加热系统及去气腔室技术方案

本发明专利技术涉及一种加热系统，包括：多个加热组件，每个加热组件包括一个加热件或者串联的至少两个加热件；多个加热组件的两个连接端分别与第一端子和第二端子相连；第一端子和第二端子用于连接电源；与所述加热组件对应设置有：电流互感器和电流检测器；所述电流互感器用于与对应的加热组件与第一端子或第二端子的连接导线互感；所述电流检测器用于检测所述电流互感器上的电流，以便于通过未检测到所述电流来判断该加热组件中的加热件存在异常。本发明专利技术还提供去气腔室。不仅便于快速地检查出加热件的异常，而且操作容易、结构简单、成本低廉。

Heating system and degassing chamber

The invention relates to a heating system, which comprises a plurality of heating components, each of which includes a heating element or at least two heating elements in series; two connecting terminals of the plurality of heating components are respectively connected with the first terminal and the second terminal; the first terminal and the second terminal are used to connect power sources; and the heating components are correspondingly provided with a current transformer and a current detector; The current transformer is used for mutual inductance with the connecting wire between the corresponding heating component and the first or second terminal, and the current detector is used to detect the current on the current transformer so as to judge the abnormality of the heating component in the heating component by not detecting the current. The invention also provides a degassing chamber. It is not only convenient to quickly detect the abnormality of heating parts, but also easy to operate, simple in structure and low in cost.

【技术实现步骤摘要】
加热系统及去气腔室
本专利技术属于半导体设备制造
，具体涉及一种加热腔室及去气腔室。
技术介绍
物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，简称PVD)工艺在半导体制造业中占据重要的位置，通常一套完整PVD设备至少包括去气(Degas)、预清洗(Preclean)、物理气相沉积(PVD)三部分。去气的主要作用是：在沉积工艺之前对工件进行加热，以达到去除工件表面的水和有机物的目的。去气腔室一般采用灯管加热或灯泡加热，灯管或灯泡通常以并联方式形成加热电路，在加热过程中需要随时清楚灯管或灯泡的工作状态(例如，灯丝是否熔断)。现有技术中采用如下方式加热是否出现异常：通过软件采集加热电路在每个输入电压下的对应电流的数值以形成标准列表，如果加热电路中有灯管或灯泡的灯丝熔断，则电流的数值会明显减少，故，通过将实际电流数值与标准列表中的对应数值进行比较，若，二者差距到一定程度，则认为有灯管或灯泡的灯丝熔断并抛出报警。但是，采用现有的方式在实际应用中存在以下问题：其一，由于灯丝受热后电阻会发生变化，因此，需要采集一系列电流信息作为标准列表中数值，以作为比较的依据；并且，每次调试都需要学习一次，且不同机台情况不一样，从而造成判断加热是否出现异常的过程较为复杂。其二，无法明确具体是哪一个灯管或灯泡的灯丝熔断，还需要人为进行排查确定，而灯管或灯泡的灯丝的数量较多，因此，排查相对费时费力。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种加热系统及去气腔室，不仅该加热系统的判断加热过程异常的过程操作容易、结构简单、成本低廉；而且便于快速地排查出哪个加热件异常。为解决上述问题，本专利技术提供了一种加热系统，包括：多个加热组件，多个所述加热组件并联后，与电源串联；其中，与至少一个所述加热组件对应设置有：电流互感器和电流检测器；所述电流互感器用于感应与其对应的所述加热组件所在的并联支路上的电流；所述电流检测器用于检测所述电流互感器上的电流，以便于通过所述电流检测器未检测到所述电流来确定与该电流检测器对应的所述加热组件存在异常。优选地，每个加热组件包括一个加热件或者串联的至少两个加热件；所有的加热组件均对应设置有所述电流互感器和所述电流检测器。优选地，所述电流检测器还用于将检测到的电流转换为交流电压信号，并对所述交流电压信号整流获得直流电压信号，以便于通过所述电流检测器检测到所述直流电压信号来确定能够检测到所述电流。优选地，所述电流检测器还用于根据获得的直流电压信号来选择性地控制固定电压的输出，以通过所述电流检测器检测到所述固定电压来确定能够检测到所述电流。优选地，所述电流检测器包括：转换模块，其与所述电流互感器连接，用于将电流互感器得到的电流转换为电压信号；放大模块，用于将转换模块得到的电压信号放大；整流模块，用于将放大模块获得的交流信号进行整流处理获得直流电压信号；滤波模块，用于对整流模块获得的直流电压信号进行滤波；输出模块，用于将滤波模块获得的信号与预设偏置电压进行比较，并基于比较结果选择性地控制固定电压的输出。优选地，还包括：控制器；所述控制器，与所述电流检测器相连，用于通过所述电流检测器未检测到所述固定电压来判断与该电流检测器对应的所述加热组件存在异常。优选地，还包括：报警器；所述报警器与所述控制器相连，用以在所述控制器判断出加热组件存在异常时所述控制器控制所述报警器发出报警。优选地，每个加热组件的两个连接端分别连接第一端子和第二端子，所述第一端子和所述第二端子用于连接电源；所述电流互感器用于与对应的加热组件和第一端子或第二端子之间的连接导线互感；在所述第一端子与所述电源之间或者所述第二端子与所述电源之间还设置有调功器。优选地，所述整流模块采用半波整流方式。本专利技术还提供一种去气腔室，包括加热系统，所述加热系统采用本专利技术上述提供的加热系统。在本专利技术中，加热系统设置有与加热组件对应的电流互感器和电流检测器，借助电流互感器和电流检测器来感应以及检测对应的加热组件所在的并联支路上的电流，能够确定出对应的加热组件是否出现异常，也即，可判断出加热过程是否出现异常，不需要采集电压和电流的大量数据，避免了现有技术中较为复杂的判断过程，操作容易、结构简单、成本低廉。另外，在加热组件包括一个加热件时，哪个加热组件发生异常即可明确出其包括的一个加热件发生异常；在加热组件包括两个及两个以上的加热件时，在该加热组件发生异常时，可通过人为排查可以排查哪个加热件发生异常，这与现有技术中在加热过程中发生异常需要对所有加热件进行人为排查相比，排查的总数量减少，因此能够快速地排查出来，使得排查用时较少。故，本专利技术提供的加热系统，不仅便于快速地检查出加热过程出现异常，且操作容易、结构简单、成本低廉；而且便于快速地排查出哪个加热件发生异常。附图说明图1为本专利技术实施例提供的加热系统的结构示意图；图2为图1所示加热系统的局部等效示意图；图3为图2中电流检测器的结构示意图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图来对本专利技术提供的加热系统及去气腔室进行详细描述。实施例1图1为本专利技术实施例提供的加热系统的结构示意图；图2为图1所示加热系统的局部等效示意图。请一并参阅图1和图2，本专利技术实施例提供的加热系统，包括：多个加热组件，多个加热组件并联后，与电源串联。具体地，所有加热组件的两个连接端均分别与第一端子1和第二端子2相连，第一端子和第二端子用于连接电源。其中，所有的加热组件对应设置有：电流互感器10和电流检测器20；电流互感器10用于感应与其对应的所述加热组件所在的并联支路上的电流，具体地，电流互感器10与对应的加热组件与第一端子或第二端子的连接导线互感，如图1所示，三个电流互感器10一一对应与加热组件和第一端子1的连接导线L1～L3互感。电流检测器20用于检测电流互感器10上的电流，以便于通过判断电流检测器20未检测到电流来确定与该电流检测器20对应的加热组件存在异常，当然，在检测到电流时则认为该加热组件正常。下面详细描述本实施例提供的加热系统的工作原理。具体地，在加热组件正常情况下，加热组件所在的并联支路上存在电流，故电流互感器则能够感应出电流，电流检测器能够检测出电流；当然，若电流检测器未检测出电流，说明电流互感器未感应出电流，进一步说明加热组件所在并联支路上就不存在电流，故，加热组件出现异常，也即加热过程中出现异常。故，本专利技术实施例提供的加热系统通过与加热组件对应设置的电流互感器10和电流检测器20来感应以及检测对应的加热组件所在的并联支路上的电流，能够确定出对应的加热组件是否出现异常，也即，判断出加热过程是否出现异常，由于不需要采集电压和电流的大量数据，避免了现有技术中较为复杂的判断过程，操作容易、结构简单、成本低廉。另外，在加热组件包括一个加热件时，哪个加热组件发生异常即明确出哪个加热件发生异常；在加热组件包括两个及两个以上的加热件时，在该加热组件发生异常时，通过人为排查可以排查哪个加热件发生异常，这与现有技术中在加热过程中发生异常需要对所有加热件进行排查相比，排查的总数量减少，因此能够快速地排查出来，使得排查用时较少。另外，本实施例中，由于所有的加热组件均对应设置电流互感器10和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热系统，其特征在于，包括：多个加热组件，多个所述加热组件并联后，与电源串联；其中，与至少一个所述加热组件对应设置有：电流互感器和电流检测器；所述电流互感器用于感应与其对应的所述加热组件所在的并联支路上的电流；所述电流检测器用于检测所述电流互感器上的电流，以便于通过所述电流检测器未检测到所述电流来确定与该电流检测器对应的所述加热组件存在异常。

