一种用于振镜的激光头、激光加工装置及加工方法制造方法及图纸

本发明专利技术适用于激光加工技术领域，公开了一种用于振镜的激光头、激光加工装置及加工方法。激光头包括振镜，还包括第一整流管道、第二整流管道，所述第二整流管道套设于所述第一整流管道外；所述第一整流管道的侧壁设置有多个沿周向均布的分流口，所述第一整流管道的外侧设置有环形凹槽，所述环形凹槽与所述第二整流管道的内壁之间形成有整流腔，所述第一整流管道的内壁与所述第二整流管道的内壁之间还形成有气隙，所述进气孔连通于所述整流腔，所述气隙分别连通于所述整流腔、所述分流口。本发明专利技术提供的一种用于振镜的激光头、激光加工装置及加工方法，其保证激光束的稳定性，切割精度高，能够有效地保护振镜镜片。

A Laser Head, Laser Machining Device and Machining Method for Vibrating Mirror

The invention is applicable to the technical field of laser processing, and discloses a laser head for a galvanometer, a laser processing device and a processing method. The laser head includes a galvanometer, a first rectifier pipe and a second rectifier pipe, the second rectifier pipe is set outside the first rectifier pipe, the side wall of the first rectifier pipe is provided with multiple circumferentially uniform shunt ports, and the outer side of the first rectifier pipe is provided with an annular groove, which forms a rectification between the annular groove and the inner wall of the second rectifier pipe. An air gap is formed between the inner wall of the first rectifying pipe and the inner wall of the second rectifying pipe. The air inlet is connected to the rectifying cavity, and the air gap is connected to the rectifying cavity and the shunt port respectively. The invention provides a laser head, a laser processing device and a processing method for a galvanometer, which ensures the stability of the laser beam, has high cutting accuracy and can effectively protect the galvanometer lens.

【技术实现步骤摘要】
一种用于振镜的激光头、激光加工装置及加工方法
本专利技术属于激光加工
，尤其涉及一种用于振镜的激光头、激光加工装置及加工方法。
技术介绍
当采用激光振镜的切割方式进行切割时，由于设计需要，可能振镜距离工件表面很近，而激光切割时会随之带来粉尘，粉尘很容易粘附在振镜的保护镜片上，如果激光光束打到其表面的粉尘，会导致保护镜片破裂，损坏振镜。目前大多数振镜激光头都是采用同轴心高速气流或者风刀进行保护镜片，但是这两种方案没有考虑到湍流气流会影响激光的相干性，导致激光光束不稳定，切割精度低，所以有必要设计一种结构减小气动光学对激光光路的影响，同时能有效保护镜片。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决上述技术问题之一，提供了一种用于振镜的激光头、激光加工装置及加工方法，其可克服湍流气流会影响激光相干性的缺点，保证激光束的稳定性，切割精度高，能够有效地保护振镜镜片。本专利技术的技术方案是：一种用于振镜的激光头，包括振镜，还包括第一整流管道、第二整流管道，所述第二整流管道套设于所述第一整流管道外；所述第一整流管道的侧壁设置有多个沿周向均布的分流口，所述第一整流管道的外侧设置有环形凹槽，所述环形凹槽与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于振镜的激光头，包括振镜，其特征在于，还包括第一整流管道、第二整流管道，所述第二整流管道套设于所述第一整流管道外；所述第一整流管道的侧壁设置有多个沿周向均布的分流口，所述第一整流管道的外侧设置有环形凹槽，所述环形凹槽与所述第二整流管道的内壁之间形成有整流腔，所述第一整流管道的内壁与所述第二整流管道的内壁之间还形成有气隙，所述进气孔连通于所述整流腔，所述气隙分别连通于所述整流腔、所述分流口。

【技术特征摘要】
1.一种用于振镜的激光头，包括振镜，其特征在于，还包括第一整流管道、第二整流管道，所述第二整流管道套设于所述第一整流管道外；所述第一整流管道的侧壁设置有多个沿周向均布的分流口，所述第一整流管道的外侧设置有环形凹槽，所述环形凹槽与所述第二整流管道的内壁之间形成有整流腔，所述第一整流管道的内壁与所述第二整流管道的内壁之间还形成有气隙，所述进气孔连通于所述整流腔，所述气隙分别连通于所述整流腔、所述分流口。2.如权利要求1所述的一种用于振镜的激光头，其特征在于，所述整流腔与所述气隙均呈环状。3.如权利要求1所述的一种用于振镜的激光头，其特征在于，所述整流腔的宽度小于所述进气孔的直径，所述整流腔的宽度为A，所述进气孔的直径为B，其中：A＝1/2B。4.如权利要求3所述的一种用于振镜的激光头，其特征在于，所述气隙的宽度小于所述进气孔的直径，所述气隙的宽度为C，其中：1/3B≤C≤1/2B。5.如权利要求3或4中任一项所述的一种用于振镜的激光头，其特征在于，所述分流口的宽度为D，所述第一整流管道的半径为R，其中：D...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖林松，周志伟，杨璐鸿，吴排青，魏武，马庆平，马国东，尹建刚，陈才伟，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44