电阻测定装置、基板检查装置以及电阻测定方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种电阻测定装置、基板检查装置以及电阻测定方法。电阻测定装置包括第一电流探针、第二电流探针，接触芯片侧电极；第一检测探针、第二检测探针，接触外向电极；电压检测部，对第一检测探针、第二检测探针间的电压进行检测；第一恒定电流源，正极与第一电流探针连接，负极与地面连接，输出第一电流值的电流；第二恒定电流源，正极与第一恒定电流源的负极及地面连接并与第一恒定电流源串联连接，负极与第二电流探针连接，输出与第一电流值实质上相同的第二电流值的电流；接地探针，使配线与地面导通；以及电阻取得部，根据由电压检测部所检测到的电压来取得配线的电阻。

【技术实现步骤摘要】
电阻测定装置、基板检查装置以及电阻测定方法
本专利技术涉及一种进行电阻测定的电阻测定装置、使用其的基板检查装置、以及电阻测定方法。
技术介绍
之前，为了检查形成在印刷配线基板等基板上的配线图案，而测定配线图案的电阻值。作为配线图案的检查，有无断线的检查自不待言，也必须检测如配线图案的宽度变细、或厚度变薄般未达到断线的不良。为了检测此种未达到断线的不良，必须进行高精度的电阻测定。作为此种高精度的电阻测定方法，已知有使用四端子测定法的电阻测定装置。例如，日本公开公报特开2004-184374号公报中记载的电阻测定装置具备：用于朝电阻测定对象的配线图案中流出电阻测定用的电流的一对接触探针(P1、P2)、及用于测定电阻测定部位的电压的一对接触探针(P3、P4)。根据此结构，电阻测定用的电流不在电压测定用的接触探针P3、接触探针P4中流动，因此由接触探针P3、接触探针P4自身的电阻所引起的电压下降减少，可进行高精度的电阻测定。根据日本公开公报特开2004-184374号公报的图1，电流输出用的正极侧的接触探针P1与恒定电流源连接，负极侧的接触探针P2与电路接地(circuitground)连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电阻测定装置，其是用于测定导体的电阻，所述电阻测定装置的特征在于包括：第一电流探针及第二电流探针，用于接触所述导体并流出规定的测定用电流；第一检测探针及第二检测探针，用于接触所述导体并检测通过所述测定用电流而在所述导体中产生的电压；电压检测部，检测所述第一检测探针及所述第二检测探针间的电压；第一恒定电流源，所述第一恒定电流源的正极与所述第一电流探针连接，所述第一恒定电流源的负极与地面连接，输出事先设定的第一电流值的电流；第二恒定电流源，所述第二恒定电流源的正极与所述第一恒定电流源的负极及所述地面连接并与所述第一恒定电流源串联连接，所述第二恒定电流源的负极与所述第二电流探针连接，输出与所...

【技术特征摘要】
2017.09.27 JP 2017-1866411.一种电阻测定装置，其是用于测定导体的电阻，所述电阻测定装置的特征在于包括：第一电流探针及第二电流探针，用于接触所述导体并流出规定的测定用电流；第一检测探针及第二检测探针，用于接触所述导体并检测通过所述测定用电流而在所述导体中产生的电压；电压检测部，检测所述第一检测探针及所述第二检测探针间的电压；第一恒定电流源，所述第一恒定电流源的正极与所述第一电流探针连接，所述第一恒定电流源的负极与地面连接，输出事先设定的第一电流值的电流；第二恒定电流源，所述第二恒定电流源的正极与所述第一恒定电流源的负极及所述地面连接并与所述第一恒定电流源串联连接，所述第二恒定电流源的负极与所述第二电流探针连接，输出与所述第一电流值实质上相同的第二电流值的电流；接地部，使所述导体中的规定部位与所述地面导通；以及电阻取得部，根据由所述电压检测部所检测到的电压来取得所述电阻。2.根据权利要求1所述的电阻测定装置，其特征在于，所述接地部包含用于接触所述规定部位的接地探针，且所述接地探针与所述地面连接。3.根据权利要求1所述的电阻测定装置，其特征在于，所述接地部是将所述第二检测探针与所述地面连接的配线。4.一种基板检查装置，其特征在于包括：根据权利要求1至3中任一项所述的电阻测定装置；以及基板检查部，根据由所述电阻测定装置所测定的电阻，进行形成在基板上的作为所述导体的配线的检查。5.一种电阻测定方法，其是测定导体的电阻...

【专利技术属性】
技术研发人员：山下宗寛，
申请(专利权)人：日本电产理德股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP