一种真空烘烤装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及设备温控领域，具体为一种真空烘烤装置，包括：冷屏，用于将外真空层与外界进行隔绝；外真空壁，用于将所述外真空层与内真空层隔离；热氮气通道，用于热氮气的流通；内真空壁，用于将所述内真空层与反应腔进行隔离；石墨层，用于保持所述反应腔的真空度及温度；以及氮气加热系统，用于氮气的加热以及为氮气的输送提供动力；其中，所述冷屏、所述外真空壁、所述热氮气通道以及所述内真空壁由外而内依次嵌套。采用此种结构构造出真壁并对其进行烘烤，确保了反应空间的能维持高的真空度，有利于反应空间的温度的稳定，同时，采用该结构对反应空间进行烘烤，有利于建立烘烤温控模型，实现反应空间温度的精确控制。

【技术实现步骤摘要】
一种真空烘烤装置
本专利技术涉及设备温控领域，具体为一种真空璧烘烤装置。
技术介绍
EAST超导托卡马克是国家发展计划委员会正式批准建设的国家“九五”重大科学工程。它的科学目标是建造一个具有非圆截面的大型超导托卡马克装置及其实验系统，发展并建立在超导托卡马克装置上进行稳态运行所需要的多种技术，开展稳态、安全和高效运行的先进托卡马克聚变反应堆基础物理问题的实验研究，为我国下一代聚变工程试验堆的概念设计奠定坚实基础。EAST的三大目标为：产生≥1兆安培的等离子体电流；持续时间将达到1千秒；在高功率加热下温度将超过1亿度。EAST装置于2006年完成总装调试，并进行了首次等离子体放电调试，2014年实现了28秒H模（H98因子从2012年的0.9提高到1.2），2016年实现5千万度1百秒的运行参数；这些性能提升是建立在2012年开始的一系列EAST工程部件升级基础之上的。EAST超导托卡马克设置有烘烤装置，在EAST实验开始的抽真空和降温阶段，烘烤装置为EAST超导托卡马克设置内部部件提供氮气烘烤，使其温度维持在200℃以上，连续保持20天以上，加速抽真空速度，并使EAST超导托卡马克设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空烘烤装置，其特征在于，包括：冷屏，用于将外真空层与外界进行隔绝，所述外真空层处于外真空壁与所述冷屏之间；所述外真空壁，用于将所述外真空层与内真空层隔离，所述内真空层位于所述外真空壁与内真空壁之间；热氮气通道，用于热氮气的流通，从而对所述外真空层、所述内真空层以及反应腔进行烘烤，设置于内真空层中；所述内真空壁，用于将所述内真空层与所述反应腔进行隔离，内部空间形成所述反应腔；石墨层，用于保持所述反应腔的真空度及温度，设置于所述反应腔内，与所述内真空壁接触；以及氮气加热系统，与所述热氮气通道相连，用于氮气的加热以及为氮气的输送提供动力；其中，所述冷屏、所述外真空壁、所述热氮气通道以及所述...

【技术特征摘要】
1.一种真空烘烤装置，其特征在于，包括：冷屏，用于将外真空层与外界进行隔绝，所述外真空层处于外真空壁与所述冷屏之间；所述外真空壁，用于将所述外真空层与内真空层隔离，所述内真空层位于所述外真空壁与内真空壁之间；热氮气通道，用于热氮气的流通，从而对所述外真空层、所述内真空层以及反应腔进行烘烤，设置于内真空层中；所述内真空壁，用于将所述内真空层与所述反应腔进行隔离，内部空间形成所述反应腔；石墨层，用于保持所述反应腔的真空度及温度，设置于所述反应腔内，与所述内真空壁接触；以及氮气加热系统，与所述热氮气通道相连，用于氮气的加热以及为氮气的输送提供动力；其中，所述冷屏、所述外真空壁、所述热氮气通道以及所述内真空壁由外而内依次嵌套，且相邻的两层互不接触。2.如权利要求1所述的一种真空烘烤装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭建，张杰，周德军，陈雷，朱克正，杨雷，茆永生，潘农，周彤，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：安徽,34