蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法技术方案

本发明专利技术提供了一种蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法，其中，所述蒸镀掩膜板包括第一功能区域和位于所述第一功能区域外的第一外围区域，所述第一功能区域具有用于蒸镀形成功能层的第一开口，所述第一外围区域具有用于监控所述第一开口的蒸镀效果的第二开口。通过蒸镀掩膜板的第二开口可以在OLED面板的观察层上蒸镀形成监控结构，通过所述监控结构可以监控所述蒸镀掩膜板的第一开口的蒸镀效果，从而可以及时的监控蒸镀效果，达到实时在线监控的效果。

Steaming Mask, OLED Panel and System and Steaming Monitoring Method

The invention provides an evaporation mask, OLED panel and system and a method for monitoring evaporation. The evaporation mask includes a first functional area and a first peripheral area outside the first functional area, the first functional area has a first opening for evaporation forming a functional layer, and the first peripheral area has an evaporation effect for monitoring the first opening. The second opening. A monitoring structure can be formed by evaporating the second opening of the evaporating mask on the observation layer of the OLED panel. The monitoring structure can monitor the evaporating effect of the first opening of the evaporating mask, so as to timely monitor the evaporating effect and achieve the effect of real-time on-line monitoring.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法
本专利技术涉及OLED
，特别涉及一种蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法。
技术介绍
有机电致发光技术(OrganicLightEmittingDiode，OLED)是一种新型的显示、照明技术，近几年内针对OLED器件的投资逐渐增加，OLED器件已经成为行业热点。在OLED器件的制造过程中，往往会利用蒸镀掩膜板，通过真空蒸镀方式形成有机材料层。蒸镀掩膜板通常包括掩膜片(sheetmask)，掩膜片上具有图案，在真空蒸镀过程中，(加热升华后的)有机材料通过所述图案后到片达基板上，从而在基板上形成有机材料层。蒸镀的效果对于OLED器件的制造非常重要，现有技术中无法实现蒸镀效果(主要包括蒸镀偏位)的及时监控，只是对每次蒸镀结果进行抽检，利用显微镜进行人为测量，该方法耗时耗力且不能对蒸镀过程时时监控。因此，如何提供一种能够比较实时的蒸镀监控方法成了本领域技术人员需要解决的一个问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法，以解决现有技术中不能对蒸镀过程及时监控的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种蒸镀掩膜板，所述蒸镀掩膜板包括第一功能区域和位于所述第一功能区域外的第一外围区域，所述第一功能区域具有用于蒸镀形成功能层的第一开口，所述第一外围区域具有用于监控所述第一开口的蒸镀效果的第二开口。可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，所述第二开口的形状和所述第一开口的形状相同。可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，所述第一外围区域具有相对的第一边沿和第二边沿，所述第一边沿较所述第二边沿靠近所述第一功能区域；相较于第二边沿，所述第二开口靠近所述第一边沿。可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，所述第二开口的数量为多个，多个所述第二开口均匀的分布于所述第一外围区域。可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，所述蒸镀掩膜板包括掩膜片和用于支撑所述掩膜片的支撑条，所述第一开口和所述第二开口均位于所述掩膜片上，所述支撑条上具有第三开口，所述第三开口仅露出部分数量的所述第二开口。本专利技术还提供一种OLED面板，所述OLED面板包括第二功能区域和位于所述第二功能区域外的第二外围区域，所述第二外围区域上形成有观察层。可选的，在所述的OLED面板中，所述观察层的材料为反光材料。可选的，在所述的OLED面板中，所述观察层的厚度为100nm～200nm。可选的，在所述的OLED面板中，所述第二外围区域的表面和所述第二功能区域的表面的高度差小于等于200nm。本专利技术还提供一种OLED面板系统，所述OLED面板系统包括：如上所述的蒸镀掩膜板及如上所述的OLED面板，所述蒸镀掩膜板位于所述OLED面板的下方，所述蒸镀掩膜板的第一开口用于在所述OLED面板的第二功能区域上蒸镀形成功能层，所述蒸镀掩膜板的第二开口用于在所述OLED面板的观察层上蒸镀形成监控结构，所述监控结构用于监控所述第一开口的蒸镀效果。本专利技术还提供一种蒸镀监控方法，所述蒸镀监控方法包括：采用如上所述的蒸镀掩膜板在如上所述的OLED面板上形成功能层和监控结构；获取在所述OLED面板上的所述监控结构的实际中心；及将所述监控结构的实际中心和所述监控结构的理论中心进行对比，以得到所述蒸镀掩膜板的第一开口的蒸镀效果。