一种基于溶剂热合成法的气相蒸镀成膜方法及其合成薄膜技术

本发明专利技术公开了一种基于溶剂热合成法的气相蒸镀成膜方法包括以下操作：配置前驱物溶液；取预设体积的前驱物溶液放置于反应釜内衬中；将基片置于反应釜内衬内的液面上方，基片的待镀膜面面向液面且两者距离为1‑13mm；设置溶剂热的反应参数，反应后得到镀膜的基片；该方法具有低成本、高结合力以及形貌可控的特点。本发明专利技术公开了的基于溶剂热合成法的气相蒸镀成膜方法合成薄膜，薄膜的结合力强，形貌多变。

【技术实现步骤摘要】
一种基于溶剂热合成法的气相蒸镀成膜方法及其合成薄膜
本专利技术属于纳米薄膜制备
，尤其是一种基于溶剂热合成法的气相蒸镀成膜方法及其合成薄膜。
技术介绍
水热法又称热液法，属液相化学法，是指在一定的温度和压力下，在水、水溶液或蒸汽等流体中所进行有关化学反应的总称，通过控制物理化学因素实现无机化合物的形成和改性，尤其适用于氧化物功能材料或少数一些对水不敏感的硫属化合物的制备与处理。针对一些对水敏感的化合物，则在水热法的基础上发展了由有机物或非水溶媒为溶剂的溶剂热合成。水热法或溶剂热法已广泛被用来制备各种薄膜，可在分散剂的作用下，可获得均匀分散在溶液中的零维或一维薄膜，利用分散的薄膜溶液或粉末的独特理化性质，其在化学、生物、医疗、电子等诸多领域得到广泛应用。然而利用该法在基片或模板上直接生长目标合成物的二维纳米结构薄膜则需要通过籽晶层的设计或者长时间的静置使合成的材料通过物理吸附的方式附着在基底上，这种在液相中附着成膜的膜基结合力差和膜厚均匀性差的致命缺陷导致水热合成法始终无法成为薄膜直接成膜的工艺方法之一。然而近年来，随着薄膜应用领域的拓展，二维尺度的纳米化表面或薄膜在气敏、光控、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于溶剂热合成法的气相蒸镀成膜方法，其特征在于，包括以下操作：配置前驱物溶液；取预设体积的前驱物溶液放置于反应釜内衬中；将基片置于反应釜内衬内的液面上方，基片的待镀膜面面向液面；设置溶剂热的反应参数，反应后得到镀膜的基片。

【技术特征摘要】
1.一种基于溶剂热合成法的气相蒸镀成膜方法，其特征在于，包括以下操作：配置前驱物溶液；取预设体积的前驱物溶液放置于反应釜内衬中；将基片置于反应釜内衬内的液面上方，基片的待镀膜面面向液面；设置溶剂热的反应参数，反应后得到镀膜的基片。2.根据权利要求1所述的基于溶剂热合成法的气相蒸镀成膜方法，其特征在于，基片的待镀膜面平行于液面设置。3.根据权利要求1或2所述的基于溶剂热合成法的气相蒸镀成膜方法，其特征在于，基片的待镀膜面高出液面1-13mm。4.根据权利要求1或2所述的基于溶剂热合成法的气相蒸镀成膜方法，其特征在于，基片为清洁的基片。5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱旦，宋忠孝，朱凡，李雁淮，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西,61