向排列配置。清洗垫14可以使用硬质树脂、软质树脂等弹性体，例如通过毡状的纤维成形体、海绵状的发泡树脂成形体、或者海绵状的发泡橡胶成形体等而形成为圆形形状。在本实施方式中，清洗垫14的材质为聚乙烯醇(PVA)。在清洗垫14的与板玻璃G对置的对置面(接触面)沿圆周方向设有多个(在本实施方式中为6个)沿径向呈放射状地形成的凹槽14a。另外，在清洗垫14形成有用于向其中心部及中心部附近供给清洗液的圆形形状的多个(在本实施方式中为3个)供给口14b。并且，供给口14b与清洗头15具有的未图示的清洗液供给孔连通，在清洗处理的执行中，经由供给口14b被供给清洗液。需要说明的是，清洗头15通过例如铝合金或不锈钢等金属材料形成为圆盘状。旋转轴12是在前端固定有清洗构件11的清洗头15的轴构件。如图3所示，多个旋转轴12、12本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种板玻璃清洗装置，该板玻璃清洗装置对板玻璃的玻璃面进行清洗，其特征在于，所述板玻璃清洗装置具备：多个清洗构件；旋转轴，其分别支承所述多个清洗构件；齿轮，其分别设置于所述旋转轴；及旋转驱动机构，其驱动所述旋转轴的至少一个，所述齿轮在邻接的齿轮彼此之间相互啮合且材质不同。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.22 JP 2016-1621931.一种板玻璃清洗装置，该板玻璃清洗装置对板玻璃的玻璃面进行清洗，其特征在于，所述板玻璃清洗装置具备：多个清洗构件；旋转轴，其分别支承所述多个清洗构件；齿轮，其分别设置于所述旋转轴；及旋转驱动机构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥隼人，北岛浩市，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP