物理量传感器和传感器器件、电子设备、便携式电子设备及移动体制造技术

提供一种能够发挥良好温度特性的物理量传感器和传感器器件、电子设备、便携式电子设备及移动体。物理量传感器包括基板、检测第一方向加速度的一对第一元件部以及检测第二方向加速度的一对第二元件部。第一元件部包括能够沿第一方向位移的第一可动部、配置于第一可动部的第一、第二可动电极指、与第一、第二可动电极指相对配置的第一、第二固定电极指、以及支承第一、第二固定电极指的第一、第二支承部。第二元件部包括能够沿第二方向位移的第二可动部、配置于第二可动部的第三、第四可动电极指、与第三、第四可动电极指相对配置的第三、第四固定电极指、以及支承第三、第四固定电极指的第三、第四支承部。

【技术实现步骤摘要】
物理量传感器和传感器器件、电子设备、便携式电子设备及移动体
本专利技术涉及物理量传感器、物理量传感器器件、电子设备、便携式电子设备以及移动体。
技术介绍
例如，专利文献1所述的加速度传感器是能够检测X轴方向的加速度与Y轴方向的加速度的双轴加速度传感器。这样的加速度传感器具有：基板、能够相对于基板沿X轴方向以及Y轴方向位移的可动部、从可动部向Y轴方向正侧延伸突出的第一X轴可动电极指、从可动部向Y轴方向负侧延伸突出的第二X轴可动电极指、从可动部向X轴方向正侧延伸突出的第一Y轴可动电极指、从可动部向X轴方向负侧延伸突出的第二Y轴可动电极指、与第一X轴可动电极指相对的第一X轴固定电极指、与第二X轴可动电极指相对的第二X轴固定电极指、与第一Y轴可动电极指相对的第一Y轴固定电极指、与第二Y轴可动电极指相对的第二Y轴固定电极指、与基板接合并支承第一X轴固定电极指的第一X支承部、与基板接合并支承第二X轴固定电极指的第二X支承部、与基板接合并支承第一Y轴固定电极指的第一Y支承部、以及与基板接合并支承第二Y轴固定电极指的第二Y支承部。在这样的加速度传感器中，能够基于第一X轴可动电极指与第一X轴固定电极指本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；一对第一元件部，配置于所述基板，检测第一方向的加速度；以及一对第二元件部，配置于所述基板，检测与所述第一方向正交的第二方向的加速度，所述一对第一元件部分别包括：第一可动部，相对于所述基板能够沿所述第一方向位移；第一可动电极指以及第二可动电极指，配置于所述第一可动部；第一固定电极指，相对于所述第一可动电极指配置于所述第一方向的一侧；第一支承部，固定于所述基板，支承所述第一固定电极指；第二固定电极指，相对于所述第二可动电极指配置于所述第一方向的另一侧；以及第二支承部，固定于所述基板，与所述第一支承部并排设置，支承所述第二固定电极指，所述一对第二元件部分...

【技术特征摘要】
2017.09.22 JP 2017-1821701.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；一对第一元件部，配置于所述基板，检测第一方向的加速度；以及一对第二元件部，配置于所述基板，检测与所述第一方向正交的第二方向的加速度，所述一对第一元件部分别包括：第一可动部，相对于所述基板能够沿所述第一方向位移；第一可动电极指以及第二可动电极指，配置于所述第一可动部；第一固定电极指，相对于所述第一可动电极指配置于所述第一方向的一侧；第一支承部，固定于所述基板，支承所述第一固定电极指；第二固定电极指，相对于所述第二可动电极指配置于所述第一方向的另一侧；以及第二支承部，固定于所述基板，与所述第一支承部并排设置，支承所述第二固定电极指，所述一对第二元件部分别包括：第二可动部，相对于所述基板能够沿所述第二方向位移；第三可动电极指以及第四可动电极指，配置于所述第二可动部；第三固定电极指，相对于所述第三可动电极指配置于所述第二方向的一侧；第三支承部，固定于所述基板，支承所述第三固定电极指；第四固定电极指，相对于所述第四可动电极指配置于所述第二方向的另一侧；以及第四支承部，固定于所述基板，与所述第三支承部并排设置，支承所述第四固定电极指。2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，所述一对第一元件部分别包括：第一固定部，固定于所述基板；以及第一弹簧部，连结所述第一固定部与所述第一可动部，所述第一可动部经由所述第一弹簧部被所述第一固定部悬臂支承，所述一对第二元件部分别包括：第二固定部，固定于所述基板；以及第二弹簧部，连结所述第二固定部与所述第二可动部，所述第二可动部经由所述第二弹簧部被所述第二固定部悬臂支承。3.根据权利要求1或2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中悟，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP