基板支撑装置、显示面板制造设备和基板支撑方法制造方法及图纸

本公开提供基板支撑装置、显示面板制造设备和基板支撑方法。基板支撑装置，包括：承载机构，用于承载基板，所述承载机构设置有通孔；一个或多个粘性垫，位于所述承载机构上，围绕所述通孔，并且用于将所述基板固定在所述承载机构上；和升降机构，所述升降机构通过穿过所述通孔来控制所述基板的升降；其中所述升降机构的顶部设置有发光部件，在与所述基板接触时发光，照射所述粘性垫，使得所述粘性垫的粘性由第一粘性降低至第二粘性。粘性垫的粘性通过发光部件的照射而降低，可以避免在基板分离时发生基板破裂。

Substrate Support Device, Display Panel Manufacturing Equipment and Substrate Support Method

The present disclosure provides a base plate supporting device, a display panel manufacturing device and a base plate supporting method. The base plate supporting device includes: a bearing mechanism for carrying the base plate, the bearing mechanism is provided with through holes; one or more viscous pads are located on the bearing mechanism, surrounded by the through holes, and used to fix the base plate on the bearing mechanism; and a lifting mechanism, the lifting mechanism controls the rise and fall of the base plate through the through the through holes; and the lifting mechanism. The top part of the descending mechanism is provided with a light emitting component, which illuminates the viscous pad when it contacts the substrate, thereby reducing the viscous pad from the first viscous to the second viscous. The stickiness of the viscous pad is reduced by the irradiation of the luminous components, which can avoid the breakdown of the substrate when the substrate is separated.

【技术实现步骤摘要】
基板支撑装置、显示面板制造设备和基板支撑方法
本公开涉及显示领域。具体地，本公开涉及一种基板支撑装置、显示面板制造设备和基板支撑方法。
技术介绍
有机发光二极管显示器被认为是新一代显示技术，具有自发光高对比度、厚度薄、低功耗等一系列优异特性。有机发光二极管器件中的有机功能层主要采用真空热蒸镀法制备。蒸发材料存放于蒸发源中的坩埚内，通过加热器对坩埚进行加热使蒸发材料升华。这样，有机蒸汽从喷射机构喷出沉积于基板的蒸镀面上，在基板表面形成均匀的有机薄膜。蒸镀设备多采用基板镀膜面向下的形式，可以提高材料的利用率并且避免蒸镀过程中产生的灰尘颗粒落在蒸镀面。现有设备多采用粘性物体吸着基板背面减小弯曲。但粘性物体在包括将基板固定于蒸镀设备和从蒸镀设备分离基板的整个过程的粘性保持不变，导致在基板分离时易发生基板破裂。
技术实现思路
因此，需要提供一种用于支撑基板的支撑装置，可应用于高真空的蒸镀过程中支撑基板，避免在将基板从蒸镀设备分离时发生基板破裂。在本公开的一个方面，提供一种用于支撑基板的支撑装置，包括：承载机构，用于承载基板，所述承载机构设置有通孔；一个或多个粘性垫，位于所述承载机构上，围绕所述通孔，并且用于将所述基板固定在所述承载机构上；和升降机构，所述升降机构通过穿过所述通孔来控制所述基板的升降；其中所述升降机构的顶部设置有发光部件，在与所述基板接触时发光，照射所述粘性垫，使得所述粘性垫的粘性由第一粘性降低至第二粘性。根据本公开的一个实施方案，所述发光部件由弹性应力发光材料和光学透明的聚合物材料制成。根据本公开的另一个实施方案，所述发光部件包括接触开关和发光单元，在所述发光部件与所述基板接触时，所述接触开关导通，使所述发光单元发光。根据本公开的另一个实施方案，所述发光部件的顶部设置有表面涂层，其中所述表面涂层由选自由以下各项组成的组中的材料制成：含氟橡胶、含硅橡胶、聚酰亚胺和它们任何两种或更多种的混合物。根据本公开的另一个实施方案，所述表面涂层的厚度为5mm至10mm。根据本公开的另一个实施方案，所述承载机构设置有多个所述通孔，所述升降机构包括与每一个所述通孔一一对应的升降针，并且所述多个通孔中的每个周围贴附有所述粘性垫。根据本公开的另一个实施方案，所述弹性应力发光材料的发光亮度不小于10mcd/m2，应力响应阈值不大于5N，并且应力响应范围为5N至5000N。根据本公开的另一个实施方案，所述弹性应力发光材料选自由以下各项组成的组：SrAl2O4：Eu2+材料、BaTiO3-CaTiO3：Pr3+材料、SrAl2O4：Ce3+材料、ZnS：Mn2+材料、(Ba，Ca)TiO3：Pr3+材料、SrAl2O4：Eu2+材料、Sr3Sn2O7：Sm3+材料、BaS2O2N2：Eu2+材料及它们中任何两种或更多种的混合材料。根据本公开的另一个实施方案，所述光学透明的聚合物选自由以下各项组成的组：ABS树脂、聚缩醛、聚碳酸酯、聚乙烯、聚苯乙烯、聚丙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚氨酯树脂、聚酯、环氧树脂、硅橡胶及它们中任何两种或更多种的混合物，其中所述弹性应力发光材料与所述光学透明的聚合物的质量比为1∶10至5∶10。根据本公开的另一个实施方案，所述粘性垫的厚度为2mm至5mm。根据本公开的另一个实施方案，所述支撑装置还包括照射部，用于以发射强度为50mw/cm2至100mw/cm2的光照射所述发光部件。根据本公开的另一个实施方案，所述粘性垫包含光响应智能界面材料。在本公开的另一个方面，提供一种显示面板制造设备，包括上面任一项所述的支撑装置。在本公开的再一个方面，提供一种用于支撑基板的支撑方法，包括以下步骤：使携带有基板的承载机构进入分离位置，其中所述承载机构设置有通孔；控制升降机构穿过所述承载机构的通孔，并且接触所述基板，所述接触使得设置在所述升降机构顶部的发光部件受到压力而发光，照射位于所述承载机构上通孔周围的粘性垫，使得所述粘性垫的粘性由第一粘性降低至第二粘性；然后将所述基板与所述粘性垫分离，并且由所述升降机构支撑。根据本公开的一个实施方案，所述方法还包括：在使携带有基板的承载机构进入分离位置的步骤之前；控制所述升降机构穿过所述承载机构的通孔，并升至预设位置；将所述基板放置在所述升降机构上；和控制所述升降机构下降，使所述基板下降从而使所述基板放置在所述承载机构的所述粘性垫上。根据本公开的另一个实施方案，所述方法还包括：在使所述基板下降从而使所述基板放置在所述承载机构的所述粘性垫上之后，控制所述承载机构翻转，使所述基板的镀膜面朝下；和在对所述镀膜面蒸镀后，通过控制所述承载机构使所述基板的镀膜面朝上。根据本公开的另一个实施方案，所述方法还包括：在将所述基板与所述粘性垫分离之后，用强度为50mw/cm2至100mw/cm2的光线照射所述发光部件5秒至20秒。根据本公开的另一个实施方案，所述接触的时间为10秒至300秒。采用本公开的基板支撑装置、显示面板制造设备和基板支撑方法，粘性垫的粘性通过发光部件的照射而降低，可以避免在基板分离时发生基板破裂。附图说明为了更清楚地说明本公开实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的示例性实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是示例性地表示根据本公开的一个实施方案的用于支撑基板的支撑装置的结构示意图。图2是根据本公开的一个实施方案的用于支撑基板的支撑装置的承载机构、粘性垫和承载机构通孔之间位置关系的示意图。图3是根据本公开的一个实施方案的所使用的升降针的示意图。图4是示例性地表示根据本公开的一个实施方案的支撑装置在分离基板时的局部示意图。图5是示例性地表示根据本公开的一个实施方案的基板由支撑装置的升降机构支撑的示意图。具体实施方式下面将结合本公开的具体实施方案，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方案和/或实施例仅仅是本公开一部分实施方案和/或实施例，而不是全部的实施方案和/或实施例。基于本公开中的实施方案和/或实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方案和/或所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。如本公开所用的，“约”表示在测量的误差范围之内，例如在所限定的数值的±10％之内，或±5％之内，或±1％之内。在本公开的一个方面，可以提供一种用于支撑基板的支撑装置，包括：承载机构，用于承载基板，所述承载机构设置有通孔；一个或多个粘性垫，位于所述承载机构上，围绕所述通孔，并且用于将所述基板固定在所述承载机构上；和升降机构，所述升降机构通过穿过所述通孔来控制所述基板的升降；其中所述升降机构的顶部设置有发光部件，在与所述基板接触时发光，照射所述粘性垫，使得所述粘性垫的粘性由第一粘性降低至第二粘性。图1是示例性地表示根据本公开的一个实施方案的用于支撑基板的支撑装置的结构示意图。如图1中所示，本公开的用于支撑基板的支撑装置100包括：承载机构10、粘性垫20和升降机构30。承载机构10用于承载基板并且设置有通孔12。粘性垫20位于承载机构10上，围绕通孔12，并且用于将基板固定在承载机构10上。升降机构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于支撑基板的支撑装置，包括：承载机构，用于承载基板，所述承载机构设置有通孔；一个或多个粘性垫，位于所述承载机构上，围绕所述通孔，并且用于将所述基板固定在所述承载机构上；和升降机构，所述升降机构通过穿过所述通孔来控制所述基板的升降；其中所述升降机构的顶部设置有发光部件，在与所述基板接触时发光，照射所述粘性垫，使得所述粘性垫的粘性由第一粘性降低至第二粘性。

【技术特征摘要】
1.一种用于支撑基板的支撑装置，包括：承载机构，用于承载基板，所述承载机构设置有通孔；一个或多个粘性垫，位于所述承载机构上，围绕所述通孔，并且用于将所述基板固定在所述承载机构上；和升降机构，所述升降机构通过穿过所述通孔来控制所述基板的升降；其中所述升降机构的顶部设置有发光部件，在与所述基板接触时发光，照射所述粘性垫，使得所述粘性垫的粘性由第一粘性降低至第二粘性。2.根据权利要求1所述的支撑装置，其中所述发光部件由弹性应力发光材料和光学透明的聚合物材料制成。3.根据权利要求1所述的支撑装置，其中所述发光部件包括接触开关和发光单元，在所述发光部件与所述基板接触时，所述接触开关导通，使所述发光单元发光。4.根据权利要求1所述的支撑装置，其中所述发光部件的顶部设置有表面涂层，其中所述表面涂层由选自由以下各项组成的组中的材料制成：含氟橡胶、含硅橡胶、聚酰亚胺和它们任何两种或更多种的混合物。5.根据权利要求4所述的支撑装置，其中所述表面涂层的厚度为5mm至10mm。6.根据权利要求1所述的支撑装置，其中所述承载机构设置有多个所述通孔，所述升降机构包括与每一个所述通孔一一对应的升降针，并且所述多个通孔中的每个周围贴附有所述粘性垫。7.根据权利要求2所述的支撑装置，其中所述弹性应力发光材料的发光亮度不小于10mcd/m2，应力响应阈值不大于5N，并且应力响应范围为5N至5000N。8.根据权利要求2所述的支撑装置，其中所述弹性应力发光材料选自由以下各项组成的组：SrAl2O4∶Eu2+材料、BaTiO3-CaTiO3∶Pr3+材料、SrAl2O4∶Ce3+材料、ZnS∶Mn2+材料、(Ba，Ca)TiO3∶Pr3+材料、SrAl2O4∶Eu2+材料、Sr3Sn2O7∶Sm3+材料、BaS2O2N2∶Eu2+材料及它们中任何两种或更多种的混合材料。9.根据权利要求2所述的支撑装置，其中所述光学透明的聚合物选自由以下各项组成的组：ABS树脂、聚...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹清华，郭书鹏，段廷原，姚固，朱儒晖，王玉，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11