法布里-珀罗干涉滤光器制造技术

本发明专利技术的法布里‑珀罗干涉滤光器(1)具备：基板(11)，其具有第一表面(11a)；第一积层体(22)，其具有第一反射镜部(31)；第二积层体(24)，其具有隔着空隙(S)而与第一反射镜部(31)相对的第二反射镜部(32)；中间层(23)，其在第一积层体(22)与第二积层体(24)之间划定空隙(S)；及第一端子(15)；并且，中间层(23)具有包围第一端子(15)的第一内侧面(23d)，第一内侧面(23d)以如下方式弯曲：中间层的基板侧的缘部比中间层的与基板相反的一侧的缘部位于更靠向第一端子侧的位置。

Fabry-Perot interferometric filter

The Fabry-Perot interferometric filter (1) of the present invention has a substrate (11) with a first surface (11a); a first layer (22) with a first reflector (31); a second layer (24) with a second reflector (32) opposite to the first reflector (31); and an intermediate layer (23), which delimits a gap (S) between the first layer (22) and the second layer (24). The first terminal (15); and the middle layer (23) has a first medial surface (23d) enclosing the first terminal (15), and the first medial surface (23d) bends in the following way: the edge of the substrate side of the middle layer is closer to the first terminal side than the edge of the opposite side of the substrate of the middle layer.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】法布里-珀罗干涉滤光器
本专利技术的一方式涉及一种法布里-珀罗干涉滤光器。
技术介绍
专利文献1中记载的法布里-珀罗干涉仪包括：基板；第一反射镜构造，其具有配置于基板上的下侧固定反射镜；第二反射镜构造，其具有隔着空间而与下侧固定反射镜相对的上侧可动反射镜；及牺牲层，其在第一反射镜结构与第二反射镜结构之间划定空间。进一步，专利文献1所记载的法布里-珀罗干涉仪包括：控制电极，其形成于下侧固定反射镜；外侧电极，其以与控制电极相对的方式形成于上侧可动反射镜；及电接点，其与控制电极电连接。在该法布里-珀罗干涉仪中，以包围与控制电极电连接的电接点的方式形成于牺牲层的内侧面呈平面状，且与牺牲层中的与第一反射镜结构相反的一侧的表面正交。[现有技术文献][专利文献]专利文献1：日本专利特表2012-528345号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的技术问题]在如上所述的法布里-珀罗干涉仪中，在第二反射镜结构被牺牲层支撑的状态下，通过静电力而使上侧可动反射镜向下侧固定反射镜侧移动。因此，在上侧可动反射镜向下侧固定反射镜侧移动时，对于第二反射镜结构中被牺牲层支撑的区域，发生朝向上侧可动反射镜侧的作用力。然本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种法布里‑珀罗干涉滤光器，其中，包括：基板，其具有第一表面；第一层，其具有配置于所述第一表面的第一反射镜部；第二层，其具有在相对于所述第一反射镜部而在与所述基板相反的一侧隔着空隙而与所述第一反射镜部相对的第二反射镜部；中间层，其在所述第一层与所述第二层之间划定所述空隙；固定电极，其设置于所述第一层；相对电极，其以与所述固定电极相对的方式设置于所述第二层；以及第一端子，其从所述第二层的与所述中间层相反的一侧的表面向所述第一层形成且与所述固定电极电连接，并且，所述中间层具有以包围所述第一端子的方式形成的第一内侧面，所述第一内侧面以如下方式弯曲：所述中间层的所述基板侧的缘部比所述中间层的与所述...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.24 JP 2016-1639201.一种法布里-珀罗干涉滤光器，其中，包括：基板，其具有第一表面；第一层，其具有配置于所述第一表面的第一反射镜部；第二层，其具有在相对于所述第一反射镜部而在与所述基板相反的一侧隔着空隙而与所述第一反射镜部相对的第二反射镜部；中间层，其在所述第一层与所述第二层之间划定所述空隙；固定电极，其设置于所述第一层；相对电极，其以与所述固定电极相对的方式设置于所述第二层；以及第一端子，其从所述第二层的与所述中间层相反的一侧的表面向所述第一层形成且与所述固定电极电连接，并且，所述中间层具有以包围所述第一端子的方式形成的第一内侧面，所述第一内侧面以如下方式弯曲：所述中间层的所述基板侧的缘部比所述中间层的与所述基板相反的一侧的缘部在与所述第一表面平行的方向上位于更靠向所述第一端子侧的位置。2.如权利要求1所述的法布里-珀罗干涉滤光器，其中，所述第一内侧面以如下方式向与所述第一端子相反的一侧呈凹状弯曲：所述中间层的所述基板侧的缘部比所述中间层的与所述基板相反的一侧的缘部在与所述第一表面平行的方向上位于更靠向所述第一端子侧的位置。3.如权利要求1或2所述的法布里-珀罗干涉滤光器，其中，所述第一内侧面以如下方式弯曲：其在与所述第一表面垂直的方向上越靠近所述基板，则在与所述第一表面平行的方向上越靠近所述第一端子。4.如权利要求1至3中的任一项所述的法布里-珀罗干涉滤光器，其中，所述第二层在从与所述第一表面垂直的方向观察时由所述第一内侧面包围的区域，进一步具有形成于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：笠原隆，柴山胜己，广瀬真树，川合敏光，大山泰生，藏本有未，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP