微焦点冷阴极聚焦结构制造技术

本实用新型专利技术公开一种微焦点冷阴极聚焦结构，包括聚焦极安装瓷件包括安装平面；阴极绝缘瓷件设置于安装平面,其具有第一通孔；阴极组件包括阴极基座及设置于阴极基座的阴极片；栅极设置于安装平面，具有第一沉孔及第二通孔；栅极孔设置于第一沉孔的底面；聚焦极设置于栅极；栅极绝缘瓷件设置于栅极与聚焦极之间，与栅极相向的那面具有第三通孔；第二沉孔设置于聚焦极与栅极绝缘瓷件相对的那面；聚焦极孔设置于第二沉孔的底面；第一螺钉依次穿过聚焦极安装瓷件、第二通孔、第三通孔与聚焦极旋合，其与第二通孔、第三通孔之间具有间隙；阴极绝缘瓷件套装于第一沉孔内。它的栅极孔、聚焦极孔和阴极片对中位置可调。

【技术实现步骤摘要】
微焦点冷阴极聚焦结构
本技术涉及真空电子器件的阴极技术，具体涉及微焦点冷阴极聚焦结构。
技术介绍
对于X射线管而言，其焦点大小是一个很重要的属性，焦点的尺寸大小及聚焦质量直接影响X射线管透视、摄影图像的清晰度。目前X射线管使用的大都是热钨阴极，冷阴极还在试验阶段。而小焦点才能发挥冷阴极真正的优势，目前这方面的资料很少。控制冷阴极发射需要栅极，和聚焦极的辅助。栅极电压控制发射电流，目前碳纳米阴极发射的场强是10V/μm，栅极间距如果在0.2mm，需要的电压就是2kV，对于小距离的控制和保证绝缘是至关重要的。而聚焦极是控制电子束聚焦的，是保证焦点大小的重要零件，其与栅极之间的距离控制和绝缘保证也是非常重要的。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，提供一种及微焦点冷阴极聚焦结构，其栅极孔、聚焦极孔和阴极片对中位置可调。为解决上述技术问题，本技术采用下述技术方案。一种微焦点冷阴极聚焦结构，包括：聚焦极安装瓷件，其包括安装平面；阴极绝缘瓷件，其设置于该安装平面,其与该安装平面相向的那面具有第一通孔；阴极组件，其包括设置于该安装平面并套装于该第一通孔内的阴极基座及设置于该阴极基座与该安装平面相对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微焦点冷阴极聚焦结构，其特征在于，包括：聚焦极安装瓷件，其包括安装平面；阴极绝缘瓷件，其设置于该安装平面,其与该安装平面相向的那面具有第一通孔；阴极组件，其包括设置于该安装平面并套装于该第一通孔内的阴极基座及设置于该阴极基座与该安装平面相对那面的阴极片；栅极，其设置于该安装平面，其与该安装平面相向的那面具有第一沉孔及第二通孔；栅极孔，其设置于该第一沉孔的底面与该阴极片中心相对应的位置并贯穿该第一沉孔的底面；聚焦极，其设置于该栅极与该聚焦极安装瓷件相对的那面；栅极绝缘瓷件，其设置于该栅极与该聚焦极之间，且不封住该栅极孔，其与该栅极相向的那面具有第三通孔；第二沉孔，其设置于该聚焦极与该栅极...

【技术特征摘要】
1.一种微焦点冷阴极聚焦结构，其特征在于，包括：聚焦极安装瓷件，其包括安装平面；阴极绝缘瓷件，其设置于该安装平面,其与该安装平面相向的那面具有第一通孔；阴极组件，其包括设置于该安装平面并套装于该第一通孔内的阴极基座及设置于该阴极基座与该安装平面相对那面的阴极片；栅极，其设置于该安装平面，其与该安装平面相向的那面具有第一沉孔及第二通孔；栅极孔，其设置于该第一沉孔的底面与该阴极片中心相对应的位置并贯穿该第一沉孔的底面；聚焦极，其设置于该栅极与该聚焦极安装瓷件相对的那面；栅极绝缘瓷件，其设置于该栅极与该聚焦极之间，且不封住该栅极孔，其与该栅极相向的那面具有第三通孔；第二沉孔，其设置于该聚焦极与该栅极绝缘瓷件相对的那面；聚焦极孔，其设置于该第二沉孔的底面与该栅极孔相对应的位置并贯穿该第二沉孔的底面；第一螺钉，其依次穿过该聚焦极安装瓷件、第二通孔、第三通孔后与该聚焦极旋合，其与第二通孔、第三通孔之间具有间隙；...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾春辉，刘斌，王郑力，
申请(专利权)人：成都凯赛尔电子有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51