A batch automatic test system and test method for resonator characteristics are described. The test system includes: a test circuit board with multiple test channels for fixing pressure sensors; a network analyzer connected to the test circuit board through shielded cables to provide the excitation voltage of resonator excitation end of the pressure sensor to be tested on the test circuit board and to detect simultaneously. The output voltage of the resonator pick-up terminal is used to output the resonator characteristic parameters; the power supply is connected with the test circuit board through wires to supply power to the test circuit board; the computer is connected with the network analyzer through the network line to send instructions to the network analyzer, to set the parameters of the network analyzer and to measure the resonator characteristics of the pressure sensor. The test circuit board is also connected with the test circuit board through a USB serial port data line for sending instructions to the test circuit board.
【技术实现步骤摘要】
谐振器特性的批量化自动测试系统及测试方法
本公开涉及谐振器特性测试
，尤其涉及一种谐振器特性的批量化自动测试系统及测试方法。
技术介绍
谐振压力传感器是以谐振器作为敏感元件，根据谐振器的谐振频率随待检测压力变化而变化的规律来测量压力大小的一种装置。在谐振压力传感器组装完毕后，首先需要测试谐振器的特性，以判断传感器性能优劣，同时为后续设计电路提供参考。谐振器的特性测试是采用网络分析仪在谐振器的激振端施加激励电压，检测拾振端的输出电压，从而确定谐振器的谐振频率、幅频特性、相频特性、Q值和电阻等特性。传统的手动测试存在操作繁琐、数据记录麻烦、效率低等问题，耗时人力成本比较高，且不利于批量化生产。论文“硅谐振压力微传感器开环自动测试技术”介绍了一种谐振压力微传感器谐振器特性自动测试系统，该系统采用多个电路模块，设计过于繁琐，仅能测试传感器的幅频特性和Q值，测试功能单一，自动化程度较低，无法实现对多只压力传感器的开环自动测试。因此，如何研发出一种操作简单、工作效率高、自动化程度高，并且能实现谐振器特性批量化自动测试的系统成为本领域技术人员亟待解决的技术难题。公开内容(...
【技术保护点】
1.一种谐振器特性的批量化自动测试系统，包括：测试电路板(3)，设置有多个测试通道，用于固定压力传感器(9)；网络分析仪(1)，通过屏蔽线缆(2)与所述测试电路板(3)相连，用于提供测试电路板(3)上待测试压力传感器(9)的谐振器激振端的激励电压，同时检测谐振器拾振端的输出电压，进而输出谐振器特性参数；电源(6)，通过导线(8)与所述测试电路板(3)相连，用于给测试电路板(3)供电；以及计算机(5)，所述计算机(5)通过网线(4)与所述网络分析仪(1)相连，用于给网络分析仪(1)发送指令，对网络分析仪(1)参数的设置以及对压力传感器(9)谐振器特性的测试，并读取测试结果；还...
【技术特征摘要】
1.一种谐振器特性的批量化自动测试系统，包括：测试电路板(3)，设置有多个测试通道，用于固定压力传感器(9)；网络分析仪(1)，通过屏蔽线缆(2)与所述测试电路板(3)相连，用于提供测试电路板(3)上待测试压力传感器(9)的谐振器激振端的激励电压，同时检测谐振器拾振端的输出电压，进而输出谐振器特性参数；电源(6)，通过导线(8)与所述测试电路板(3)相连，用于给测试电路板(3)供电；以及计算机(5)，所述计算机(5)通过网线(4)与所述网络分析仪(1)相连，用于给网络分析仪(1)发送指令，对网络分析仪(1)参数的设置以及对压力传感器(9)谐振器特性的测试，并读取测试结果；还通过USB转串口数据线(7)与所述测试电路板(3)相连，用于给所述测试电路板(3)发送指令。2.根据权利要求1所述的谐振器特性的批量化自动测试系统，所测试的压力传感器的谐振器特性参数包括：谐振频率、幅频特性、相频特性、Q值或电阻值。3.根据权利要求1所述的谐振器特性的批量化自动测试系统，所述测试电路板(3)，包括：屏蔽线缆接口(10)，作为与网络分析仪(1)相连的屏蔽线缆(2)的接口；主控端(11)，用于接收计算机(5)所发出的指令；数据选择器(12)，用于执行从主控端传递出的由计算机(5)所发出的指令，并依此选择不同的测试通道测试不同的压力传感器(9)；电源接口(13)，作为与所述电源(6)相连的导线(8)的接口；串口接口(14)，作为与所述计算机(5)相连的USB转串口数据线(7)的接口；以及插孔(15)，每一个所述测试通道对应一个插孔(15)，用于插接待测试压力传感器(9)。4.根据权利要求3所述的谐振器特性的批量化自动测试系统，所述主控端(11)包括：stm32单片机、stm8单片机、...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈德勇，李亚东，尉洁，王军波，
申请(专利权)人：中国科学院电子学研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11
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