液体喷出头、液体喷出装置以及压电器件制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种对被连接在上电极上的配线电短路的不良情况进行抑制的液体喷出头、液体喷出装置以及压电器件。液体喷出头具备：压力室；振动板，其构成压力室的壁面；喷嘴，其对被收纳于压力室内的液体进行喷出；以及压电元件，其被配置在振动板的一侧。压电元件具备：压电体层，其被施加电压而变形；第一电极，其被配置在振动板与压电体层之间且压电体层的一面上；以及第二电极，其被配置在压电体层的另一面上。液体喷出头具备与第二电极连接并且沿着压电体层的面方向而延伸的配线，在配线和振动板之间的区域、且在与第二电极的面方向垂直的朝向上配线与第二电极或压电体层均未重叠的第一区域中，不具有成为与第一电极相同电位的金属层。

【技术实现步骤摘要】
液体喷出头、液体喷出装置以及压电器件
本专利技术涉及一种液体喷出头、液体喷出装置以及压电器件。
技术介绍
在液体喷出装置中，广泛地使用了具备用于使液体喷出的压电元件的液体喷出头。在压电元件中，主要具备有压电体、下电极和上电极，其中，所述下电极被形成于压电体的一侧的表面上，所述上电极被形成于压电体的另一侧的表面上，并且被形成于隔着压电体而与下电极相对置的位置上。例如，下电极作为在多个压电元件之间被导通的共用电极而形成，而上电极作为独立电极而形成。此外，在上电极上连接有用于作为独立电极而发挥功能的配线。在与该上电极连接的配线与下电极之间，形成有具有绝缘功能的保护膜(例如，专利文献1)。在被形成于与上电极连接的配线和下电极之间的保护膜上，有时会由于某种原因而产生缺陷。在这种情况下,当向上电极施加电压时，存在如下问题，即，电流从配线经由该缺陷而流向下电极，从而变得无法正常地驱动压电元件。专利文献1：日本特开2014-179549号公报
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的专利技术，并且能够作为以下的方式或者应用例来实现。(1)根据本公开内容的一个方式，提供了一种液体喷出头，其具备：压力室，其对液体进行收纳；振动板，其构成所述压力室的壁面；喷嘴，其对被收纳于所述压力室中的液体进行喷出；以及压电元件，其被配置在所述振动板的一侧。所述压电元件具备：压电体层，其被施加电压而变形；第一电极，其被配置在所述振动板与所述压电体层之间、且所述压电体层的一面上；第二电极，其被配置在所述压电体层的另一面上。所述液体喷出头具备配线，所述配线与所述第二电极连接，并且沿着所述压电体层的面方向而延伸，在所述配线与所述振动板之间的区域中，且在与所述第二电极的面方向垂直的朝向上所述配线与所述第二电极或者所述压电体层均不重叠的第一区域中，不具有成为与所述第一电极相同电位的金属层。在这种方式中，在经由配线而向第二电极施加电压时，能够避免与第一电极相同电位的金属与配线短路的不良情况，由此能够稳定地驱动压电元件。(2)在上述方式的液体喷出头中，还可以设定为如下方式，即，在所述第一区域中不具有金属层。在这种方式中，因为在与第二电极连接的配线与振动板之间的区域即第一区域内，无论其电位如何都未配置金属层，所以能够避免配线短路的不良情况，由此能够稳定地驱动压电元件。(3)在上述方式的液体喷出头中，还可以设定为如下方式，即，在所述第一区域中具有金属层，所述金属层由与所述第一电极相同的材料而构成，并且未与所述第一电极电连接。在这种方式中，在与第二电极连接的配线与振动板之间的区域即第一区域中所具备的金属层，并未与第一电极电连接。因此，能够避免配线短路的不良情况，由此能够稳定地驱动压电元件。(4)根据本公开内容的其他的方式，提供了一种具备上述方式的液体喷出头的液体喷出装置。(5)根据本公开内容的其他的方式，提供了一种压电器件，其具备；振动板；以及压电元件，其被配置在所述振动板的一侧。所述压电元件具备：压电体层，其被施加电压而变形；第一电极，其被配置在所述振动板与所述压电体层之间、且所述压电体层的一面上；以及第二电极，其被配置在所述压电体层的另一面上。所述压电器件具备配线，所述配线与所述第二电极连接，并且沿着所述压电体层的面方向而延伸，在所述配线与所述振动板之间的区域中，且在与所述第二电极的面方向垂直朝向上所述配线与所述第二电极或者所述压电体层均不重叠的第一区域中，不具有成为与所述第一电极相同电位的金属层。(6)根据本公开内容的其他方式，提供了一种液体喷出头，其具备：压力室，其对液体进行收纳；振动板，其构成所述压力室的壁面；喷嘴，其对被收纳于所述压力室中的液体进行喷出；以及压电元件，其被配置在所述振动板中的所述压力室的相反侧。该液体喷出头的所述压电元件具备：压电体层，其被施加电压而变形；第一电极，其被配置在所述振动板与所述压电体层之间、且所述压电体层的一面上；以及第二电极，其被配置在所述压电体层的另一面上。所述液体喷出头具备配线，所述配线与所述第二电极连接，并且沿着所述压电体层的面方向而延伸。所述第二电极与所述振动板之间的区域、且所述第二电极中的所述配线延伸的方向侧的端部与所述振动板之间的区域即第二区域，由包含所述压电体层在内的绝缘部而构成。根据该方式的液体喷出头，在经由配线而向第二电极施加电压时，能够避免第一电极与配线短路的不良情况，由此能够稳定地驱动压电元件。上文所述的本专利技术的各方式所具有的多个构成要素并不一定全部是必须的，为了解决上述课题的一部分或全部，或者为了达成本说明书中所记载的效果的一部分或者全部，能够适当地对所述多个构成要素的一部分的构成要素，实施变更、删除、与新的其他构成要素之间的替换、限定内容的一部分删除。此外，为了解决上述课题的一部分或者全部，或者为达成本说明书中所记载的效果的一部分或者全部，还能够将上文所述的本专利技术的一个方式中所包含的技术特征的一部分或者全部与上文所述的本专利技术的其他方式中所包含的技术特征的一部分或者全部组合起来而形成本专利技术的独立的一个方式。本专利技术还能够以液体喷出头、液体喷出装置、压电器件以外的各种方式而实现。例如能够以这些装置的制造方法或者控制方法、实现该控制方法的计算机程序、记录有该计算机程序的非临时性的记录介质等方式来实现。附图说明图1为表示搭载了第一实施方式的液体喷出头的液体喷出装置100的说明图。图2为液体喷出头26的分解立体图。图3为液体喷出头26的剖视图。图4为表示在Z方向上透视了液体喷出头26的情况下的压力室Ch、压电致动器38和配线56的配置的俯视图。图5为图4的V－V线的压电致动器38的剖视图。图6为放大了压电致动器38的一部分的剖视图。图7为放大了第二实施方式的压电致动器38b的一部分的剖视图。图8为表示在Z方向上透视了液体喷出头26的情况下的压力室Ch、压电致动器38c和配线56的配置的俯视图。图9为示意性地表示压电致动器38c于范围Ar内的结构的剖视图。图10为表示具备超声波传感器90的超声波诊断装置81的结构的图。图11为表示超声波传感器90的一个示例的俯视图。具体实施方式A、第一实施方式：图1为表示搭载了第一实施方式的液体喷出头的液体喷出装置100的说明图。另外，在图1中标注有如下的箭头标记，即，将X方向的一方的方向设为“X1方向”，而将与X1方向相反的方向设为“X2方向”，并且将与X方向正交的Y方向的一方的方向设为“Y1方向”，而将与Y1方向相反的方向设为“Y2方向”。将由该X方向和Y方向构成的平面设为“XY平面”。此外，虽然未在图1中示出，但是将与XY平面正交的Z方向的一方的方向设为“Z1方向”，而将相反的方向设为“Z2方向”。此外，将由X方向和Z方向构成的平面设为“XZ平面”，且将由Y方向和Z方向构成的平面设为“YZ平面”。以下，将各箭头标记也表示于各附图中。液体喷出装置100具备控制单元20、输送机构22、移动机构24和液体喷出头26。此外，在液体喷出装置100中，能够安装对油墨进行收纳的液体容器14，并且能够对介质12进行放置。液体喷出装置100为向介质12喷出从液体容器14供给的液体的油墨的喷墨方式的印刷装置。控制单元20由例如具备CPU、ROM、RAM的计算机而本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体喷出头，具备：压力室，其对液体进行收纳；振动板，其构成所述压力室的壁面；喷嘴，其对被收纳于所述压力室中的液体进行喷出；以及压电元件，其被配置在所述振动板的一侧，所述压电元件具备：压电体层，其被施加电压而变形；第一电极，其被配置在所述振动板与所述压电体层之间、且所述压电体层的一面上；以及第二电极，其被配置在所述压电体层的另一面上，所述液体喷出头具备配线，所述配线与所述第二电极连接，并且沿着所述压电体层的面方向而延伸，在所述配线与所述振动板之间的区域中，且在与所述第二电极的面方向垂直的朝向上所述配线与所述第二电极或者所述压电体层均不重叠的第一区域中，不具有成为与所述第一电极相同电位的金属层。

【技术特征摘要】
2017.09.19 JP 2017-178646;2018.01.30 JP 2018-013691.一种液体喷出头，具备：压力室，其对液体进行收纳；振动板，其构成所述压力室的壁面；喷嘴，其对被收纳于所述压力室中的液体进行喷出；以及压电元件，其被配置在所述振动板的一侧，所述压电元件具备：压电体层，其被施加电压而变形；第一电极，其被配置在所述振动板与所述压电体层之间、且所述压电体层的一面上；以及第二电极，其被配置在所述压电体层的另一面上，所述液体喷出头具备配线，所述配线与所述第二电极连接，并且沿着所述压电体层的面方向而延伸，在所述配线与所述振动板之间的区域中，且在与所述第二电极的面方向垂直的朝向上所述配线与所述第二电极或者所述压电体层均不重叠的第一区域中，不具有成为与所述第一电极相同电位的金属层。2.如权利要求1所述的液体喷出头，其中，在所述第一区域中不具有金属层。3.如权利要求1所述的液体喷出头，其中，在所述第一区域中具有金属层，所述金属层由与所述第一电极相同的材料而构成，并且未与所述第一电极电连接。4.一种液体喷出装置，其具备：如权利要求1至权利要求3中的任意一项所述的液体喷出头。5.一种压电器件，具备：振动板；以及压电元件，其被配置在所述振动板的一侧，所述压电元件具备：压电体层，其被施加电压而变形；第一电极，其被配置在所述振动板与所述压电体层之间、且所述压电体层的一面上；以及第二电极，其被配置在所述压电体层的另一面上...

【专利技术属性】
技术研发人员：朝冈一郎，平井荣树，西胁学，加藤洋，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP