用于基于扼流的质量流验证的方法、系统和设备技术方案

质量流验证系统与设备可依据扼流原理而验证质量流控制器(MFC)的质量流速率。这些系统与设备可以包括并联耦接的多个不同尺寸的流量限制器。可以经由依据MFC的设定点而选择通过流量限制器中的一个的流动路径以验证各种流动速率。可以经由在扼流条件下的流量限制器的上游的压力与温度测量而确定质量流速率。也提供依据扼流原理验证质量流速率的方法，以及其他态样。

Method, system and equipment for choke-based mass flow verification

The mass flow verification system and equipment can verify the mass flow rate of the mass flow controller (MFC) according to the choke principle. These systems and devices may include multiple flow limiters of different sizes coupled in parallel. Various flow rates can be verified by selecting a flow path through the flow limiter according to the setting point of MFC. Mass flow rate can be determined by pressure and temperature measurements upstream of the flow limiter under choke conditions. The method of verifying mass flow rate based on choke principle is also provided, as well as other state samples.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于基于扼流的质量流验证的方法、系统和设备
本申请主张2016年6月27日所提交的专利技术名称为“(用于基于扼流的质量流验证的方法、系统和设备)METHODS,SYSTEMS,ANDAPPARATUSFORMASSFLOWVERIFICATIONBASEDONCHOKEDFLOW”的美国专利申请第15/194,360号的优先权(代理人卷号24152/USA)，其全部内容针对所有目的通过引用并入本文。本公开内容涉及电子装置制造，而更特定言之，涉及基于扼流原理以验证质量流控制器的质量流速率。
技术介绍
电子装置制造系统可以包括一或多个质量流控制器(MFC)。MFC控制用于制造电子装置的处理化学品的质量流速率。处理化学品可以包括输送至一或多个处理腔室的各种气体(例如，清洁、沉积及蚀刻气体)，在一或多个处理腔室中可在半导体晶片、玻璃板或类似者上制造电子电路。处理化学品的精确质量流控制可用于电子装置制造处理的一或多个步骤。由MFC提供的精确质量流控制可有助于具有微观尺寸的电子装置的高产量生产。为了确保处理化学品的准确输送，可以周期性执行MFC的验证与校准。然而，验证及校准MFC可能涉及额外庞大本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种质量流验证系统，包含：入口；第一压力传感器与温度传感器，所述第一压力传感器与所述温度传感器中的每一个耦接于所述入口的下游；多个隔离阀，耦接于所述入口的下游；多个不同尺寸的流量限制器，并联耦接于所述入口的下游，所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个与所述入口以及所述多个隔离阀中的各自一个串联耦接；出口，串联耦接于所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个的下游；和控制器，耦接至所述第一压力传感器、所述温度传感器和所述多个隔离阀，其中所述控制器经配置以响应于由所述温度传感器在扼流条件下测量的温度与由所述第一压力传感器在所述扼流条件下测量的第一压力，而确定质量流速率。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.27 US 15/194,3601.一种质量流验证系统，包含：入口；第一压力传感器与温度传感器，所述第一压力传感器与所述温度传感器中的每一个耦接于所述入口的下游；多个隔离阀，耦接于所述入口的下游；多个不同尺寸的流量限制器，并联耦接于所述入口的下游，所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个与所述入口以及所述多个隔离阀中的各自一个串联耦接；出口，串联耦接于所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个的下游；和控制器，耦接至所述第一压力传感器、所述温度传感器和所述多个隔离阀，其中所述控制器经配置以响应于由所述温度传感器在扼流条件下测量的温度与由所述第一压力传感器在所述扼流条件下测量的第一压力，而确定质量流速率。2.如权利要求1所述的质量流验证系统，其中所述控制器经配置以：通过关闭所述多个隔离阀中的一些，造成气体仅流经所述多个不同尺寸的流量限制器中的一个；响应于所述气体流经所述多个不同尺寸的流量限制器中的所述一个，经由所述第一压力传感器测量压力，以取得所测量的压力值；响应于所述气体流经所述多个不同尺寸的流量限制器中的所述一个，经由所述温度传感器测量温度，以取得所测量的温度值；通过将预定流量限制器系数、预定气体校正因子和预定温度值施加至所述所测量的压力值与所述所测量的温度值，而确定质量流速率。3.如权利要求2所述的质量流验证系统，其中所述控制器经配置以通过将所述所测量的压力值乘以下列各个以确定所述质量流速率：所述预定流量限制器系数；所述预定气体校正因子；和所述预定温度值与所述所测量的温度值的比率。4.如权利要求1所述的质量流验证系统，其中所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个耦接于所述多个隔离阀中的所述各自一个的上游。5.如权利要求1所述的质量流验证系统，其中所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个耦接于所述多个隔离阀中的所述各自一个的下游。6.如权利要求5所述的质量流验证系统，其中所述第一压力传感器与所述温度传感器中的每一个耦接于所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个与所述多个隔离阀中的所述各自一个之间。7.如权利要求6所述的质量流验证系统，其中：所述多个隔离阀包含子群组的多个隔离阀；和所述子群组的多个隔离阀中的每一个具有耦接至所述第一压力传感器与所述温度传感器的第一端口，并具有耦接于所述多个不同尺寸的流量限制器中的各自一个与所述多个隔离阀中的所述各自一个之间的第二端...

【专利技术属性】
技术研发人员：凯文·M·布拉希尔，叶祉渊，贾斯汀·霍夫，杰德夫·拉贾拉姆，玛塞勒·E·约瑟夫森，阿什利·M·奥卡达，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US