物理量传感器和传感器器件、电子设备、便携式电子设备及移动体制造技术

提供一种能够发挥良好温度特性的物理量传感器和传感器器件、电子设备、便携式电子设备及移动体。物理量传感器包括基板、检测第一方向加速度的一对第一元件部以及检测第二方向加速度的一对第二元件部。第一元件部包括能够沿第一方向位移的第一可动部、配置于第一可动部的第一、第二可动电极指、与第一、第二可动电极指相对配置的第一、第二固定电极指、以及支承第一、第二固定电极指的第一、第二支承部。第二元件部包括能够沿第二方向位移的第二可动部、配置于第二可动部的第三、第四可动电极指、与第三、第四可动电极指相对配置的第三、第四固定电极指、以及支承第三、第四固定电极指的第三、第四支承部。

【技术实现步骤摘要】
物理量传感器和传感器器件、电子设备、便携式电子设备及移动体
本专利技术涉及物理量传感器、物理量传感器器件、电子设备、便携式电子设备以及移动体。
技术介绍
例如，专利文献1所述的加速度传感器是能够检测X轴方向的加速度与Y轴方向的加速度的双轴加速度传感器。这样的加速度传感器具有：基板、能够相对于基板沿X轴方向以及Y轴方向位移的可动部、从可动部向Y轴方向正侧延伸突出的第一X轴可动电极指、从可动部向Y轴方向负侧延伸突出的第二X轴可动电极指、从可动部向X轴方向正侧延伸突出的第一Y轴可动电极指、从可动部向X轴方向负侧延伸突出的第二Y轴可动电极指、与第一X轴可动电极指相对的第一X轴固定电极指、与第二X轴可动电极指相对的第二X轴固定电极指、与第一Y轴可动电极指相对的第一Y轴固定电极指、与第二Y轴可动电极指相对的第二Y轴固定电极指、与基板接合并支承第一X轴固定电极指的第一X支承部、与基板接合并支承第二X轴固定电极指的第二X支承部、与基板接合并支承第一Y轴固定电极指的第一Y支承部、以及与基板接合并支承第二Y轴固定电极指的第二Y支承部。在这样的加速度传感器中，能够基于第一X轴可动电极指与第一X轴固定电极指之间的静电电容以及第二X轴可动电极指与第二X轴固定电极指之间的静电电容的变化而检测X轴方向的加速度，基于第一Y轴可动电极指与第一Y轴固定电极指之间的静电电容以及第二Y轴可动电极指与第二Y轴固定电极指之间的静电电容的变化而检测轴方向的加速度。然而，在专利文献1所述的加速度传感器中，由于第一X支承部与第二X支承部位于可动部的相反侧，因此它们的分离距离增大。因此，在第一X支承部与第二X支承部，基板的翘曲(热挠曲)的影响不同，根据温度，在第一X轴可动电极指与第一X轴固定电极指之间的静电电容以及第二X轴可动电极指与第二X轴固定电极指之间的静电电容产生偏差，X轴加速度的检测精度降低。对于Y轴加速度也与其同样。这样，专利文献1所记载的加速度传感器容易受到基板翘曲的影响，无法发挥良好的温度特性。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2000-512023号公报。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供能够发挥良好温度特性的物理量传感器、物理量传感器器件、电子设备、便携式电子设备以及移动体。本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而作出的，能够作为以下的专利技术实现。本专利技术的物理量传感器的特征在于，包括：基板；一对第一元件部，配置于所述基板，检测第一方向的加速度；以及一对第二元件部，配置于所述基板，检测与所述第一方向正交的第二方向的加速度，所述一对第一元件部分别包括：第一可动部，相对于所述基板能够沿所述第一方向位移；第一可动电极指以及第二可动电极指，配置于所述第一可动部；第一固定电极指，相对于所述第一可动电极指配置于所述第一方向的一侧；第一支承部，固定于所述基板，支承所述第一固定电极指；第二固定电极指，相对于所述第二可动电极指配置于所述第一方向的另一侧；以及第二支承部，固定于所述基板，与所述第一支承部并排设置，并支承所述第二固定电极指，所述一对第二元件部分别包括：第二可动部，相对于所述基板能够沿所述第二方向位移；第三可动电极指以及第四可动电极指，配置于所述第二可动部；第三固定电极指，相对于所述第三可动电极指配置于所述第二方向的一侧；第三支承部，固定于所述基板，支承所述第三固定电极指；第四固定电极指，相对于所述第四可动电极指配置于所述第二方向的另一侧；以及第四支承部，固定于所述基板，与所述第三支承部并排设置，支承所述第四固定电极指。由此，能够减小基板的热挠曲的影响，获得能够发挥良好的温度特性的物理量传感器。在本专利技术的物理量传感器中，优选的是，所述一对第一元件部分别包括：第一固定部，固定于所述基板；以及第一弹簧部，连结所述第一固定部与所述第一可动部，所述第一可动部经由所述第一弹簧部被所述第一固定部悬臂支承，所述一对第二元件部分别包括：第二固定部，固定于所述基板；以及第二弹簧部，连结所述第二固定部与所述第二可动部，所述第二可动部经由所述第二弹簧部被所述第二固定部悬臂支承。由此，例如，与对第一可动部以及第二可动部进行两端支承的结构相比较，能够实现物理量传感器的小型化。在本专利技术的物理量传感器中，优选的是，当施加以与所述第一方向以及所述第二方向正交的第三方向为轴的角速度时，在所述一对第一元件部，所述第一可动电极指与所述第一固定电极指的分离距离以及所述第二可动电极指与所述第二固定电极指的分离距离彼此分离或者接近，在所述一对第二元件部，所述第三可动电极指与所述第三固定电极指的分离距离以及所述第四可动电极指与所述第四固定电极指的分离距离彼此分离或者接近。由此，能够减小角速度的影响。在本专利技术的物理量传感器中，优选的是，设定沿着所述第一方向的第一假想线与沿着所述第二方向且与所述第一假想线正交的第二假想线，在俯视下，将由所述第一假想线与所述第二假想线分隔的四个象限中相对于所述第一假想线与所述第二假想线的交点相对的一组象限设为第一象限以及第二象限，另一组设为第三象限以及第四象限时，所述一对第一元件部的一方配置于所述第一象限，另一方配置于第二象限，所述一对第二元件部的一方配置于所述第三象限，另一方配置于第四象限。由此，能够将第一元件部以及第二元件部配置于比较小的空间，能够实现物理量传感器的小型化。在本专利技术的物理量传感器中，优选的是，所述一对第一元件部相对于所述交点点对称配置，所述一对第二元件部相对于所述交点点对称配置。由此，能够平衡良好地配置四个第一元件部、第二元件部。本专利技术的物理量传感器器件的特征在于，包括：本专利技术的物理量传感器；以及电路元件。由此，能够享受本专利技术的物理量传感器的效果，获得可靠性高的物理量传感器器件。本专利技术的电子设备的特征在于，包括：本专利技术的物理量传感器；控制电路；以及校正电路。由此，能够享受本专利技术的物理量传感器的效果，获得可靠性高的电子设备。本专利技术的便携式电子设备的特征在于，包括：本专利技术的物理量传感器；壳体，收容所述物理量传感器；处理部，收容于所述壳体，处理来自所述物理量传感器的输出数据；显示部，收容于所述壳体；以及透光性罩，覆盖所述壳体的开口部。由此，能够享受本专利技术的物理量传感器的效果，获得可靠性高的便携式电子设备。本专利技术的移动体的特征在于，包括：本专利技术的物理量传感器；以及姿态控制部。由此，能够享受本专利技术的物理量传感器的效果，获得可靠性高的移动体。附图说明图1是示出本专利技术的第一实施方式涉及的物理量传感器的俯视图。图2是图1中的A-A线剖视图。图3是示出四个元件部的配置的俯视图。图4是示出四个元件部的立体图。图5是示出向图1所示的物理量传感器施加的电压的图。图6是示出在基板产生了热挠曲的状态的剖视图。图7是示出在物理量传感器作用有角速度的状态的俯视图。