【技术实现步骤摘要】
一种捕捉多余电子的装置
本技术属于整流器
，特别是涉及一种捕捉多余电子的整流器装置。
技术介绍
在真空腔体环境下，通过电子与气体分子的碰撞，产生很多的离子与电子，多余出的电子会导致腔体内工艺环境不稳定，对靶材造成多余的冲击，造成的后果就是弧光不稳定，最终造成产品表面产生色差，市场现有设备都无法解决此类问题。因此，如何解决上述现有技术存在的缺陷成为了该领域技术人员努力的方向。
技术实现思路
本技术的目的就是提供一种捕捉多余电子的装置，使用时将本技术镶嵌于电子与气体分子碰撞腔体设备的外部，通过整流器分导出腔体，能完全解决上述现有技术的不足之处。本技术的目的通过下述技术方案来实现：一种捕捉多余电子的装置,包括待导电的电子与气体分子碰撞腔体，其特征在于：还包括固定板、固定装置、针式导电棒、导出管、抑制整流器和连接头，所述固定板镶嵌于电子与气体分子碰撞腔体的外侧面，数根针式导电棒的一端穿过固定板并置入电子与气体分子碰撞腔体内，针式导电棒的另一端与抑制整流器相连；抑制整流器通过固定装置与固定板相连，导出管通过连接头与抑制整流器相连。作为其中的优选方式之一，在所述固定装置的上下部均设有提手。作为其中的优选方式之一，所述固定装置通过活动螺栓与固定板相连。作为其中的优选方式之一，所述固定板通过固定螺栓与电子与气体分子碰撞腔体相连。与现有技术相比，本技术的有益效果在于：使用时将本技术所述的捕捉多余电子的装置镶嵌于电子与气体分子碰撞腔体设备的外部，通过整流器分导出腔体，有效抑制了腔体内多余电子乱放电的现象，并且还起到稳定腔体内电压、电流的平衡作用，使腔体内的工艺环境抑制保持稳定，...
【技术保护点】
1.一种捕捉多余电子的装置，包括待导电的电子与气体分子碰撞腔体，其特征在于：还包括固定板、固定装置、针式导电棒、导出管、抑制整流器和连接头，所述固定板镶嵌于电子与气体分子碰撞腔体的外侧面，数根针式导电棒的一端穿过固定板并置入电子与气体分子碰撞腔体内，针式导电棒的另一端与抑制整流器相连；抑制整流器通过固定装置与固定板相连，导出管通过连接头与抑制整流器相连。
【技术特征摘要】
1.一种捕捉多余电子的装置，包括待导电的电子与气体分子碰撞腔体，其特征在于：还包括固定板、固定装置、针式导电棒、导出管、抑制整流器和连接头，所述固定板镶嵌于电子与气体分子碰撞腔体的外侧面，数根针式导电棒的一端穿过固定板并置入电子与气体分子碰撞腔体内，针式导电棒的另一端与抑制整流器相连；抑制整流器通过固定装置与固定板相连，导...
【专利技术属性】
技术研发人员：高富堂，
申请(专利权)人：定西中庆玄和玻璃科技有限公司，
类型：新型
国别省市：甘肃,62
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