【技术特征摘要】
1.一种加热系统，其特征在于，包括：多个加热组件，多个所述加热组件并联后，与电源串联；其中，与至少一个所述加热组件对应设置有：电流互感器和电流检测器；所述电流互感器用于感应与其对应的所述加热组件所在的并联支路上的电流；所述电流检测器用于检测所述电流互感器上的电流，以便于通过所述电流检测器未检测到所述电流来确定与该电流检测器对应的所述加热组件存在异常。2.根据权利要求1所述的加热系统，其特征在于，每个加热组件包括一个加热件或者串联的至少两个加热件；所有的加热组件均对应设置有所述电流互感器和所述电流检测器。3.根据权利要求1所述的加热系统，其特征在于，所述电流检测器还用于将检测到的电流转换为交流电压信号，并对所述交流电压信号整流获得直流电压信号，以便于通过所述电流检测器检测到所述直流电压信号来确定能够检测到所述电流。4.根据权利要求3所述的加热系统，其特征在于，所述电流检测器还用于根据获得的直流电压信号来选择性地控制固定电压的输出，以通过所述电流检测器检测到所述固定电压来确定能够检测到所述电流。5.根据权利要求4所述的加热系统，其特征在于，所述电流检测器包括：转换模块，其与所述电流互感器连接，用于将电流互感器得到的电流转换为电压信号；放大模块，用于将...

【专利技术属性】
技术研发人员：王肃珂，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11