可选的，在所述的蒸镀监控方法中，当所述监控结构的实际中心和所述监控结构的理论中心位置相同时，通过所述第一开口的蒸镀没有发生偏位；当所述监控结构的实际中心和所述监控结构的理论中心位置不同时，通过所述第一开口的蒸镀发生了偏位。在本专利技术提供的蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法中，通过蒸镀掩膜板的第二开口可以在OLED面板的观察层上蒸镀形成监控结构，通过所述监控结构可以监控所述蒸镀掩膜板的第一开口的蒸镀效果，从而可以及时的监控蒸镀效果，达到实时在线监控的效果。附图说明图1是本专利技术实施例一的蒸镀掩膜板的俯视示意图；图2a是本专利技术实施例一的OLED面板的俯视示意图；图2b是本专利技术实施例一的OLED面板的主视示意图；图3a是本专利技术实施例二的蒸镀掩膜板中掩膜片的俯视示意图；图3b是本专利技术实施例二的蒸镀掩膜板中支撑条的俯视示意图；图4是本专利技术实施例二的OLED面板的俯视示意图；其中，100-蒸镀掩膜板；110-掩膜片；110a-第一功能区域；110b-第一外围区域；111-第一开口；112-第二开口；L1-第一边沿；L2-第二边沿；200-OLED面板；200a-第二功能区域；200b-第二外围区域；210-观察层；220-监控结构；230-功能层；300-蒸镀掩膜板；310-掩膜片；310a-第一功能区域；310b-第一外围区域；311-第一开口；312-第二开口；320-支撑条；321-第三开口；L3-第一边沿；L4-第二边沿；400-OLED面板；400a-第二功能区域；400b-第二外围区域；410-观察层；420-监控结构；430-功能层。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本专利技术提出的蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。【实施例一】请参考图1，其为本专利技术实施例一的蒸镀掩膜板的结构示意图。如图1所示，在本申请实施例中，所述蒸镀掩膜板100包括第一功能区域110a和位于所述第一功能区域110a外的第一外围区域110b，所述第一功能区域110a具有用于蒸镀形成功能层的第一开口111，所述第一外围区域110b具有用于监控所述第一开口111的蒸镀效果的第二开口112。在本申请实施例中，所述功能层可以是通过蒸镀工艺形成的、任何具有一定功能的材料层，例如，所述功能层可以是具有一定电子、空穴传输能力的有机材料层，所述功能层也可以是具有一定导电性能的金属层，所述功能层还可以是具有一定绝缘性能的介质层等。在本申请实施例中，所述第一功能区域110a可以用于形成显示区域，所述第一外围区域110b可以用于形成非显示区域。优选的，所述第二开口112的形状和所述第一开口111的形状相同。例如，所述第一开口111的形状为方形，则所述第二开口112的形状也为方形；又如，所述第一开口111的形状为圆形，则所述第二开口112的形状也为圆形。进一步的，所述第二开口112的大小和所述第一开口111的大小相同。例如，所述第一开口111和所述第二开口112的形状都为方形时，两者的边长也相等。由此，通过所述第二开口112监控所述第一开口111的蒸镀效果时，监控结果将更加准确。请继续参考图1，进一步的，所述第一外围区域110b具有相对的第一边沿L1和第二边沿L2，所述第一边沿L1较所述第二边沿L2靠近所述第一功能区域110a；相较于第二边沿L2，所述第二开口112靠近所述第一边沿L1。在此，将所述第二开口112设置于尽量靠近所述第一功能区域110a的位置，由此可以使得所述第二开口112的蒸镀效果和所述第一开口111的蒸镀效果基本一致，从而可以进一步提高监控结果的准确性。在本申请实施例中，所述蒸镀掩膜板100包括掩膜片110，所述掩膜片110包括第一功能区域110a和位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩膜板，其特征在于，所述蒸镀掩膜板包括第一功能区域和位于所述第一功能区域外的第一外围区域，所述第一功能区域具有用于蒸镀形成功能层的第一开口，所述第一外围区域具有用于监控所述第一开口的蒸镀效果的第二开口。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀掩膜板，其特征在于，所述蒸镀掩膜板包括第一功能区域和位于所述第一功能区域外的第一外围区域，所述第一功能区域具有用于蒸镀形成功能层的第一开口，所述第一外围区域具有用于监控所述第一开口的蒸镀效果的第二开口。2.如权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述第二开口的形状和所述第一开口的形状相同。3.如权利要求1或2所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述第一外围区域具有相对的第一边沿和第二边沿，所述第一边沿较所述第二边沿靠近所述第一功能区域；相较于第二边沿，所述第二开口靠近所述第一边沿。4.如权利要求1或2所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述第二开口的数量为多个，多个所述第二开口均匀的分布于所述第一外围区域。5.如权利要求4所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述蒸镀掩膜板包括掩膜片和用于支撑所述掩膜片的支撑条，所述第一开口和所述第二开口均位于所述掩膜片上，所述支撑条上具有第三开口，所述第三开口仅露出部分数量的所述第二开口。6.一种OLED面板，其特征在于，所述OLED面板包括第二功能区域和位于所述第二功能区域外的第二外围区域，所述第二外围区域上形成有观察层。7.如权利要求6所述的OLED面板，其特征在于，所述观察层的材料为反光材料。8.如权利要求6或7所述的OLED面板，其特征在于，所述观察层的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明星，李俊峰，王徐亮，高峰，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32