图8是示出图1所示的物理量传感器的变形例的俯视图。图9是示出本专利技术的第二实施方式涉及的物理量传感器的俯视图。图10是示出本专利技术的第三实施方式涉及的物理量传感器的俯视图。图11是示出本专利技术的第四实施方式涉及的物理量传感器的俯视图。图12是示出本专利技术的第五实施方式涉及的物理量传感器器件的剖视图。图13是示出本专利技术的第六实施方式涉及的电子设备的立体图。图14是示出本专利技术的第七实施方式涉及的电子设备的立体图。图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；一对第一元件部，配置于所述基板，检测第一方向的加速度；以及一对第二元件部，配置于所述基板，检测与所述第一方向正交的第二方向的加速度，所述一对第一元件部分别包括：第一可动部，相对于所述基板能够沿所述第一方向位移；第一可动电极指以及第二可动电极指，配置于所述第一可动部；第一固定电极指，相对于所述第一可动电极指配置于所述第一方向的一侧；第一支承部，固定于所述基板，支承所述第一固定电极指；第二固定电极指，相对于所述第二可动电极指配置于所述第一方向的另一侧；以及第二支承部，固定于所述基板，与所述第一支承部并排设置，支承所述第二固定电极指，所述一对第二元件部分别包括：第二可动部，相对于所述基板能够沿所述第二方向位移；第三可动电极指以及第四可动电极指，配置于所述第二可动部；第三固定电极指，相对于所述第三可动电极指配置于所述第二方向的一侧；第三支承部，固定于所述基板，支承所述第三固定电极指；第四固定电极指，相对于所述第四可动电极指配置于所述第二方向的另一侧；以及第四支承部，固定于所述基板，与所述第三支承部并排设置，支承所述第四固定电极指。

【技术特征摘要】
2017.09.22 JP 2017-1821701.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；一对第一元件部，配置于所述基板，检测第一方向的加速度；以及一对第二元件部，配置于所述基板，检测与所述第一方向正交的第二方向的加速度，所述一对第一元件部分别包括：第一可动部，相对于所述基板能够沿所述第一方向位移；第一可动电极指以及第二可动电极指，配置于所述第一可动部；第一固定电极指，相对于所述第一可动电极指配置于所述第一方向的一侧；第一支承部，固定于所述基板，支承所述第一固定电极指；第二固定电极指，相对于所述第二可动电极指配置于所述第一方向的另一侧；以及第二支承部，固定于所述基板，与所述第一支承部并排设置，支承所述第二固定电极指，所述一对第二元件部分别包括：第二可动部，相对于所述基板能够沿所述第二方向位移；第三可动电极指以及第四可动电极指，配置于所述第二可动部；第三固定电极指，相对于所述第三可动电极指配置于所述第二方向的一侧；第三支承部，固定于所述基板，支承所述第三固定电极指；第四固定电极指，相对于所述第四可动电极指配置于所述第二方向的另一侧；以及第四支承部，固定于所述基板，与所述第三支承部并排设置，支承所述第四固定电极指。2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，所述一对第一元件部分别包括：第一固定部，固定于所述基板；以及第一弹簧部，连结所述第一固定部与所述第一可动部，所述第一可动部经由所述第一弹簧部被所述第一固定部悬臂支承，所述一对第二元件部分别包括：第二固定部，固定于所述基板；以及第二弹簧部，连结所述第二固定部与所述第二可动部，所述第二可动部经由所述第二弹簧部被所述第二固定部悬臂支承。3.根据权利要求1或2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中悟，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP